문맥 (context)
[청구항 1]
단독 또는 조합된, 광학, 디스플레이, 광-전자, 전자 또는 미소-전자기계("mems"
) 부품을 구비하는 기판으로서, 상기 부품 및 별개의 부가적인 장치 또는 부품 사이의 전자적 접촉을 달성하기 위해서 사용될 수 있는 상기 부품 및/또는 상기 기판으로부터 연장되는, 임의의 전극 또는 전자적 리드를 포함하는 기판
제1면 또는 윗면 및 제2면 또는 아랫면을 갖는 정상부, 및 상기 아랫면으로부터 일 방향으로 일정 거리를 두고 상기 정상부의 전체 주위 또는 둘레로 연장되는 일정 두께 및 길이를 갖는 연장부를 구비하는 덮개
상기 부품으로부터, 기판에 본딩되었을 때 상기 덮개에 의해 정해지는 챔버 외부의 별개의 부품 또는 장치까지 연장되는 임의의 전극 또는 전자적 리드를 포함하는 상기 기판에 상기 덮개 연장부를 본딩시키는 접착제; 및
상기 덮개 연장부, 상기 접착제 및, 임의의 전극 및/또는 전자적 리드를 포함하는 상기 기판과 접촉하여, 상기 챔버내의 광학, 광-전자, 전자 또는 미소 전자기계 부품을 밀봉 씰링하면서, 동시에 상기 전극 및/또는 전자적 리드가 상기 챔버내의 부품으로부터 상기 챔버 외부의 별개의 부가적인 장치 또는 부품으로 통하도록 하는 씰링제를 포함하는 것을 특징으로 하는 밀봉 씰링된 장치
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 씰링제는 sio2, al2o3, tio2, zro2, hfo2, ta2o5, nb2o5, y2o3, mgo, ceo2, la2o3, srtio3, batio3 및 플루오린 도핑된 실리카; 및 상기 중 임의의 재료 배합물의 화합물/라미나 층으로 구성되는군중선택되는것을특징으로 하는장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 덮개의 정상부는 장치의 내부 및 외부로 빛을 통과시키는 것을 허용할정도투명한것을특징으로 하는장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 덮개는 투명, 불투명하거나, 또는 빛에 대해불투과성인것을특징으로 하는장치.
[청구항 5]
제1항에 있어서,상기 장치는 상기 챔버내에 미소 거울 어레이를 구비한디지털광프로세싱장치인것을특징으로 하는장치.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 장치는제어장치인것을특징으로 하는장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
밀봉 씰링된 장치에서 씰링제가 수행하는 두 가지 주요 기능은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation밀봉 씰링된 장치 내에서 씰링제가 수행하는 두 가지 주요 기능을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 씰링제의 역할과 관련된 구절을 추출한다.
- 상기 챔버내의 광학, 광-전자, 전자 또는 미소 전자기계 부품을 밀봉 씰링하면서, 동시에 상기 전극 및/또는 전자적 리드가 상기 챔버내의 부품으로부터 상기 챔버 외부의 별개의 부가적인 장치 또는 부품으로 통하도록 하는 씰링제
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3근거 선택
evidence_selection씰링제의 두 가지 기능인 '부품 밀봉 씰링'과 '전극/리드의 통로 제공'을 핵심 근거로 선택한다.
- 상기 챔버내의 광학, 광-전자, 전자 또는 미소 전자기계 부품을 밀봉 씰링하면서, 동시에 상기 전극 및/또는 전자적 리드가 상기 챔버내의 부품으로부터 상기 챔버 외부의 별개의 부가적인 장치 또는 부품으로 통하도록 하는
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4논리 통합
logical_integration추출된 근거를 바탕으로 씰링제가 챔버 내부 부품을 보호(밀봉)하는 동시에 전기적 연결(통로)을 유지함을 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답하기 위해 씰링제의 두 기능을 명확하게 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation추상적 답변 형식에 맞춰 씰링제의 두 가지 기능을 기술한다.
최종 답변 (final_answer)
밀봉 씰링된 장치에서 씰링제는 챔버 내의 광학, 광-전자, 전자 또는 미소 전자기계 부품을 밀봉 씰링하는 기능과, 전극 및/또는 전자적 리드가 챔버 내의 부품으로부터 챔버 외부의 부가적인 장치 또는 부품으로 통하도록 하는 기능을 수행한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명의 씰링제는 챔버 내부의 민감한 부품을 외부로부터 밀봉하여 보호하는 동시에, 전기적 신호 전달을 위한 전극의 통로 역할을 동시에 수행하여 장치의 밀봉성과 전기적 연결성을 모두 확보한다.