다층기판 자동정렬기구 및 이를 구비한 다층기판 가접합장치 document_id 1020080133469

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,실린더는 상기 피스톤 로드에 가해지는 압력이 사전에 정해진 값 이하에 있도록 하는압력레귤레이터더포함하는것을특징으로 하는다층기판 자동정렬기구. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기uvw 스테이지의 구동 플레이트에 고정된 하우징과, 상기 진공척의 상판에 일단이 고정되되 상기 하우징 안에서 자유로이 상하로 이동할 수 있는 피스톤 로드와, 상기 피스톤 로드를 일시적으로 고정할 수 있는 잠금수단을 구비한보조실린더더포함하는것을특징으로 하는다층기판 자동정렬기구. [청구항 4] 청구항 3에 있어서,상기 제어부는 상기 메인 실린더를 하강시켜 상기 정렬 테이블 위로 공급된 기판에 상기 진공척의 하판을 접촉시킨 후에 상기 보조 실린더의 잠금수단을 구동하여 상기 보조 실린더의 피스톤 로드가 움직이는 것이 방지되도록제어하는것을특징으로 하는다층기판 자동정렬기구. [청구항 5] 청구항 3에 있어서,상기 보조 실린더가 상기 구동 플레이트의 대향하는 양측면에 각각적어도하나이상설치된것을특징으로 하는다층기판 자동정렬기구. [청구항 6] 청구항 1에 있어서,이미징촬상기가자동초점기능구비한것을특징으로 하는다층기판 자동정렬기구. [청구항 7] 청구항 6에 있어서,이미징촬상기가 상기 프레임에 설치된 가이드 레일을 따라 좌우로 이동할 수있는것을특징으로 하는다층기판 자동정렬기구. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기uvw 스테이지의 고정 플레이트 및 구동 플레이트에는 관측창이 형성되고, 상기 이미지 촬상기는 상기 관측창을 통하여상기기판의기준마크의이미지취득하는것을특징으로 하는다층기판 자동정렬기구. [청구항 9] 청구항 8에 있어서,상기 관측창의 주위에는 상기 기판의 기준마크를 향하여 빛을 방사하는조명장치설치된것을특징으로 하는다층기판 자동정렬기구. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,상기 조명장치는 상기 기준마크가 형성된 기판의 표면에 수직한 방향에 대하여 경사를 이루도록빛방사하는것을특징으로 하는다층기판 자동정렬기구. [청구항 12] 청구항 1에 있어서,상기 예비정렬기구는 상기 제2 이미징 장치를 통하여 취득된 기준마크 이미지의 중심과 사전에 정해진 예비정렬위치를 동시에 표시하는디스플레이수단더포함하는것을특징으로 하는다층기판 자동정렬기구. [청구항 13] 청구항 1에 있어서,상기 예비정렬기구는 상기 예비정렬 테이블 위에 놓인 상기 기판의 x축 방향 또는 y축 방향 중의 어느 하나의 방향에 대한 위치를 제한하는리미터더포함하는것을특징으로 하는다층기판 자동정렬기구. [청구항 15] 청구항 14에 있어서,상기 클램프는 상기 정렬 테이블에 설치되고,상기 제어부는 상기 클램프에 의하여 정렬 상태가 유지된 기판들이 거치된 상기 정렬 테이블을 상기 가접합 테이블 위로 이송한 후에, 상기 승강수단들을 구동하여 상기 상부 및 하부 고주파유도 가열기들이 정렬된 적층 기판들의 외곽 상면 및 하면에 접하도록 하고, 상기 상부 및 하부 고주파유도 가열기들을 구동하여 상기 정렬된 적층 기판들을 가접합하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 다층기판 가접합장치. [청구항 16] 청구항 15에 있어서,접합 기구가 상기 정렬 테이블의 대향하는 양측면에 각각 구비되고, 상기 정렬 테이블은 한 쌍의 제1 및 제2 정렬 테이블로 이루어지며, 상기 제1 및 제2 정렬 테이블에는 각각 상기 클램프가 구비되고,상기 제어부는, 상기 다층기판 자동정렬기구가 상기 제1 정렬 테이블 위에서 작동하는 동안 상기 두 개의 가접합 기구 중 상기 제2 정렬 테이블이 위치한 어느 하나의 가접합 기구를 구동하고, 상기 다층기판 자동정렬기구 및 가접합 기구의 구동이 완료되면, 정렬이 완료된 기판들이 적층된 상기 제1 정렬 테이블을 다른 하나의 가접합 기구로 이송하여 가접합을 하는 동안에 상기 제2 정렬 테이블 위에서 상기 다층기판 자동정렬기구가 작동하는 일련의 작업을 반복하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 다층기판 가접합장치. [청구항 17] 청구항 14에 있어서,상기 크로스빔에 설치된 상부 고주파유도 가열기 및 상기 가접합 테이블의 아래에 설치된 하부 고주파유도 가열기가, 상기 크로스빔의 길이방향을 따라 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 다층기판 가접합장치. [청구항 18] 청구항 17에 있어서,상기 크로스빔에는 상기 상부 고주파유도 가열기의 위치를 알 수 있도록 하는 눈금자가 구비된 것을 특징으로 하는 다층기판 가접합장치. [청구항 20] 청구항 19에 있어서,상기 예비정렬기구는 상기 제2 이미징 장치를 통하여 취득된 기준마크 이미지의 중심과 사전에 정해진 예비정렬위치를 동시에 표시하는 디스플레이 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다층기판 가접합장치. [청구항 21] 청구항 19에 있어서,상기 예비정렬기구는 상기 예비정렬 테이블 위에 놓인 상기 기판의 x축 방향 또는 y축 방향 중의 어느 하나의 방향에 대한 위치를 제한하는 리미터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다층기판 가접합장치. [청구항 22] 청구항 19에 있어서,상기 클램프는 상기 정렬 테이블에 설치되고,상기 제어부는 상기 클램프에 의하여 정렬 상태가 유지된 기판들이 거치된 상기 정렬 테이블을 상기 가접합 테이블 위로 이송한 후에, 상기 승강수단들을 구동하여 상기 상부 및 하부 고주파유도 가열기들이 정렬된 적층 기판들의 외곽 상면 및 하면에 접하도록 하고, 상기 상부 및 하부 고주파유도 가열기들을 구동하여 상기 정렬된 적층 기판들을 가접합하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 다층기판 가접합장치. [청구항 23] 청구항 20에 있어서,접합 기구가 상기 정렬 테이블의 대향하는 양측면에 각각 구비되고, 상기 정렬 테이블은 한 쌍의 제1 및 제2 정렬 테이블로 이루어지며, 상기 제1 및 제2 정렬 테이블에는 각각 상기 클램프가 구비되고,상기 제어부는, 상기 다층기판 자동정렬기구가 상기 제1 정렬 테이블 위에서 작동하는 동안 상기 두 개의 가접합 기구 중 상기 제2 정렬 테이블이 위치한 어느 하나의 가접합 기구를 구동하고, 상기 다층기판 자동정렬기구 및 가접합 기구의 구동이 완료되면, 정렬이 완료된 기판들이 적층된 상기 제1 정렬 테이블을 다른 하나의 가접합 기구로 이송하여 가접합을 하는 동안에 상기 제2 정렬 테이블 위에서 상기 다층기판 자동정렬기구가 작동하는 일련의 작업을 반복하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 다층기판 가접합장치. [청구항 24] 청구항 19에 있어서,상기 크로스빔에 설치된 상부 고주파유도 가열기 및 상기 가접합 테이블의 아래에 설치된 하부 고주파유도 가열기가, 상기 크로스빔의 길이방향을 따라 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 다층기판 가접합장치. [청구항 25] 청구항 24에 있어서,상기 크로스빔에는 상기 상부 고주파유도 가열기의 위치를 알 수 있도록 하는 눈금자가 구비된 것을 특징으로 하는 다층기판 가접합장치.