문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 에피택셜 산화물막 중에, 상기 a 도메인 및 상기 b 도메인에 더하여 c 도메인 및 d 도메인을 더 가지고, 이들 도메인이 결정 방위 편차가 있고, 상기 c 도메인과 상기 d 도메인과의 결정 방위 편차미만인에피택셜 산화물막.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기a 도메인과 상기 b 도메인과의 결정 방위 편차미만인에피택셜 산화물막.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 에피택셜 산화물막 중에, 상기 a 도메인 및 상기 b 도메인에 더하여 c 도메인 및 d 도메인을 더 가지고, 이들 도메인이 결정 방위 편차가 있고, 상기 c 도메인과 상기 d 도메인과의 결정 방위 편차미만인에피택셜 산화물막.
[청구항 6]
제5항에 있어서,상기a 도메인과 상기 b 도메인과의 결정 방위 편차가 5°미만이고, 상기 c 도메인과 상기 d 도메인과의결정 방위편차미만인것을특징으로 하는에피택셜 산화물막.
[청구항 7]
제5항에 있어서,상기a 도메인과 상기 b 도메인과의 결정 방위 편차가 2°미만이고, 상기 c 도메인과 상기 d 도메인과의결정 방위편차미만인것을특징으로 하는에피택셜 산화물막.
[청구항 8]
제3항에 있어서,티탄산납 또는 지르콘산 티탄산납을포함하는에피택셜 산화물막.
[청구항 9]
제7항에 있어서,티탄산납 또는 지르콘산 티탄산납을포함하는에피택셜 산화물막.
[청구항 10]
제5항에 있어서,상기a 도메인과 상기 b 도메인과의 결정 방위 편차를 x°, 상기 c 도메인과 상기 d 도메인과의 결정 방위 편차를 y°라 한 경우,x=y의 관계만족시키는에피택셜 산화물막.
[청구항 11]
제5항에 있어서,적어도 정방정을 갖는 003c#100003e# 배향의 에피택셜막인 산화물막에 있어서, 상기 a 도메인의 [100] 방위의 막 면내 방향 벡터 성분과 상기 b 도메인의 [001] 방위의 막 면내 방향 벡터 성분과의 막 면내 방향의 회전 편차를 v°, 상기 c 도메인의 [001] 방위의 면 내 방향 벡터 성분과 상기 d 도메인의 [100] 방위의 막 면내 방향 벡터 성분과의 막 면내 방향의 회전 편차를 w°라 한 경우,0003c#v=w≤45의 관계만족시키는에피택셜 산화물막.
[청구항 12]
제5항에 있어서,막 두께가 0.6 μm이상인에피택셜 산화물막.
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 에피택셜 산화물막 중에, 상기 a 도메인 및 상기 b 도메인에 더하여 c 도메인 및 d 도메인을 더 가지고, 이들 도메인이 결정 방위 편차가 있고, 상기 c 도메인과 상기 d 도메인과의 결정 방위 편차미만인압전막.
[청구항 15]
제13항에 있어서,상기a 도메인과 상기 b 도메인과의 결정 방위 편차미만인압전막.
[청구항 16]
제15항에 있어서,상기 에피택셜 산화물막 중에, 상기 a 도메인 및 상기 b 도메인에 더하여 c 도메인 및 d 도메인을 더 가지고, 이들 도메인이 결정 방위 편차가 있고, 상기 c 도메인과 상기 d 도메인과의 결정 방위 편차미만인압전막.
[청구항 18]
제17항에 있어서,상기a 도메인과 상기 b 도메인과의 결정 방위 편차가 5°미만이고, 상기 c 도메인과 상기 d 도메인과의결정 방위편차미만인것을특징으로 하는압전막.
[청구항 19]
제17항에 있어서,상기a 도메인과 상기 b 도메인과의 결정 방위 편차가 2°미만이고, 상기 c 도메인과 상기 d 도메인과의결정 방위편차미만인것을특징으로 하는압전막.
[청구항 20]
제15항에 있어서,상기 에피택셜 산화물막은 티탄산납 또는 지르콘산 티탄산납포함하는압전막.
[청구항 21]
제19항에 있어서,상기 에피택셜 산화물막은 티탄산납 또는 지르콘산 티탄산납포함하는압전막.
[청구항 22]
제17항에 있어서,상기a 도메인과 상기 b 도메인과의 결정 방위 편차를 x°, 상기 c 도메인과 상기 d 도메인과의 결정 방위 편차를 y°라 한 경우,x=y의 관계만족시키는압전막.
[청구항 23]
제17항에 있어서,적어도 정방정을 갖는 003c#100003e# 배향의 에피택셜막인 산화물막에 있어서,상기 a 도메인의 [100] 방위의 막 면내 방향 벡터 성분과 상기 b 도메인의 [001] 방위의 막 면내 방향 벡터 성분과의 막 면내 방향의 회전 편차를 v°, 상기 c 도메인의 [001] 방위의 면 내 방향 벡터 성분과 상기 d 도메인의 [100] 방위의 막 면내 방향 벡터 성분과의 막 면내 방향의 회전 편차를 w°라 한 경우, 0003c#v=w≤45의 관계만족시키는압전막.
[청구항 24]
제13항에 있어서,도메인 구조를갖는압전막.
[청구항 25]
제17항에 있어서,막 두께가 0.6 μm이상인압전막.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 구성요소 사이의 연결 및 상호작용을 분석하여 질문에 답하라. 문맥에 제시된 표현을 중심으로 답하라.
질문 (question)
제5항을 인용하는 에피택셜 산화물막 중, a 도메인과 b 도메인의 결정 방위 편차를 x°, c 도메인과 d 도메인의 결정 방위 편차를 y°라고 할 때, x와 y 사이에는 어떠한 관계가 성립하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation제5항을 인용하는 에피택셜 산화물막에서 a-b 도메인 간 결정 방위 편차(x°)와 c-d 도메인 간 결정 방위 편차(y°) 사이의 관계를 찾는 것이다.
-
2정보 추출
information_extraction제5항을 인용하는 청구항 중 x와 y의 관계를 명시한 청구항을 탐색한다.
-
3근거 선택
evidence_selection청구항 10에서 x와 y의 관계를 직접적으로 정의하고 있음을 확인한다.
- 상기a 도메인과 상기 b 도메인과의 결정 방위 편차를 x°, 상기 c 도메인과 상기 d 도메인과의 결정 방위 편차를 y°라 한 경우,x=y의 관계만족시키는에피택셜 산화물막.
-
4논리 통합
logical_integration청구항 10에 따르면 x와 y는 서로 같아야 한다는 관계(x=y)가 성립한다.
- x=y의 관계만족시키는
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 x와 y 사이의 관계는 x=y이다.
- x=y의 관계만족시키는
-
6답변 생성
answer_generation추출된 관계식인 x=y를 최종 답변으로 작성한다.
- x=y
최종 답변 (final_answer)
x=y
핵심 해석 (core_interpretation)
에피택셜 산화물막 내의 서로 다른 도메인 쌍(a-b 및 c-d) 간의 결정 방위 편차가 동일하게 유지되어야 함을 기술하고 있다.