제거식 애노드 조립체를 갖는 이온 공급원 document_id 1020087019803

[청구항 2] 제1항에 있어서,가스 분배기와 열 제어판 사이에 열전도성 열전달 시트더 포함하는제거식 애노드 조립체. [청구항 3] 제1항에 있어서,애노드와 열 제어판 사이에 열전도성 열전달 시트더 포함하는제거식 애노드 조립체. [청구항 4] 제1항에 있어서,열 제어판과 베이스부 사이에 열전도성 열전달 시트더 포함하는제거식 애노드 조립체. [청구항 5] 제1항에 있어서,열 제어판은 전기 절연성 재료를 더 포함하고, 애노드 조립체는가스 분배기와 열 제어판 사이에 제1 열전도성 열전달 시트와,애노드와 열 제어판 사이에 제2 열전도성 열전달 시트와,열 제어판과 조립체부 사이에 제3 열전도성 열전달 시트더 포함하는제거식 애노드 조립체. [청구항 6] 제5항에 있어서,애노드의 리세스 내에 제거 가능하게 부착되고, 제2 열전달 시트 내에 형성된 제1 전극 구멍을 통해, 열 제어판 내에 형성된 제2 전극 구멍을 통해 그리고 제3 열전달 시트 내에 형성된 제3 전극 구멍을 통해 애노드의 하부면 아래로 연장되는 애노드 전극더 포함하는제거식 애노드 조립체. [청구항 7] 제1항에 있어서,애노드 조립체를 베이스 조립체에 부착하도록 구성된 적어도 2개의 외부 볼트들을 더 포함하고, 자극편에는 적어도 2개의 외부 볼트들이 관통하는 적어도 2개의 외부 구멍들형성된제거식 애노드 조립체. [청구항 8] 제7항에 있어서,열 제어판에는 적어도 2개의 외부 볼트들이 관통하는 적어도 2개의 구멍들형성된제거식 애노드 조립체. [청구항 9] 제7항에 있어서,자극편 내의 적어도 2개의 내부 구멍들은 나사식인제거식 애노드 조립체. [청구항 10] 제1항에 있어서,애노드와 가스 분배기와 열 제어판 사이의 인터페이스들은 애노드의 개방 단부 밖으로의 가스의 가속 이전에 애노드, 가스 분배기 및 열 제어판에 의해 경계지어진 체적 밖으로의 확산으로 인하여 베이스 조립체로부터 애노드 조립체 내로 유입된 임의의 가스포함하는제거식 애노드 조립체. [청구항 11] 제1항에 있어서,가스 분배기와 열 제어판 사이에 제1 전기 절연성, 열전도성 열전달 시트와,애노드와 열 제어판 사이에 제2 전기 절연성, 열전도성 열전달 시트와,열 제어판과 조립체부 사이에 제3 전기 절연성, 열전도성 열전달 시트더 포함하는제거식 애노드 조립체. [청구항 12] 제11항에 있어서,애노드의 리세스 내에 제거 가능하게 부착되고, 제2 열전달 시트 내에 형성된 제1 전극 구멍을 통해, 열 제어판 내에 형성된 제2 전극 구멍을 통해 그리고 제3 열전달 시트 내에 형성된 제3 전극 구멍을 통해 애노드의 하부면 아래로 연장되는 애노드 전극더 포함하는제거식 애노드 조립체. [청구항 13] 제1항에 있어서,애노드를 자극편 및 열 제어판에 부착하도록 구성된 적어도 2개의 내부 볼트들을 더 포함하고,애노드는 적어도 2개의 내부 볼트들 각각이 관통하는 적어도 2개의 관통 구멍들을 포함하고,열 제어판은 적어도 2개의 내부 볼트들 각각이 관통하는 적어도 2개의 구멍들을 포함하며,자극편에는 적어도 2개의 내부 볼트들 각각이 내부에 결합되는 적어도 2개의 내부 구멍들형성된제거식 애노드 조립체. [청구항 14] 제9항에 있어서,적어도 2개의 내부 볼트들의 적어도 일부를 각각 둘러싸도록 구성된 적어도 2개의 절연 칼럼들을 더 포함하고, 적어도 2개의 절연 칼럼들은 적어도 2개의 내부 볼트들로부터 애노드절연시키는제거식 애노드 조립체. [청구항 15] 제14항에 있어서,적어도 2개의 절연 칼럼들은 애노드와 자극편 사이에 분리 간격형성하는제거식 애노드 조립체. [청구항 16] 제3항에 있어서,열 제어판에는 상부면 및 하부면을 갖는 디스크가 더 형성되고,디스크에는 디스크의 하부면에 인접한 이온 공급원의 베이스 조립체 내의 가스 포트와 결부되도록 위치 결정되고 애노드 조립체 내의 디스크의 상부면에 인접한 열전달 시트 아래로 디스크의 상부면이 나오게 하도록 추가로 위치 결정된 가스 덕트가 형성되며,디스크에는 가스 덕트로부터 가스 덕트의 방사상 외향의 위치로 진행되는 상부면 내의 적어도 하나의 채널형성되는제거식 애노드 조립체. [청구항 17] 제1항에 있어서,적어도 2개의 고정 볼트들을 더 포함하고,가스 분배기에는 적어도 2개의 고정 볼트들이 각각 내부를 통과하는 적어도 2개의 구멍들이 형성되고,디스크에는 적어도 2개의 고정 볼트들이 각각 내부를 통과하는 가스 분배기 내의 적어도 2개의 구멍들과 결부되도록 위치 결정된 적어도 2개의 내부 구멍들이 형성되며,적어도 2개의 고정 볼트들은 가스 분배기를 열 제어판부착시키는제거식 애노드 조립체. [청구항 18] 제1항에 있어서,가스 분배기는 상부면 및 하부면을 갖는 디스크를 더 포함하고,디스크에는 고정 볼트들의 수용을 위한 적어도 2개의 구멍들이 형성되고,애노드는 도넛 형상이며,디스크 내의 적어도 2개의 구멍들은 적어도 2개의 구멍들이 도넛 형상의 애노드의 내경 외측에 위치 결정되도록 도넛 형상의 애노드에 대해 위치결정되는제거식 애노드 조립체. [청구항 19] 제1항에 있어서,애노드는 도넛 형상이고,가스 분배기는 도넛 형상의 애노드의 내경 내에 끼워 결합되도록 크기 결정되며, 도넛 형상의 애노드와 열 제어판 사이에서 애노드 조립체 내에 고정되고,열 제어판에는 열 제어판의 하부면에 인접한 이온 공급원의 베이스 조립체 내의 가스 포트와 결부되도록 위치 결정되고 가스 분배기 아래로 열 제어판의 상부면이 나오게 하도록 추가로 위치 결정된 가스 덕트가 형성되며,가스 분배기 및 열 제어판의 상부면 아래에 가스 플리형성된제거식 애노드 조립체. [청구항 20] 제19항에 있어서,열 제어판의 상부면에는 열 제어판과 가스 분배기 사이에 가스 플리넘을 형성하기 위해 리세스형성된제거식 애노드 조립체. [청구항 21] 제19항에 있어서,가스 분배기에는 가스 플리넘으로부터 도넛 형상의 애노드에 의해 형성된 중심 공동으로 가스가 관통할 수 있는 하나 이상의 가스 경로 구멍들형성된제거식 애노드 조립체. [청구항 22] 제1항에 있어서,열 제어판은 하나 이상의 전기 절연성 재료들로 이루어진 2개 이상의 층들형성된제거식 애노드 조립체. [청구항 24] 제23항에 있어서,자극편 내의 4개의 외부 구멍들은 애노드의 외경의 범위를 넘어서 위치결정되는제거식 애노드 조립체. [청구항 25] 제23항에 있어서,애노드의 리세스 내에 제거 가능하게 부착되고, 제2 열전달 시트 내에 형성된 제1 전극 구멍을 통해, 열 제어판 내에 형성된 제2 전극 구멍을 통해 그리고 제3 열전달 시트 내에 형성된 제3 전극 구멍을 통해 애노드의 하부면 아래로 연장되는 애노드 전극더 포함하는제거식 애노드 조립체. [청구항 26] 제23항에 있어서,제1 열전달 시트, 제2 열전달 시트 및 제3 열전달 시트 각각은 전기 절연성 재료더 포함하는제거식 애노드 조립체. [청구항 27] 제23항에 있어서,3개의 고정 볼트들을 더 포함하고,가스 분배기에는 3개의 고정 볼트들이 각각 내부를 통과하는 3개의 구멍들이 형성되고,제2 열전달 시트에는 3개의 고정 볼트들이 각각 관통하는 가스 분배기 내의 3개의 구멍들과 결부되도록 위치 결정된 3개의 구멍들이 형성되고,열 제어판에는 3개의 고정 볼트들이 각각 내부를 통과하는 제2 열전달 시트 내의 3개의 구멍들 및 가스 분배기 내의 3개의 구멍들과 결부되도록 위치 결정된 3개의 내부 구멍들이 형성되며,3개의 고정 볼트들은 가스 분배기를 열 제어판부착시키는제거식 애노드 조립체. [청구항 28] 제23항에 있어서,애노드와 가스 분배기와 열 제어판과 제1, 제2 및 제3 열전달 시트 사이의 인터페이스들은 애노드의 개방 단부 밖으로의 가스의 가속 이전에 애노드, 가스 분배기, 열 제어판, 및 제1, 제2 및 제3 열전달 시트에 의해 경계지어진 체적 밖으로의 확산으로 인하여 베이스 조립체로부터 애노드 조립체 내로 유입된 임의의 가스포함하는제거식 애노드 조립체. [청구항 30] 제29항에 있어서,적어도 하나의 채널은 복수개의 채널들포함하는열 제어판. [청구항 31] 제29항에 있어서,가스 덕트는 디스크 내에 중심결정되는열 제어판. [청구항 32] 제31항에 있어서,적어도 하나의 채널은 가스 덕트로부터 방사상으로 연장되는 복수개의 채널들포함하는열 제어판. [청구항 33] 제32항에 있어서,복수개의 채널들각각은 인접한 채널 각각으로부터 등각으로 이격되게 위치결정된열 제어판. [청구항 34] 제33항에 있어서,복수개의 채널들은 6개의 채널들포함하는열 제어판. [청구항 35] 제32항에 있어서,디스크에는 가스 분배기의 직경보다 약간 더 큰 외경 및 가스 분배기의 직경보다 약간 더 작은 내경을 갖는 원형 채널이 더 형성되며,원형 채널은 복수개의 채널들 각각과교차하는열 제어판. [청구항 36] 제34항에 있어서,디스크에는 가스 분배기의 직경보다 약간 더 큰 외경 및 가스 분배기의 직경보다 약간 더 작은 내경을 갖는 원형 채널이 더 형성되며,원형 채널은 6개의 채널들 각각과교차하는열 제어판. [청구항 37] 제36항에 있어서,원형 채널은 가스 덕트동심인열 제어판. [청구항 38] 제36항에 있어서,원형 채널과 6개의 채널들의 교차는 6개의 웨지 형상의 아일랜드를 형성하며,적어도 2개의 내부 구멍들은 각각 6개의 웨지 형상의 아일랜드 중 2개의 아일랜드 내형성되는열 제어판. [청구항 39] 제36항에 있어서,적어도 2개의 내부 구멍들은 3개의 내부 구멍들을 포함하고,원형 채널과 6개의 채널들의 교차는 6개의 웨지 형상의 아일랜드를 형성하고,3개의 내부 구멍들은 각각 6개의 웨지 형상의 아일랜드 중 제1 세트의 3개의 아일랜드 내에 형성되며,6개의 웨지 형상의 아일랜드 중 제2 세트의 3개의 아일랜드는 6개의 웨지 형상의 아일랜드 중 제1 세트의 3개의 아일랜드 중 인접하는 하나의 아일랜드로부터 6개의 웨지 형상의 아일랜드 중 제1 세트의 3개의 아일랜드 각각분리시키는열 제어판. [청구항 40] 제29항에 있어서,열 제어판의 외경은 열제어판에의해지지된인접 애노드의 외경보다 약간 더 작은 열 제어판. [청구항 41] 제29항에 있어서,애노드 전극의 통로용 전극 구멍을더 포함하는열 제어판. [청구항 42] 제41항에 있어서,전극 구멍은 디스크의 외주연에 인접하게 위치결정되는열 제어판. [청구항 43] 제42항에 있어서,전극 구멍은 적어도 2개의 외부 구멍들 중 하나의 외부 구멍에 인접하게 위치결정되는열 제어판. [청구항 44] 제29항에 있어서,적어도 2개의 외부 구멍들은 디스크의 외주연에 인접하게 위치결정되는열 제어판. [청구항 46] 제29항에 있어서,열 제어판은 전기절연성인열 제어판. [청구항 47] 제29항에 있어서,열 제어판은 열전도성이고 전기절연성인열 제어판. [청구항 48] 제29항에 있어서,열 제어판은 세라믹 재료포함하는열 제어판. [청구항 49] 제48항에 있어서,열 제어판은 질화붕소포함하는열 제어판. [청구항 50] 제29항에 있어서,열 제어판은 하나 이상의 전기 절연성 재료들로 이루어진 2개 이상의 층들형성된열 제어판. [청구항 53] 제52항에 있어서,디스크에는 가스 덕트로부터 가스 덕트의 방사상 외향의 위치까지 진행되는 상부면 내의 적어도 하나의 채널형성되는열 제어판. [청구항 54] 제52항에 있어서,디스크의 상부면에는 열 제어판과 가스 분배기 사이에 가스 플리넘을 형성하도록 리세스형성되는열 제어판. [청구항 55] 제52항에 있어서,열 제어판은 하나 이상의 전기 절연성 재료들로 이루어진 2개 이상의 층들형성된열 제어판. [청구항 56] 제55항에 있어서,2개 이상의 층들의 상부층에는 열 제어판과 가스 분배기 사이에 가스 플리넘을 형성하도록 리세스형성되는열 제어판. [청구항 58] 제57항에 있어서,적어도 2개의 구멍들은 디스크 내의 관통 구멍들인가스 분배기. [청구항 59] 제58항에 있어서,적어도 2개의 구멍들은 상부면 내의 카운터보어더 포함하는가스 분배기. [청구항 60] 제59항에 있어서,카운터보어 리세스는 고정 볼트들 각각에 나사 형성된 너트의 두께와 사실상 동일하거나 또는 그깊이로 된가스 분배기. [청구항 61] 제59항에 있어서,카운터보어 리세스는 고정 볼트들 각각의 헤드의 두께와 사실상 동일하거나 또는 그깊이로 된가스 분배기. [청구항 62] 제57항에 있어서,상부면에인접한디스크의 주연 에지가 경사진(beveled) 가스 분배기. [청구항 63] 제57항에 있어서,상부면에 인접한 디스크의 주연 에지가 라운딩된(rounded) 가스 분배기. [청구항 64] 제57항에 있어서,적어도 2개의 구멍들은 3개의 구멍들포함하는가스 분배기. [청구항 65] 제64항에 있어서,3개의 구멍들은 가스 분배기의 외주연을 중심으로 그리고 가스 분배기의 외주연에 인접하게 등간격이격되는가스 분배기. [청구항 67] 제66항에 있어서,적어도 2개의 구멍들은 디스크의 하부면 내에 형성된 블라인드 구멍들인가스 분배기. [청구항 68] 제57항에 있어서,디스크의 하부면사실상 편평한가스 분배기. [청구항 69] 제57항에 있어서,가스 분배기는 스테인레스 강, 그래파이트, 몰리브덴, 티타늄, 탄탈, 석영 및 세라믹으로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나의 재료포함하는가스 분배기. [청구항 70] 제57항에 있어서,가스 분배기는 상부면과 하부면 사이에 0.100 내지 0.250 인치(약 2.54 내지 6.35 mm)의 두께포함하는가스 분배기. [청구항 72] 제71항에 있어서,상부면에인접한디스크의 주연 에지가 경사진 가스 분배기. [청구항 73] 제71항에 있어서,상부면에 인접한 디스크의 주연 에지가 라운딩된가스 분배기. [청구항 75] 제74항에 있어서,환형 클램핑 링에는 고정 볼트들 각각을 수용하는 적어도 2개의 구멍들이 더 형성되며,적어도 2개의 구멍들은 도넛 형상의 애노드의 내경 외측에 적어도 2개의 구멍들이 위치 결정되도록 애노드 조립체 내의 도넛 형상의 애노드에 대해 위치결정되는가스 분배기. [청구항 77] 제74항에 있어서,환형 클램핑 링에는 제1 주연 레지를 형성하는 제1 내경 및 제2 내경이 형성되고,판 구성요소에는 제2 주연 레지를 형성하는 제1 외경 및 제2 외경이 형성되며,제1 주연 레지는 제2 주연 레지정합하는가스 분배기. [청구항 78] 제74항에 있어서,판 구성요소에는 가스가 관통할 수 있는 하나 이상의 가스 경로 구멍들형성되는가스 분배기. [청구항 80] 제79항에 있어서,소모성 구성요소는 환형 고정 구성요소의 내경 내에 끼워 결합되도록 크기결정되는가스 분배기. [청구항 81] 제79항에 있어서,소모성 구성요소에는 가스가 관통할 수 있는 하나 이상의 가스 경로 구멍들형성되는가스 분배기. [청구항 83] 제82항에 있어서,3개의 개구들각각은 사실상 u 형상의노치인열전달 시트. [청구항 84] 제82항에 있어서,열전달 시트는 또한 전기절연성인열전달 시트. [청구항 85] 제82항에 있어서,열전달 시트는 0.005 내지 0.030 인치(약 0.127 내지 0.762 mm)의 두께갖는열전달 시트. [청구항 86] 제82항에 있어서,열전달 시트는 가요성 그래파이트 시트형성된열전달 시트. [청구항 88] 제87항에 있어서,열전달 시트는 또한 전기절연성인열전달 시트. [청구항 89] 제87항에 있어서,열전달 시트는 0.005 내지 0.030 인치(약 0.127 내지 0.762 mm)의 두께갖는열전달 시트. [청구항 90] 제87항에 있어서,열전달 시트는 가요성 그래파이트 시트형성된열전달 시트. [청구항 92] 제91항에 있어서,열전달 시트는 또한 전기절연성인열전달 시트. [청구항 93] 제91항에 있어서,열전달 시트는 0.005 내지 0.030 인치(약 0.127 내지 0.762 mm)의 두께갖는열전달 시트. [청구항 94] 제91항에 있어서,열전달 시트는 가요성 그래파이트 시트형성된열전달 시트. [청구항 96] 제95항에 있어서,열전달 시트들의 집합체의 제3 열전달 시트는 또한 전기절연성인열전달 시트들의 집합체. [청구항 97] 제95항에 있어서,열전달 시트들의 집합체의 열전달 시트 각각은 또한 전기절연성인열전달 시트들의 집합체. [청구항 98] 제95항에 있어서,열전달 시트들의 집합체의 열전달 시트 각각은 가요성 그래파이트 시트형성된열전달 시트들의 집합체. [청구항 99] 제95항에 있어서,열전달 시트들의 집합체의 열전달 시트 각각은 0.005 내지 0.030 인치(약 0.127 내지 0.762 mm)의 두께갖는열전달 시트들의 집합체. [청구항 100] 제95항에 있어서,열전달 시트들의 집합체 내에 가스 분배기더 포함하는열전달 시트들의 집합체. [청구항 101] 제100항에 있어서,가스 분배기는 상부면 및 하부면을 갖는 디스크를 더 포함하고,디스크에는 고정 볼트들 각각을 수용하는 적어도 2개의 구멍들이 형성되며,적어도 2개의 구멍들은 도넛 형상의 애노드의 내경 외측에 적어도 2개의 구멍들이 위치 결정되도록 애노드 조립체 내의 도넛 형상의 애노드에 대해 위치결정되는열전달 시트들의 집합체.