굴곡 플레이트 웨이브 센서 document_id 1020087016367

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,압전 변환기(transducer)가 상기 에피택셜 실리콘의 윗면에 걸쳐놓이는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 3] 제 1 항에 있어서,상기 에피택셜 실리콘에 대한 접지 접점이 압전 변환기로 개구(opening)를 에칭함에 의해제공되는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 빗살 무늬가 티타늄-플래티늄-골드(tiptau) 금속으로 구성되고,상기 빗살 무늬가 교차지(interdigital) 금속 전극, 와이어 결합 패드 영역,및접지접점포함하는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,상기 에피택셜 윗면이 약 2μm의두께인것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 8] 제 4 항에 있어서,상기 빗살 무늬가 약 0.1μm의두께인,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 빗살 무늬가 상기 굴곡 플레이트의 전체 길이에 걸쳐 배치된 제 1 및 제 2 세트의 감지 치형체를 추가포함하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 13] 제 11 항에 있어서,상기 구동 치형체의 제 1 및 제 2 세트가서로반대방향있는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 14] 제 12 항에 있어서,상기 감지 치형체의 제 1 및 제 2 세트가 서로 반대 방향으로 향하고 있는 것을 특징하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 15] 제 13 항에 있어서,상기 구동 치형체의 제 1및제2세트서로삽입되어있는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 16] 제 14 항에 있어서,상기 감지 치형체의 제 1및제2세트서로삽입되어있는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 17] 제 15 항에 있어서,상기 삽입된 구동 치형체의 제 1 및 제 2 세트가 상기 굴곡 플레이트 폭의 약 50 퍼센트에 걸쳐있는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 18] 제 16 항에 있어서,상기 삽입된 감지 치형체의 제 1 및 제 2 세트가 상기 굴곡 플레이트 폭의 약 50 퍼센트에 걸쳐있는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 19] 제 11 항에 있어서,상기 구동 치형체의 제 1 및 제 2 세트가 동일한방향있는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 20] 제 12 항에 있어서,상기 감지 치형체의 제 1 및 제 2 세트가 동일한방향있는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 21] 제 20 항에 있어서,상기 구동 치형체의 제 1 세트가상기감지치형체의제1세트삽입되는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 22] 제 21 항에 있어서,상기 감지 치형체의 제 2 세트에 삽입된 상기 구동 치형체의 제 1 세트가 함께 상기 굴곡 플레이트의 폭의 약 50 퍼센트에 걸쳐있는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 23] 제 20 항에 있어서,상기 구동 치형체의 제 2 세트가상기감지치형체의제2세트삽입되는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 24] 제 23 항에 있어서,상기 감지 치형체의 제 1 세트에 삽입된 상기 구동 치형체의 제 2 세트가 함께 상기 굴곡 웨이브 플레이트의 폭의 약 50 퍼센트에 걸쳐서있는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 26] 제 25 항에 있어서,상기 구동 치형체의 제 1 및 제 2 세트가 한 방향을 향하고, 상기 감지 치형체의 제 1 및 제 2 세트가반대방향향하는것을특징으로 하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서. [청구항 28] 제 27 항에 있어서,단부에서 상기 굴곡 플레이트의 거의 전체 폭에 걸쳐 있고, 상기 플레이트의 거의 중심에서 상기 굴곡 플레이트의 중심을 향하여 휘어지며, 상기 굴곡 플레이트의 길이의 약 50 퍼센트에 걸쳐 배치된 감지 치형체의 제 1 및 제 2 세트포함하는,굴곡 플레이트 웨이브 센서.