포토리소그래피 장치를 위한 조명기 document_id 1020087008298

[청구항 2] 제1항에 있어서,투명부(610)는장방형형상및세로축가지는것을특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 3] 제2항에 있어서,투명부(610)는 실질적으로 직사각형 형상을 가지고, 각각의 직사각형은 큰 변들(613) 및 작은 변들(614) 사이에 포함되고,상기투명부의세로축들서로평행한것을특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 4] 제3항에 있어서,2 개의 큰 변들이 근접하며 이동 방향 x로 연속한다는 조건 하에, 이동 방향 x의 2 개의 연속 투명부의 2 개의 세로축들(611) 사이의 거리(a)와, 상기 2 개의 연속 투명부의 2 개의 큰 변들(613) 사이의 거리(b) 사이의 비율(a/b)의 값은 2 보다 작은것특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 5] 제2항 또는 제3항에 있어서,상기 셔터(6)는 상기 셔터 판(61)에 대향하도록 광학적으로 위치하는 적어도 하나의 교차 판(62)을 포함하고, 상기 교차 판(62)은 상기 광 빔(10)을 차광하는 불투명부(622) 및 광 빔이 통과하도록 할 수 있는 투명부(620)의 적어도 하나의 교체부를포함하는것을특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 교차 판(62)의 상기 투명부는장방형형상및세로축가지는것을특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 교차 판(62)은 복수의 교체부를포함하는것을특징으로 하는조명기. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 셔터 판(61) 및 교차 판(62)의상기투명부들의상기각각의세로축들서로수직인것을특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 9] 제5항에 있어서,상기 교차 판(62)의 각각의 투명부(620)는 실질적으로 직사각형 형상을 가지고, 각각의 직사각형은 큰 변들(623) 및 작은 변들(624) 사이에 포함되며,상기투명부의상기세로축들서로평행한것을특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 10] 제5항에 있어서,상기 교차 판(62)은 상기 교차 판(62)에 실질적으로 평행한 평면 (x, y)에서 상기 빔에 대해 이동할 수 없는것특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 11] 제5항에 있어서,상기 셔터의 이동 수단(9)은 상기 셔터 판(61)을 이동시키는 수단(91) 및 상기 교차 판(62)을 이동시키는 수단(92)을 포함하고, 상기 셔터 판(61)의 이동은 상기 마스크(8) 및 상기 웨이퍼(w)의 이동에 동기화되어 행해질 수 있으며, 상기 교차 판(62)은 상기 교차 판(62)에 실질적으로 평행한 평면 (x, y)에서 상기 빔에 대해 이동할 수있는것을특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 셔터 판(61)은 상기 셔터 판(61)에 실질적으로 평행한 두 방향 (x, y)로 이동할 수있는것을특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 13] 제5항에 있어서,상기 교차 판(62)은 상기 셔터 판(61)에 광학적으로 대향하는 적어도 상기 메인 마이크로렌즈 어레이(4)를 포함하는 광학계의 퓨필(40, 410)에 근접한영역위치하는것을특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 14] 제9항에 있어서,상기 2 개의 판들(61, 62)의 상기 투명부(610, 620) 또는 상기 2 개의 판들의 상기 투명부의 결합을 형성하는 상기 직사각형들의 작은 변들(614, 624)의 비율은 상기 어레이(4)의 마이크로렌즈의크기비율동일한것을특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 15] 제1항에 있어서,광학적으로 서로 대향하도록 위치하며, 상기 셔터 판들(61, 61')에 실질적으로 평행한 이동 방향 x로 상기 빔(10)에 대하여 서로 이동할 수 있는2개의셔터판들포함하는것을특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 16] 제5항에 있어서,광학적으로 서로 대향하도록 위치하며, 상기 교차 판들(62, 62')에 실질적으로 평행한 이동 방향 y로 상기 빔(10)에 대하여 서로 이동할 수 있는 2 개의 셔터 판들(62, 62')을 포함하고, 상기 교차 판들의 이동 방향은 적어도 하나의 셔터 판(61)의이동 방향수직인것을특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 17] 제 1 항에 있어서,상기 셔터(6)의 하부 및 콘덴서(5)의 상부에 위치하는 균질화 마이크로렌즈들의어레이포함하는것을특징으로 하는포토리소그래피 장치의 조명기. [청구항 19] 제18항에 있어서,상기 마스크(8)는 상기 마스크(8)의 이동 방향에 수직인 방향 z으로 상기 콘덴서(5)의 포커싱 평면(51)에서디포커싱되는것을특징으로 하는포토리소그래피 장치. [청구항 20] 제19항에 있어서,상기 셔터 판(61)의 상기 투명부(610)의 피치는 상기 마스크(8)의 이동 방향에 실질적으로 평행한 방향으로의 상기 메인 마이크로렌즈 어레이(4)의 피치보다 더 큰것특징으로 하는포토리소그래피 장치. [청구항 21] 제20항에 있어서,상기 조명기는 상기 메인 어레이(4)의 퓨필의 퓨필 영상(410)을 생성하는 마이크로렌즈들의 적어도 하나의 어레이(41)를 포함하고, 상기 생성 어레이(41)는 상기 메인 마이크로렌즈 어레이(4)의 하부이면서 상기 셔터(6)의 상부인 위치에 위치하고, 상기 셔터 판(61)의 상기 투명부(610)의 피치는 상기 마스크(8)의 이동 방향에 실질적으로 평행한 방향으로의 상기 생성 어레이(41)의 피치보다 더 큰것특징으로 하는포토리소그래피 장치. [청구항 22] 제20항에 있어서,상기 조명기는 균질화 마이크로렌즈들의 적어도 하나의 어레이(42)를 포함하고, 상기 생성 어레이(42)는 상기 메인 마이크로렌즈 어레이(4)의 하부이면서 상기 콘덴서(5)의 상부인 위치에 위치하고, 상기 셔터 판(61)의 상기 투명부(610)의 피치는 상기 마스크(8)의 이동 방향에 실질적으로 평행한 방향으로의 균질화 어레이(42)의 피치보다 더 큰것특징으로 하는포토리소그래피 장치.