기판처리장치 및 기판처리방법 document_id 1020087016449

[청구항 2] 제1항에 있어서,상기 기판경사기구는 그 한쪽 표면상의 린스액을 그 한쪽 표면상에서 액 덩어리를 이룬 상태인 채로 아래쪽으로 이동시켜 배제하도록 기판경사시키는 것인기판처리장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 기판경사기구는 상기 기판의 한쪽 표면상을 이동하는 상기 액 덩어리의 후연(後緣)이 매초 3∼20mm의 속도로 이동하도록 기판경사시키는 것인기판처리장치. [청구항 4] 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판경사기구에 의해 기판을 경사시켰을 때에, 상기 경사자세의 기판의 하방측 단면(端面)에 맞닿는 맞닿음부재더 포함하는기판처리장치. [청구항 5] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 린스액공급기구 및 상기 기판경사기구를 제어하여, 상기 기판지지기구에 의해 수평으로 지지되어 있는 기판의 상기 한쪽 표면의 일부 또는 전체 영역을, 상기 린스액공급기구로부터 공급된 린스액의 액막(液膜)으로 피복하고, 그 후, 상기 기판경사기구에 의해 상기 기판을 경사시키는 제어수단더 포함하는기판처리장치. [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 제어수단은 또한 상기 기판건조수단을 제어하여, 상기 기판경사기구에 의해 상기 기판을 경사시킴으로써 상기 한쪽 표면으로부터 린스액을 배제한 후, 상기 기판건조수단에 의해 기판상의 액성분건조시키는 것인기판처리장치. [청구항 7] 제6항에 있어서,상기 기판건조수단은 상기 기판지지기구에 지지되어 있는 기판을 회전시키는 기판회전 수단을 포함하고,상기 제어수단은 기판을 건조시킬 때, 상기 기판회전수단에 의해 상기 기판을 회전시킴으로써, 이 기판의 단면에 잔류하는 액방울내게 하는 것인기판처리장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 제어수단은 상기 기판경사기구에 의해 기판을 경사시킴으로써 상기 기판의 한쪽 표면으로부터 린스액을 배제한 후, 상기 기판경사기구에 의해 기판을 경사자세로부터 수평자세로 복귀시키고, 그 후에, 상기 기판회전수단에 의해 기판을 회전시켜, 이 기판의 단면에 잔류하는 액방울내게 하는 것인기판처리장치. [청구항 9] 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판건조수단은 상기 기판지지기구에 지지되어 있는 기판에 적외선을 조사하는 적외선발생수단포함하는기판처리장치. [청구항 10] 제5항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판지지기구에 지지된 기판의 상기 한쪽 표면에 불활성 가스를 공급하는 불활성가스공급기구를 더 포함하고,상기 제어수단은 또한 상기 불활성가스공급기구를 제어하여, 기판을 경사시켜 그 한쪽 표면으로부터 린스액을 배제할 때, 상기 기판의 한쪽 표면에서 적어도 린스액이 배제된 영역에 상기 불활성가스공급수단으로부터의 불활성 가스공급시키는 것인기판처리장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 기판지지기구에 지지된 기판의 상기 한쪽 표면에 근접 배치 가능한 기판 대향면을 갖는 차단부재와,이 차단부재를 상기 기판지지기구에 지지된 기판의 상기 한쪽 표면에 대해 근접/이반(離反)시키는 차단부재이동기구를 더 포함하고,상기 제어수단은 또한 상기 차단부재이동기구를 제어하여, 상기 불활성가스공급수단으로부터의 불활성 가스가 상기 기판의 한쪽 표면에 공급될 때, 상기 차단부재의 기판 대향면이 상기 기판의 한쪽 표면에 근접한 소정 위치에 배치되도록 상기 차단부재이동기구제어하는 것인기판처리장치. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 기판경사기구에 의해 기판이 경사될 때, 이 기판의 경사에 따라 상기 기판 대향면이 경사지도록 상기 차단부재를 경사시키는 차단부재경사기구더 포함하는기판처리장치. [청구항 13] 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판경사기구에 의해 경사자세로 된 기판의 상기 한쪽 표면상의 린스액에 새로 린스액을 공급하는 린스액보급기구더 포함하는기판처리장치. [청구항 15] 제14항에 있어서,상기 기판건조수단, 상기 린스액공급기구, 상기 가스나이프기구 및 상기 린스액공급기구를 제어하여, 상기 린스액공급기구에 의해 상기 기판의 상면에 린스액을 공급시킨 후, 상기 가스나이프기구가 형성하는 기체분사영역에서 기판의 상면을 스캐닝시킴과 아울러 상기 린스액보급기구로부터 그 기체분사영역의 스캐닝 방향 하류측의 영역에 린스액을 공급시킴으로써, 기판의 상면으로부터 린스액을 배제하고, 그 후, 상기 기판건조수단에 의해 기판상의 액성분을 건조시키는 제어수단더 포함하는기판처리장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 기판건조수단은 상기 기판지지기구에 지지되어 있는 기판을 회전시키는 기판회전수단을 포함하고,상기 제어수단은 기판을 건조시킬 때, 상기 기판회전수단에 의해 상기 기판을 회전시킴으로써, 이 기판의 단면에 잔류하는 액방울내게 하는 것인기판처리장치. [청구항 17] 제14항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가스나이프기구는 기판의 상면에 선상(線狀)의 상기 기체분사영역형성하는 것인기판처리장치. [청구항 18] 제14항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가스나이프기구는 상기 기체분사영역의 스캐닝 방향 상류측으로 향해 중앙부가 후퇴한 오목형(凹形)의 선상 기체분사영역을 기판의 상면에 형성하는 것인 것특징으로 하는기판처리장치. [청구항 19] 제14항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판지지기구에 지지되어 있는 기판을, 그 상면이 수평면을 따르는 수평자세로부터, 그 상면이 수평면에 대해 소정 각도만큼 경사진 경사자세로 경사시키는 기판경사기구더 포함하는기판처리장치.