웨이퍼 자동 공급장치 document_id 1020080135642

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 베이스유닛은 상부에 가이드장치가 구비된 베이스플레이트; 및상기 베이스플레이트의 상부에 구비되며, 전방에 경사진 투입구를 형성하는하우징포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 가이드장치는 상기 베이스플레이트의 양측에 배치된 가이드레일; 및상기 가이드레일 사이에서 전방으로 연장된 구동축을 상기 가동유닛에 나사체결방식으로 연결하여, 상기 가동유닛을 전후로 한 피치씩 이동시키는구동모터포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 베이스플레이트의 하부에는 높이조절이 가능한 복수의 받침부와, 이동을 위한복수의바퀴포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,상기 베이스플레이트는 양측에 수직으로 고정된 수직지지바; 및상기 양측의 수직지지바에 양측이 각각 연결되어 수평 배치되며, 상기 웨이퍼공급유닛을 고정하는 수평지지바포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 6] 제2항에 있어서,상기 베이스플레이트 하부에는, 상승시 상기 웨이퍼카세트의 수납부의 하부에서 인출될 해당 기판을 수직으로 상승시키고, 상승 된 상기 웨이퍼의 인접 웨이퍼를 양측으로 벌어지도록 하는 웨이퍼인출부재; 및상기 웨이퍼인출부재를 승강시키기 위한승강장치포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 7] 청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제6항에 있어서,상기 웨이퍼인출부재는 상기 웨이퍼카세트의 수납부 하부에 각각 위치되는 3개의 웨이퍼받침부재;상기 웨이퍼받침부재의 외측과 사이에 수직으로 각각 배치되는 4개의 회동부재;상기 회동부재의 하부에 위치되는 수평판;상기 수평판의 상부에 위치되어 중앙에 위치된 상기 웨이퍼받침부재를 지지하여 해당 웨이퍼를 상승시키는 핀부재; 및상기 핀부재의 양측에 구 형상으로 각각 구비되어, 상기 양측 회동부재의 하부를 각각 양측으로 밀어 회동시키는 볼부재포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 8] 청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제6항에 있어서,상기 승강장치는 상기 베이스플레이트의 하부에 수직으로 고정되는 고정판;상기 고정판의 일면에 구비되어 구동편이 전후로 왕복 운동하는 구동부;상기 구동부의 구동편에 일측이 연결되고, 타측이 절곡된 축 체결부를 중심으로 상하 회동하는 구동링크; 및상기 구동링크의 상하 회동하는 일측에 연결되어 승강하는푸쉬로드포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 9] 청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제1항에 있어서,상기 웨이퍼카세트의 전면에는 사용자가 파지할 수 있는손잡이구비되는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 10] 청구항 10은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,상기 하우징의 상기 투입구는 45°기울기가지는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 11] 청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제2항에 있어서,상기 하우징의 상기 투입구를 통해 전방으로 기울기를 가지는 상태로 상기 웨이퍼카세트를 상기 가동유닛의 상부에 적재하면, 상기 가동유닛의 회전장치가 원래의 위치로 복귀하면서상기웨이퍼카세트를수직적재시키는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 12] 청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제11항에 있어서,상기 회전장치는 상기 가동유닛의 내부 양측에 상기 투입구 방향으로 기울기를 가지도록 구비된 수평가이드바;상기 수평가이드바의 전방 양측에 수직으로 구비된 수직가이드바;상기 수직가이드바에 양단이 슬라이드 체결되며, 하부 승강실린더의 의해 승강하는 승강샤프트; 및상기 승강샤프트에 회동가능하게 연결되며, 승강에 따라 전방으로 직각 절곡된 하부가 상기 수평가이드바를 따라 전방으로 이동하여 상기 웨이퍼카세트를 적재하고, 복귀되어 상기 웨이퍼카세트를 상기 가동유닛에 수직으로 적재하는카세트받침부재포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 13] 청구항 13은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제12항에 있어서,상기 가동유닛에는 상기 카세트받침부재가 밀착할 때 충격을 완화하기 위한완충장치구비되는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 14] 청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제13항에 있어서,상기 완충장치는쇼크업소버인것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 15] 청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제1항에 있어서,상기 웨이퍼공급유닛은 상기 웨이퍼가 통과하는 웨이퍼통과공이 하부에 형성된 프레임;상기 프레임에 수직으로 구비된 웨이퍼공급가이드; 및상기 웨이퍼공급가이드를 따라 상기 웨이퍼를 하나씩 집어 상기 다이피더로 공급 후, 다이가 소진된 상기 웨이퍼를 수납부로 복귀시키는픽업장치포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치. [청구항 16] 청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제15항에 있어서,상기 픽업장치는 상기 웨이퍼공급가이드에 슬라이드 가능하게 연결되는 슬라이드바; 및상기 슬라이드바의 단부에 체결되어, 구동장치에 의해 벌어진 상태에서 상기 웨이퍼위치로 이동하고, 상기 웨이퍼를 집은 상태에서 다이피더의 웨이퍼 공급부위 또는 원래의 위치로 복귀시키는그립부재포함하는것을특징으로 하는웨이퍼 자동 공급장치.