문맥 (context)
[청구항 5]
반도체 기판 상에 형성되는 소자 분리막
상기 소자 분리막 상에 형성되는 폴리 패턴
상기 폴리 패턴의 상부 표면을 따라 형성되는 실리사이드
상기 실리사이드 상부에 형성되는 커패시터 절연막
상기 커패시터 절연막 상부에 형성되는 층간 절연막; 및
상기 층간 절연막을 관통하여 상기 실리사이드의 일 영역과 대응하는 커패시터 절연막 상에 형성되는 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 커패시터
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기 커패시터는,상기 폴리 패턴의 측벽 및 상기 소자 분리막 상에 형성되는 스페이서를 더 포함하는 것을 특징하는커패시터.
[청구항 7]
제5항에 있어서,상기 커패시터는,상기 층간 절연막 및 상기 커패시터 절연막을 관통하여 상기 실리사이드의 다른 일 영역과 접촉하는콘택더포함하는것을특징으로 하는커패시터.
[청구항 8]
제5항에 있어서,상기 금속 전극은,상기 실리사이드의 일 영역과 대응하는 절연막을 노출하도록 상기 층간 절연막 내에 형성된홈내부형성되는것을특징으로 하는커패시터.
[청구항 9]
제5항에 있어서,상기 커패시터 절연막은,상기 폴리 패턴의 상부, 상기 스페이서의표면및상기반도체기판의활성영역표면형성하는것을특징으로 하는커패시터.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 5 내지 9의 내용을 종합할 때, 커패시터의 구성 요소 중 실리사이드의 일 영역과 대응하는 커패시터 절연막 상에 형성되며 층간 절연막을 관통하는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 5 내지 9를 종합하여 실리사이드의 일 영역과 대응하는 커패시터 절연막 상에 형성되며 층간 절연막을 관통하는 구성 요소를 찾는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 5에서 실리사이드 상부에 커패시터 절연막이 있고, 그 상부에 층간 절연막이 있으며, 층간 절연막을 관통하여 커패시터 절연막 상에 형성되는 구성 요소가 명시되어 있다.
- 상기 층간 절연막을 관통하여 상기 실리사이드의 일 영역과 대응하는 커패시터 절연막 상에 형성되는 상부 전극
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 조건(실리사이드의 일 영역 대응, 커패시터 절연막 상 형성, 층간 절연막 관통)을 모두 만족하는 구절을 선택한다.
- 상기 층간 절연막을 관통하여 상기 실리사이드의 일 영역과 대응하는 커패시터 절연막 상에 형성되는 상부 전극
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4논리 통합
logical_integration청구항 5의 내용을 통해 해당 구성 요소가 '상부 전극'임을 논리적으로 도출한다.
- 상기 층간 절연막을 관통하여 상기 실리사이드의 일 영역과 대응하는 커패시터 절연막 상에 형성되는 상부 전극
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변으로 '상부 전극'을 결정한다.
- 상부 전극
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6답변 생성
answer_generation추출된 답변을 최종 형식에 맞춰 작성한다.
- 상부 전극
최종 답변 (final_answer)
상부 전극
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 실리사이드, 커패시터 절연막, 층간 절연막 및 상부 전극의 적층 구조를 통해 형성되는 커패시터의 구성에 관한 것이다.