문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,서로 인접하는개구부의최단 거리이상인것을특징으로 하는정전척.
[청구항 3]
제1항 또는 제2항에 있어서,개구부의 최단 거리(x)를 포함하는 직선상에 적어도 이들 인접하는개구부의중심위치하는것을특징으로 하는정전척.
[청구항 4]
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,제2전극층이, 일단이 개방된 직사각형의 개구부를 복수 배치하여 빗살형상의 도전부를 가지도록 형성한 패턴 전극으로 이루어지며, 인접하는 상기 개구부의 최단 거리(x)를 포함하는 직선상에 다른개구부의중심위치하는것을특징으로 하는정전척.
[청구항 5]
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,제2전극층이 둥근 구멍으로 이루어지는 개구부를 복수 배치하여 메쉬형상의 도전부를 가지도록 형성한 패턴 전극으로 이루어지며, 상기 둥근 구멍의 하나에 주목하여 이 둥근 구멍에 인접하는 6개의 둥근 구멍의 중심이정육각형의정점위치하는것을특징으로 하는정전척.
[청구항 6]
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,제2전극층이 이온 플래팅법에 의해 막두께 0.1~5㎛로 형성된패턴 전극으로이루어지는것을특징으로 하는정전척.
[청구항 7]
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,금속 기반과 제1절연층의 사이에 막두께 500~1000㎛의 실리콘 고무로 이루어지는존재하는것을특징으로 하는정전척.
[청구항 9]
제8항에 있어서,서로 인접하는개구부의최단 거리이상인것을특징으로 하는정전척용 전극 시트.
[청구항 10]
제8항 또는 제9항에 있어서,개구부의 최단 거리(x)를 포함하는 직선상에 적어도 이들 인접하는개구부의중심위치하는것을특징으로 하는정전척용 전극 시트.
[청구항 11]
제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,제2전극층이 일단이 개방된 직사각형의 개구부를 복수 배치하여 빗살형상의 도전부를 가지도록 형성한 패턴 전극으로 이루어지며, 인접하는 상기 개구부의 최단 거리(x)를 포함하는 직선상에 다른개구부의중심위치하는것을특징으로 하는정전척용 전극 시트.
[청구항 12]
제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,제2전극층이 둥근 구멍의 개구부를 복수 배치하여 메쉬형상의 도전부를 가지도록 형성한 패턴 전극으로 이루어지며, 상기 개구부의 하나에 주목하여 이 개구부에 인접하는 6개의 개구부의 중심이정육각형의정점위치하는것을특징으로 하는정전척용 전극 시트.
[청구항 13]
제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,제2전극층이 이온 플래팅법에 의해 막두께 0.1~5㎛로 형성된패턴 전극으로이루어지는것을특징으로 하는정전척용 전극 시트.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
정전척의 제2전극층이 빗살형상의 도전부를 가지도록 형성된 경우, 인접하는 개구부의 최단 거리(x)와 개구부의 중심 위치 사이에는 어떠한 관계가 성립하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation정전척의 제2전극층이 빗살형상인 경우, 개구부의 최단 거리(x)와 개구부 중심 위치 사이의 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 제2전극층이 빗살형상의 도전부를 가지도록 형성된 경우에 대한 기술적 특징을 추출한다.
- 제2전극층이, 일단이 개방된 직사각형의 개구부를 복수 배치하여 빗살형상의 도전부를 가지도록 형성한 패턴 전극으로 이루어지며
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3근거 선택
evidence_selection빗살형상 도전부와 개구부의 위치 관계를 설명하는 구절을 선택한다.
- 인접하는 상기 개구부의 최단 거리(x)를 포함하는 직선상에 다른개구부의중심위치하는것을특징으로 하는정전척
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4논리 통합
logical_integration빗살형상 도전부를 형성하는 개구부들의 최단 거리(x)를 포함하는 직선상에 다른 개구부의 중심이 위치한다는 관계를 도출한다.
- 인접하는 상기 개구부의 최단 거리(x)를 포함하는 직선상에 다른개구부의중심위치하는것을특징으로 하는정전척
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5결론 도출
conclusion_formulation인접하는 개구부의 최단 거리(x)를 포함하는 직선상에 다른 개구부의 중심이 위치한다는 결론을 내린다.
- 인접하는 상기 개구부의 최단 거리(x)를 포함하는 직선상에 다른개구부의중심위치하는것을특징으로 하는정전척
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6답변 생성
answer_generation질문에 대한 직접적인 답변을 생성한다.
- 인접하는 상기 개구부의 최단 거리(x)를 포함하는 직선상에 다른개구부의중심위치하는것
최종 답변 (final_answer)
인접하는 상기 개구부의 최단 거리(x)를 포함하는 직선상에 다른 개구부의 중심이 위치한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
빗살형상 도전부를 갖는 정전척의 제2전극층에서, 인접한 개구부들의 최단 거리(x)를 포함하는 직선상에 개구부의 중심들이 정렬되어 배치됨을 의미한다.