문맥 (context)
[청구항 1]
기판,
상기 기판 상에 형성된 압전층,
상기 압전층 상에 형성된 상부 전극,
상기 압전층 및 상기 상부 전극이 캔틸레버 형상을 갖도록 상기 압전층 및 상기 상부 전극을 식각하여 형성된 홀, 그리고
상기 압전층 및 상기 상부 전극을 관통하는 상기 홀을 매립하면서 상기 상부 전극 상에 형성된 폴리머 다이아프램
을 포함하는 압전형 마이크로 스피커
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 압전층은포함하는압전형 마이크로 스피커.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 기판은 상기 압전층의 홀부터 기판의 하부면까지 개방부가지는압전형 마이크로 스피커.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 압전형 마이크로 스피커는,상기 기판 상하면에 형성되어 있는 절연막, 그리고기판 상면의 절연막과 상기 압전층 사이에 형성되어 있는 하부 전극을 더 포함하며,상기 하부 전극, 압전층 및 상부 전극이 ide 전극형성하는압전형 마이크로 스피커.
[청구항 5]
제3항에 있어서,상기 기판의 개방부는 상기 압전층의 변위를 최대로 하기 위하여 세로 방향의 단면이 사각형 또는 사다리꼴 구조가지는압전형 마이크로 스피커.
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기 기판의 개방부는 상기 압전층의 변위를 최대로 하기 위하여 가로 방향의 단면이 원형 또는 사각형을 가지며, 상기 ide 전극은 상기 폴리머 다이아프램에 대하여 50 ~ 70%의 면적차지하는압전형 마이크로 스피커.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
압전형 마이크로 스피커에서 압전층의 변위를 최대화하기 위해 기판의 개방부가 갖는 단면 구조는 어떠한 형태인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation압전층의 변위를 최대화하기 위한 기판 개방부의 단면 구조를 찾는 것이 과제이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 압전층의 변위를 최대로 하기 위한 기판 개방부의 단면 구조에 대한 언급을 추출한다.
- 상기 기판의 개방부는 상기 압전층의 변위를 최대로 하기 위하여 세로 방향의 단면이 사각형 또는 사다리꼴 구조가지는
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '단면 구조'와 직접적으로 대응하는 '세로 방향의 단면이 사각형 또는 사다리꼴 구조'를 선택한다.
- 세로 방향의 단면이 사각형 또는 사다리꼴 구조
-
4논리 통합
logical_integration청구항 5의 내용을 바탕으로, 압전층 변위 최대화를 위한 조건이 세로 방향 단면의 형상임을 연결한다.
- 상기 기판의 개방부는 상기 압전층의 변위를 최대로 하기 위하여 세로 방향의 단면이 사각형 또는 사다리꼴 구조가지는
-
5결론 도출
conclusion_formulation기판 개방부의 세로 방향 단면이 사각형 또는 사다리꼴 구조임을 결론짓는다.
- 세로 방향의 단면이 사각형 또는 사다리꼴 구조
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 세로 방향의 단면이 사각형 또는 사다리꼴 구조
최종 답변 (final_answer)
세로 방향의 단면이 사각형 또는 사다리꼴 구조
핵심 해석 (core_interpretation)
압전형 마이크로 스피커에서 압전층의 변위를 극대화하기 위해 기판 개방부의 세로 방향 단면을 사각형 또는 사다리꼴 형태로 설계하는 기술적 구성을 포함한다.