문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 진공 장치는, 상기 가스 공급원으로부터 상기 게이트 밸브에 달하는 상기 작동용 가스의 공급 경로의 도중에체크밸브더구비하는것을특징으로 하는진공 장치.
[청구항 3]
제 2 항에 있어서,상기 제 1 제어용 가스는, 상기 체크 밸브 보다도 상기 가스 공급원에 가까운 위치에 있어서 상기 작동용 가스의 공급 경로로부터 분기한 공급 경로에 의해 공급되는, 상기 작동용 가스와 동계통가스인것을특징으로 하는진공 장치.
[청구항 4]
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 진공 장치는, 상기 작동용 가스의 공급 경로에 있어서 상기 체크 밸브 보다도 상기 게이트 밸브에 가까운 위치에, 상기 작동용 가스를 저류해 두는버퍼탱크더구비하는것을특징으로 하는진공 장치.
[청구항 5]
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공 장치는, 상기 제 1 개폐 기구의 개폐를 제어하는 개폐 제어부를 더 구비하고,상기 개폐 제어부는,상기 제 1 개폐 기구로의 상기 제 1 제어용 가스의 공급 또는 차단을 전환하는 제 2 개폐 기구와,상기 작동용 가스와 동 계통의 제 2 제어용 가스로 작동해서 상기 제 2 개폐 기구의 전환을 실행하는 액추에이터를 구비하고,상기 액추에이터는, 상기 제 2 제어용 가스의 공급 압력이 소정의 압력 이하가 되면 상기 제 2 개폐 기구를 전환해서 상기 제 1 개폐 기구로의상기제1제어용가스의공급차단시키는것을특징으로 하는진공 장치.
[청구항 6]
제 5 항에 있어서,상기 개폐 제어부는 상기 액추에이터와 상기 제 2 개폐 기구 사이에 개재되고, 가압력에 의해 상기 제 2 개폐 기구의 전환의 타이밍을 조절하는가압부재더구비하는것을특징으로 하는진공 장치.
[청구항 7]
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공 리크용 포트에불활성가스공급원접속한것을특징으로 하는진공 장치.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,공실은 피처리체에 대하여 소정의 처리를 실행하는 진공 처리실로 피처리체를 반송하는진공반송실인것을특징으로 하는진공 처리 시스템.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,상기 진공실은 진공 처리 시스템 내로 피처리체를 반입반출하기 위해서 대기압 개방 상태와 진공 상태를 전환 가능하게 구성된진공예비실인것을특징으로 하는진공 처리 시스템.
[청구항 11]
제 8 항에 있어서,피처리체에 대하여 플라즈마 처리를 실행하는플라즈마 처리시스템인것을특징으로 하는진공 처리 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
진공 장치의 개폐 제어부는 제 2 제어용 가스의 공급 압력이 어떠한 상태가 될 때 제 2 개폐 기구를 전환하여 제 1 제어용 가스의 공급을 차단하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation진공 장치의 개폐 제어부가 제 2 제어용 가스의 압력 상태에 따라 제 1 제어용 가스 공급을 차단하기 위해 제 2 개폐 기구를 전환하는 조건을 찾는 작업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 개폐 제어부, 제 2 개폐 기구, 액추에이터 및 제 2 제어용 가스의 압력과 관련된 동작 조건을 추출한다.
- 상기 액추에이터는, 상기 제 2 제어용 가스의 공급 압력이 소정의 압력 이하가 되면 상기 제 2 개폐 기구를 전환해서 상기 제 1 개폐 기구로의상기제1제어용가스의공급차단시키는것
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '제 2 제어용 가스의 공급 압력이 어떠한 상태일 때'에 직접적으로 대응하는 구절을 선택한다.
- 상기 제 2 제어용 가스의 공급 압력이 소정의 압력 이하가 되면
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4논리 통합
logical_integration액추에이터가 제 2 제어용 가스의 압력을 감지하여, 해당 압력이 소정의 압력 이하가 될 때 제 2 개폐 기구를 전환함으로써 제 1 제어용 가스 공급을 차단한다는 논리적 인과관계를 확인한다.
- 상기 제 2 제어용 가스의 공급 압력이 소정의 압력 이하가 되면 상기 제 2 개폐 기구를 전환해서 상기 제 1 개폐 기구로의상기제1제어용가스의공급차단시키는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '제 2 제어용 가스의 공급 압력이 소정의 압력 이하가 될 때'를 도출한다.
- 상기 제 2 제어용 가스의 공급 압력이 소정의 압력 이하가 되면
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 조건을 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 제 2 제어용 가스의 공급 압력이 소정의 압력 이하가 되면
최종 답변 (final_answer)
개폐 제어부의 액추에이터는 작동용 가스와 동 계통인 제2 제어용 가스의 공급 압력이 소정의 압력 이하가 되면 제2 개폐 기구를 전환하여 제1 개폐 기구로의 제1 제어용 가스의 공급을 차단한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
제 2 제어용 가스의 압력 저하를 감지하여 제 2 개폐 기구를 전환함으로써, 제 1 제어용 가스의 공급을 자동으로 차단하는 제어 메커니즘을 기술하고 있다.