웨이퍼 이송 장치의 블레이드 어셈블리 document_id 1020080136459

[청구항 1] 웨이퍼 이송로봇의 제1 아암에 일측이 고정되고, 타측에는 환형의 테두리가 마련되어 그 내부에 볼베어링이 억지끼움에 의해 일체형으로 설치됨과 아울러, 상기 환형의 테두리 일측에는 피봇기어 가 형성되어 있는 제1 연결부 웨이퍼 이송로봇의 제2 아암에 일측이 고정되고, 상기 제1 연결부와 대칭된 형태로 형성됨과 아울러, 상기 제1 연결부의 피봇기어에 맞물리도록 피봇기어가 대향 배치되어 상기 제1 연결부에 연동하여 반대방향으로 회전되는 제2 연결부 상기 볼베어링의 상측으로 고정스크류 를 통해 나사 결합되는 볼베어링 덮개 상기 고정스크류의 나사결합시 상기 볼베어링 덮개에 텐션을 작용하기 위해 상기 볼베어링의 내륜과 상기 볼베어링 덮개 사이에 구비되는 웨이브 스프링 상기 볼베어링이 회전가능하도록 끼워지는 고정부가 내측에 돌출 형성되고, 상기 제1 및 제2 연결부의 하측을 덮으면서 상기 블레이드에 일측이 고정되는 연결부 하부덮개; 및 상기 제1 및 제2 연결부의 상측을 덮으면서 상기 블레이드에 일측이 고정되는 연결부 상부덮개 를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치의 블레이드 어셈블리 [청구항 2] 제1항에 있어서,베어링은 상기 웨이브 스프링의 상하 굴곡된 간격에 해당되는 길이 만큼 상기 볼베어링의 내륜이 외륜보다 상기 볼베어링 덮개를 향하는 방향으로 돌출 형성되어 상기 내륜과 외륜간에공차형성되어있는것을특징으로 하는웨이퍼 이송 장치의 블레이드 어셈블리. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,베어링은 다수의 볼과, 상기 볼 사이의 간격 유지를 위한 볼스페이서포함하여이루어진것을특징으로 하는웨이퍼 이송 장치의 블레이드 어셈블리. [청구항 4] 제3항에 있어서,베어링의 볼nan은내열성의세라믹재질로이루어진것을특징으로 하는웨이퍼 이송 장치의 블레이드 어셈블리. [청구항 5] 제3항에 있어서,베어링의 볼 스페이서는내열성의실리콘 카바이드재질로이루어진것을특징으로 하는웨이퍼 이송 장치의 블레이드 어셈블리.