문맥 (context)
[청구항 1]
소재를 이송시키면서 특정 처리를 소재에 부여하기 위해서 소재에 플라즈마 를 조사하기 위한 소재 처리 시스템은,
마이크로파를 발생하기 위한 마이크로파 발생기와, 마이크로파가 이동되도록 하기 위한 도파관과, 마이크로파를 수용하기 위해 다 수개의 플라즈마 발생 노즐을 구비하고 수용된 전기 에너지를 바탕으로 하여 플라즈마 변환 가스를 생성하고 생성된 가스를 방출하는 플라즈마 발생기를 포함하며, 상기 플라즈마 발생 노즐이 상기 도파관 위의 어레이(array)에 장착되는 플라즈마 발생장치; 및
상기 소재가 상기 플라즈마 발생기를 지나 이송되게 하는 소재 컨베이어
를 포함하고,
상기 플라즈마 발생 노즐들 각각은 도파관 내부에 일 단부가 배치되는 내부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 일정한 간격을 이루면서 내부 컨덕터 둘레에 배열된 외부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 외부 컨덕터 사이의 틈으로 특정 가스를 공급하기 위한 가스 공급 포션을 포함하며, 플라즈마 변환 가스가 안내 단부로부터 방출되게 하는 것을 특징으로 하는 소재 처리 시스템
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 소재 컨베이어는 평평한 플레이트 형태인 소재를 이송할 수 있도록 구축되고, 상기 플라즈마 발생기는 이송 방향에 직교(orthogonal)한 소재 폭과 동등한폭구비하는것을특징으로 하는소재 처리 시스템.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 도파관은 직사각형 도파관이며, 다 수개의 플라즈마 발생 노즐은 상기 직사각형 도파관의 일 측면에일렬배열되는것을특징으로 하는소재 처리 시스템.
[청구항 6]
마이크로파를 발생하기 위한 마이크로파 발생기
마이크로파가 이동되도록 하기 위한 도파관; 및
마이크로파를 수용하기 위해서 다 수개의 플라즈마 발생 노즐을 구비하고 수용된 전기 에너지를 바탕으로 하여 플라즈마 변환 가스를 생성하고 발생된 가스를 방출하며 상기 플라즈마 발생 노즐이 도파관 위의 어레이(array)에 장착되는 플라즈마 발생기를 포함하고,
상기 도파관은 소재가 처리되도록 하기 위한 이송 통로와 마주하는 표면을 가지며, 상기 플라즈마 발생기는 상기 마주하는 표면에 장착되며,
상기 플라즈마 발생 노즐들 각각은 상기 도파관 내부에 일단부가 배치되는 내부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 일정한 간격을 이루면서 내부 컨덕터 둘레에 배열된 외부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 상기 외부 컨덕터 사이의 틈으로 특정 가스를 공급하기 위한 가스 공급 포션을 포함하고, 플라즈마 변환 가스가 안내 단부로부터 방출되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 발생장치
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 요구되는 정보를 명확한 구조로 정리하라.
질문 (question)
소재 처리 시스템에서 플라즈마 발생 노즐의 내부 구조와 가스 공급 방식은 어떻게 구성되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation소재 처리 시스템 내 플라즈마 발생 노즐의 내부 구조와 가스 공급 방식에 대한 정보를 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1 및 청구항 6에서 노즐의 구성 요소인 내부 컨덕터, 외부 컨덕터, 가스 공급 포션에 관한 내용을 확인한다.
- 상기 플라즈마 발생 노즐들 각각은 도파관 내부에 일 단부가 배치되는 내부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 일정한 간격을 이루면서 내부 컨덕터 둘레에 배열된 외부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 외부 컨덕터 사이의 틈으로 특정 가스를 공급하기 위한 가스 공급 포션을 포함하며
-
3근거 선택
evidence_selection노즐의 구조(내부/외부 컨덕터)와 가스 공급 방식(컨덕터 사이의 틈을 통한 공급)을 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 플라즈마 발생 노즐들 각각은 도파관 내부에 일 단부가 배치되는 내부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 일정한 간격을 이루면서 내부 컨덕터 둘레에 배열된 외부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 외부 컨덕터 사이의 틈으로 특정 가스를 공급하기 위한 가스 공급 포션을 포함하며
-
4논리 통합
logical_integration노즐은 내부 컨덕터와 이를 둘러싼 외부 컨덕터로 구성되며, 가스는 이 두 컨덕터 사이의 틈을 통해 공급된다는 점을 결합한다.
- 상기 플라즈마 발생 노즐들 각각은 도파관 내부에 일 단부가 배치되는 내부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 일정한 간격을 이루면서 내부 컨덕터 둘레에 배열된 외부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 외부 컨덕터 사이의 틈으로 특정 가스를 공급하기 위한 가스 공급 포션을 포함하며
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 답변하기 위해 노즐의 구조적 구성과 가스 공급 경로를 정리한다.
- 상기 플라즈마 발생 노즐들 각각은 도파관 내부에 일 단부가 배치되는 내부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 일정한 간격을 이루면서 내부 컨덕터 둘레에 배열된 외부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 외부 컨덕터 사이의 틈으로 특정 가스를 공급하기 위한 가스 공급 포션을 포함하며
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 구조와 가스 공급 방식을 구조화된 형태로 답변한다.
- 상기 플라즈마 발생 노즐들 각각은 도파관 내부에 일 단부가 배치되는 내부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 일정한 간격을 이루면서 내부 컨덕터 둘레에 배열된 외부 컨덕터와, 상기 내부 컨덕터와 외부 컨덕터 사이의 틈으로 특정 가스를 공급하기 위한 가스 공급 포션을 포함하며
최종 답변 (final_answer)
플라즈마 발생 노즐의 내부 구조와 가스 공급 방식은 다음과 같다.
1. 내부 구조:
- 내부 컨덕터: 도파관 내부에 일 단부가 배치됨
- 외부 컨덕터: 내부 컨덕터와 일정한 간격을 유지하며 내부 컨덕터 둘레에 배열됨
2. 가스 공급 방식:
- 내부 컨덕터와 외부 컨덕터 사이의 틈을 통해 특정 가스를 공급하는 가스 공급 포션을 포함함
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 도파관 내부에 배치된 내부 컨덕터와 이를 둘러싼 외부 컨덕터 사이의 공간을 활용하여 가스를 공급함으로써 플라즈마 변환 가스를 생성하는 노즐 구조를 특징으로 한다.