노광 장치, 메인터넌스 방법, 노광 방법 및 디바이스 제조 방법 document_id 1020087020355

[청구항 1] 액체를 통하여 기판에 노광광을 조사하여 상기 기판을 노광하는 노광 장치로서, 상기 기판 상에 액침 영역을 형성하는 액침 시스템과, 상기 액침 시스템의 일부를 구성함과 함께, 상기 액침 영역을 형성하는 액체와 접촉하는 액침 부재를 교환하는 교환 시스템을 구비한, 노광 장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 액침 부재는,상기기판대향하여배치되는,노광 장치. [청구항 3] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 노광광이 사출하는 광학 부재를 구비하고,상기 액침 부재는, 상기 광학 부재배치되는,노광 장치. [청구항 4] 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 교환 시스템은, 상기 액침 부재를 착탈 가능하게 유지하는 유지 장치와, 상기 액침 부재를 반송하는 반송 장치포함하는,노광 장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 유지 장치는, 상기 액침 부재를 흡착하는흡착부를포함하는,노광 장치. [청구항 6] 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 유지 장치와는 별도로 설치되고, 상기 액침 부재를 지지할 수 있는 지지 기구를 추가구비하는,노광 장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 액침 부재가 상기 유지 장치에 유지되어 있지 않을 때에, 상기 지지 기구는상기액침부재지지할수있는,노광 장치. [청구항 8] 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 유지 장치는, 상기 액침 부재의 상면과 접촉하고,상기 지지 기구는, 상기 액침 부재의 측면에 형성된 오목부에 삽입 이탈할 수 있는 지지 부재갖는,노광 장치. [청구항 9] 제 4 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반송 장치는, 상기 액침 부재를, 제 1 위치와 상기 제 1 위치와는 상이한제2위치사이반송할수있는,노광 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 액침 부재를 수용할 수 있는 수용 스테이션을 구비하고,상기 수용 스테이션은, 상기 제 2 위치설치되어 있는,노광 장치. [청구항 11] 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,상기 반송 장치는, 상기 제 1 위치 및 상기 제 2 위치와는 상이한 소정 위치에서, 상기 액침 부재의 수수 (授受) 를 실시하는 제 1 서브 반송계와 제 2 서브 반송계를 갖고,상기 제 1 서브 반송계는, 상기 제 1 위치에서 상기 유지 장치와 상기 액침 부재의 수수를 실시하고,상기 제 2 서브 반송계는, 상기 소정 위치와 상기 제 2 위치 사이에서 상기 액침 부재의 반송실시하는,노광 장치. [청구항 12] 제 11 항에 있어서,상기 제 1 서브 반송계는, 상기 액침 부재를 지지하며 소정 방향으로 이동할 수 있어, 상기 유지 장치와 상기 액침 부재의 간격을 조정할 수 있는 이동 기구포함하는,노광 장치. [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 이동 기구는, 상기 소정 방향과 거의 수직인 방향으로 이동할 수 있는 이동체설치되어 있는,노광 장치. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,동체는, 상기 기판을 유지하며 이동할 수 있는 기판 스테이지포함하는,노광 장치. [청구항 15] 제 4 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 반송 장치는,상기기판반송할수있는,노광 장치. [청구항 16] 제 4 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액침 부재와 상기 유지 장치의 위치 관계를 조정하는 얼라이먼트 장치구비한,노광 장치. [청구항 17] 제 16 항에 있어서,상기 얼라이먼트 장치는, 상기 유지 장치에 접근하는 상기 액침 부재의 이동을 가이드하는 가이드면갖는,노광 장치. [청구항 18] 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서,상기 얼라이먼트 장치는, 상기 반송 장치의 반송 경로 상에 설치되고, 검출광을 사출하는 투사 장치 및 상기 검출광을 수광할 수 있는 수광 장치를 갖고, 상기 반송 장치에 유지된 상기 액침 부재의 위치 정보를 광학적으로 취득하는 광학 장치갖는,노광 장치. [청구항 19] 제 1 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액침 부재의 상태를 검출하는 검출 장치와,상기 검출 장치의 검출 결과에 기초하여, 상기 액침 부재의 교환의 필요 여부를 판단하는 제어 장치구비한,노광 장치. [청구항 20] 제 19 항에 있어서,상기 제어 장치는, 상기 검출 장치의 검출 결과에 따라, 상기 액침 부재의 교환 동작실행하는,노광 장치. [청구항 21] 제 19 항 또는 제 20 항에 있어서,상기 검출 장치는, 상기 액침 부재의 액체 회수구에 접속되는 유로의 압력을 검출하는 압력 센서포함하는,노광 장치. [청구항 22] 제 21 항에 있어서,상기 액체 회수구에 배치된 다공 부재갖는,노광 장치. [청구항 23] 제 19 항 내지 제 22 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 검출 장치는, 상기 액침 부재의 표면 상태를 관찰할 수 있는 촬상 장치포함하는,노광 장치. [청구항 24] 제 1 항 내지 제 23 항 중 어느 한 항에 있어서,지령 신호가 입력되는 입력 장치와,상기 입력 장치의 입력 신호에 기초하여, 상기 액침 부재의 교환 동작을 제어하는 제어 장치구비한,노광 장치. [청구항 25] 제 1 항 내지 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액침 부재는, 상기 액침 영역을 형성하기 위한 액체 공급구 및 액체 회수구 중 적어도 일방갖는,노광 장치. [청구항 26] 제 1 항 내지 제 25 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 교환 시스템은, 상기 액침 시스템으로부터 분리되어 세정이 실시된 상기 액침 부재를 상기 액침 시스템재장착하는,노광 장치. [청구항 27] 액체를 통하여 기판에 노광광을 조사하여 상기 기판을 노광하는 노광 장치로서, 상기 기판 상에 액침 영역을 형성하는 액침 시스템과, 상기 액침 영역을 형성하는 액체와 접촉하는 액침 부재와, 상기 액침 부재를 착탈 가능하게 유지하는 유지 장치를 구비하는, 노광 장치 [청구항 28] 제 27 항에 있어서,상기 유지 장치는,상기액침부재흡착하여유지하는,노광 장치. [청구항 29] 제 27 항에 있어서,상기 기판과의 사이에 상기 액침 영역이 형성되는 광학 부재를 갖고, 상기 기판에 패턴의 이미지를 투영하는 투영 광학계를 구비하고, 상기 유지 장치는, 상기 광학 부재와는 비접촉으로 상기 액침 부재유지하는,노광 장치. [청구항 30] 제 29 항에 있어서,상기 유지 장치는,상기액침부재를상기투영 광학계착탈가능하게유지하는,노광 장치. [청구항 31] 제 29 항에 있어서,상기 유지 장치는, 상기 액침 부재를, 상기 투영 광학계를 지지하는부재착탈가능하게유지하는,노광 장치. [청구항 32] 제 27 항 내지 제 31 항 중 어느 한 항에 있어서,추가로, 상기 유지 장치와 독립적으로 상기 액침 부재를 지지하는 지지 기구구비하는,노광 장치. [청구항 33] 제 32 항에 있어서,상기 지지 기구는, 상기 액침 부재의 반출에 앞서, 상기 유지 장치에 의한 유지가 해제된 상기 액침 부재지지하는,노광 장치. [청구항 34] 제 28 항에 있어서,상기 유지 장치가 유지면을 갖고, 그 유지면에 액침 부재의 일면이 흡착되고, 그 유지면과 액침 부재의 일면 중 적어도 일방에 발액막 (撥液膜부여되어 있는,노광 장치. [청구항 35] 액체를 통하여 노광광으로 기판을 노광하는 노광 장치로서, 상기 노광광을 사출하는 광학 부재와 상기 기판 사이의 공간을 둘러싸고 또한 그 내측에 액침 영역의 적어도 일부가 형성되는 액침 부재와, 상기 액침 부재가 형성되는 프레임 부재와, 상기 프레임 부재와의 사이에서 상기 액침 부재의 수수 (授受) 가 실시되는 지지 장치를 구비하는, 노광 장치 [청구항 36] 제 35 항에 있어서,상기 지지 장치를 포함하고, 상기 액침 부재의 교환 또는 세정을 위해 그 반출입을 실시하는 반송 시스템구비하는,노광 장치. [청구항 37] 제 36 항에 있어서,상기 반송 시스템은, 상기 반출입시, 상기 기판이 이동하는 소정의 평면과 수직인 방향에 관하여 상기 액침 부재와 상기 광학 부재를 상대이동시키는,노광 장치. [청구항 38] 제 35 항 내지 제 37 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 액침 부재의 상태에 관한 정보를 검출하는 검출 장치를 구비하고, 상기 정보는, 적어도 상기 액침 부재의 메인터넌스에사용되는,노광 장치. [청구항 39] 제 35 항 내지 제 38 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 프레임 부재에 형성되고, 상기 광학 부재를 갖는 투영 광학계구비하는,노광 장치.