문맥 (context)
[청구항 1]
다수개의 웨이퍼가 탑재된 푸프 가 로딩되는 로드 포트와
상기 웨이퍼의 반도체 제조공정이 수행되는 공정 모듈과
상기 공정 모듈과 상기 로드 포트간에 상기 다수개의 웨이퍼를 순차적으로 이송시키는 이동 모듈과
상기 이동 모듈이 형성된 상기 공정 모듈과 상기 로드 포트사이에서 청정 공간을 제공하며, 상기 로드 포트에 로딩되는 상기 푸프의 도어를 개폐하는 오프너가 형성된 설비 전후 모듈과
상기 도어가 오픈되어 상기 설비 전후 모듈과 상기 로드 포트가 서로 연통되면, 상기 푸프 내에 탑재된 상기 웨이퍼에서의 아웃개싱을 상기 설비 전후 모듈로 유동시켜 제거하기 위해 상기 설비 전후 모듈에서 상기 푸프 내에 탑재된 다수개의 웨이퍼에 대해 퍼지 가스를 분사하고 상기 설비 전후 모듈로 퍼지 가스를 회수하여 상기 푸프 내부를 퍼지시키는 퍼지 모듈을 포함함을 특징으로 하는 반도체 제조설비
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 퍼지 모듈은 상기 도어의 오픈을 감지하는 센서와, 상기 센서에서 상기 도어의 오픈을 감지하면, 상기 푸프의 개방구 측방 양측에서 다수개의 웨이퍼에 대하여 퍼지 가스를 분사하는적어도하나이상의노즐포함함을특징으로 하는반도체 제조설비.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 노즐은 상기 푸프의 개방구 양측에서 상기 다수개의 웨이퍼에 퍼지 가스를 분사하는다수개의노즐홀포함함을특징으로 하는반도체 제조설비.
[청구항 4]
제 2 항에 있어서,상기 노즐은 상기 푸프의 개방구 양측에서 상기 스테이지에 수직으로 형성된상기로드 포트와상기설비전후모듈사이의측벽기둥지지되는것을특징으로 하는반도체 제조설비.
[청구항 5]
제 2 항에 있어서,상기 노즐은 상기 설비 전후 모듈과 상기 로드 포트의 경계면을 기준으로 35도의 방위각으로 상기 푸프 내부에 퍼지 가스를 분사하도록형성된것을특징으로 하는반도체 제조설비.
[청구항 6]
제 2 항에 있어서,상기 퍼지 모듈은 상기 퍼지 노즐에 상기 퍼지 가스를 공급하는 가스 탱크와, 상기 퍼지 가스 공급부와 상기 노즐사이에서 상기 퍼지 가스를 유동시키는 배관과, 상기 도어의 오픈 여부에 따라 상기 배관을 통해 유동되는 상기 퍼지 가스의 공급을 단속하는밸브더포함함을특징으로 하는반도체 제조설비.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
반도체 제조설비에서 도어가 오픈되어 설비 전후 모듈과 로드 포트가 연통되었을 때, 퍼지 모듈이 수행하는 구체적인 동작과 그 목적은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation도어가 오픈되어 설비 전후 모듈과 로드 포트가 연통된 상황에서 퍼지 모듈의 구체적인 동작과 목적을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 도어 오픈 시 퍼지 모듈이 수행하는 동작(가스 분사 및 회수)과 목적(아웃개싱 제거 및 내부 퍼지)을 추출한다.
- 상기 도어가 오픈되어 상기 설비 전후 모듈과 상기 로드 포트가 서로 연통되면, 상기 푸프 내에 탑재된 상기 웨이퍼에서의 아웃개싱을 상기 설비 전후 모듈로 유동시켜 제거하기 위해 상기 설비 전후 모듈에서 상기 푸프 내에 탑재된 다수개의 웨이퍼에 대해 퍼지 가스를 분사하고 상기 설비 전후 모듈로 퍼지 가스를 회수하여 상기 푸프 내부를 퍼지시키는 퍼지 모듈
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3근거 선택
evidence_selection동작에 관한 구절인 '퍼지 가스를 분사하고 상기 설비 전후 모듈로 퍼지 가스를 회수'와 목적에 관한 구절인 '아웃개싱을 상기 설비 전후 모듈로 유동시켜 제거하기 위해' 및 '상기 푸프 내부를 퍼지시키는'을 선택한다.
- 상기 푸프 내에 탑재된 상기 웨이퍼에서의 아웃개싱을 상기 설비 전후 모듈로 유동시켜 제거하기 위해 상기 설비 전후 모듈에서 상기 푸프 내에 탑재된 다수개의 웨이퍼에 대해 퍼지 가스를 분사하고 상기 설비 전후 모듈로 퍼지 가스를 회수하여 상기 푸프 내부를 퍼지시키는
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4논리 통합
logical_integration도어 오픈 시 퍼지 모듈은 웨이퍼에 퍼지 가스를 분사한 후 이를 회수하는 동작을 수행하며, 이를 통해 웨이퍼의 아웃개싱을 제거하고 푸프 내부를 퍼지하는 목적을 달성함을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation퍼지 모듈의 동작은 가스 분사와 회수이며, 목적은 아웃개싱 제거 및 푸프 내부 퍼지임을 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 동작과 목적을 명확히 구분하여 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
퍼지 모듈은 설비 전후 모듈에서 푸프 내 탑재된 다수개의 웨이퍼에 대해 퍼지 가스를 분사하고, 이를 다시 설비 전후 모듈로 회수하는 동작을 수행한다. 이러한 동작의 목적은 웨이퍼에서의 아웃개싱을 설비 전후 모듈로 유동시켜 제거하고, 푸프 내부를 퍼지하기 위함이다.
핵심 해석 (core_interpretation)
도어 오픈 시 발생하는 웨이퍼의 아웃개싱을 효과적으로 제거하고 푸프 내부의 청정도를 유지하기 위해 가스 분사와 회수를 수행하는 퍼지 모듈의 기능적 특징을 나타낸다.