광 조사장치 document_id 1020080126412

[청구항 1] 2장의 기판 사이에 개재된 광경화성수지로된 선형상의 씰재(71,72)에 빛을 조사하는 광조사장치(1)에 있어서, 상기 씰재에 의해 접합된 상기 2장의 기판으로된 접합 기판(w)을 재치시키는 면을 갖는 스테이지(13)와 빛을 조사가능함과 아울러 개별적으로 온/오프가능한 복수의 반도체소자(52)가 선형상으로 배열되고, 상기 씰재의 폭에 대응된 선형상의 빛을 상기 접합 기판에 향하여 조사하는 조사부(22a~22d)와 상기 접합 기판이 재치된 상기 스테이지의 면과 평행한 면내에서 상기 조사부를 상기 반도체소자의 배열방향과 교차하는 방향으로 이동시키는 제1구동부(19)와 상기 각 반도체소자를 상기 씰재의 패턴에 대하여 온/오프하는 제어부(34)를 구비하는 것을 특징으로 하는 광 조사장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 접합 기판이 재치된 상기 스테이지와 평행한 면내에서, 상기 조사부 및 상기 접합 기판 내의 어느 것인지 한 쪽을 회전시키는제2구동부설치되는것을특징으로 하는광 조사장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 제어부는, 상기 접합 기판과 상기 조사부와 상대 회전에 놓인 상기 씰재의 조사부와 상대회전 후에 있어서, 상기 씰재의 피조사부와 교차부(73)의 위치에서는 상기 상대회전 전에 상기 교차부에 빛을 조사하는 반도체소자와, 상기 상대회전 후에 상기 교차부의 빛을 조사하는 반도체소자중 어느 것 한쪽오프시키는것을특징으로 하는광 조사장치. [청구항 4] 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,반도체소자로부터 조사된 빛을 상기 반도체소자의 배열방향으로 장축을 갖는 타원형으로 집광시키는 광학소자(61)를 구비하고, 상기 복수의 반도체소자는, 2개의 인접한 반도체소자로부터 조사된 상기 타원형으로 집광된 빛을 장축방향으로적어도부분적배열된것을특징으로 하는광 조사장치. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 2개의 인접한 반도체소자 사이에 배치되고, 상기 빛을 반사하는반사판더구비하는것을특징으로 하는광 조사장치. [청구항 6] 제4항에 있어서,상기 광학소자는, 상기 반도체소자로부터 조사된 빛의 확산을 억제시키기 위한 반구렌즈(94)와, 상기 반구렌즈로부터 출사된 빛을 상기 반도체소자의 배열방향으로 장축을 갖는 타원형으로 집광시키는실리드리칼렌즈포함하는것을특징으로 하는광 조사장치. [청구항 7] 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 조사부(22a)는, 상기 복수의 반도체소자를 각각 수용하는 복수의 조사공(57)이 형성된 통체(51)와, 상기 통체내에 부압을 공급하는 부압원(64)과, 상기 각 조사공의 하방에 있어서 상기 통체에 설치되고 상기 복수의 반도체소자로부터 조사된 빛을 상기 반도체소자의 배열방향으로 장축을 갖는 타원형으로 집광시키는 광학소자(61)를 구비하며, 상기 각 조사공내에는 상기 조사공의 내측면과의 사이에 간극을 갖추어 상기 대응되는반도체소자설치되어있는것을특징으로 하는광 조사장치. [청구항 8] 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 조사부는, 봉형상의 베이스부재(126)과, 상기 접합 기판이 재치된 상기 스테이지의 면과 평행한 면내에서 회전가능하게 상기 베이스부재에 설치된 복수의 분할부(125)를 구비하고, 상기 각 분할부는, 접합 기판의 각 변보다도 짧은 길이로 형성되어 있으며, 또한 상기 각 분할부에는 상기 복수의 반도체소자의 일부가상기선형상배열되어있는것을특징으로 하는광 조사장치. [청구항 9] 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 조사부는, 상기 복수의 반도체소자가 선형으로 배열된 제1조사부(22d)와, 상기 접합 기판이 재치된 상기 스테이지의 면과 평행한 면내에서 상기 제1조사부와 직교하도록 설치된 제2조사부(131)를 구비하고, 상기 제2조사부에는 빛을 조사가능하게 함과 아울러 개별로 온/오프가능한 복수의 제2 반도체소자가 선상으로 배열되어 있으며, 상기 제2조사부는 상기 씰재의 폭에 대응된선상의빛을상기접합기판조사시키는것을특징으로 하는광 조사장치. [청구항 10] 제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 씰재는, 상기 접합 기판의 외주연에 설치된 외측 씰재(71)과, 상기 외측 씰재의 내측에 개재된 내측 씰재(72)로부터 구성되고, 상기 제어부는 상기 내측 씰재보다도 먼저 상기 외측 씰재에 빛을 조사하도록 상기 조사부를구동시키는것을특징으로 하는광 조사장치.