컨덴서 마이크로폰 및 그 제조 방법과, 다이어프램 및 그 제조 방법 document_id 1020087020389

[청구항 1] 컨덴서 마이크로폰으로서, 캐비티를 갖는 기판, 상기 기판 상에 피착된 제1막으로 형성되는 제1 스페이서, 상기 제1 스페이서 상에 피착된 절연성을 갖는 제3막으로 형성되는 제2 스페이서, 상기 제1 스페이서 및 상기 제2 스페이서를 관통하여 상기 캐비티와 연통하는 개구부, 상기 개구부의 내측에 위치되며 상기 제1 스페이서 및 상기 제2 스페이서에서 약간 이격되어 있고, 상기 제1막과 상기 제3막 간에 형성된 도전률을 갖는 제2막으로 형성되는 다이어프램 , 상기 제3막 상에 피착되는 도전률을 갖는 제4막에 의해 제1 쌍의 대향 측 및 제2 쌍의 대향 측으로 한정되는 직사각형 형상으로 형성되며, 상기 다이어프램과 거의 평행하게 위치되는 플레이트-상기 제1 쌍의 대향 측은 상기 제2 스페이서에 고정되고, 상기 제2 쌍의 대향 측은 평면의 상기 다이어프램의 영역 내에 위치되어짐-, 상기 제4막으로 형성되고 상기 제2 스페이서 상에 부착되어 상기 개구부의 내측으로 돌출하는 한 쌍의 브리지, 및 상기 제1 스페이서 및 상기 제2 스페이서로부터 이격되고 상기 개구부의 내 측에 위치되는 한 쌍의 제3 스페이서-상기 제3 스페이서는 상기 브리지의 돌출하는 부분들과 상기 다이어프램의 소정 부분 사이를 상기 제2 쌍의 대향 측에 대해 결합함- 를 포함하는 컨덴서 마이크로폰 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 캐비티는 상기 다이어프램으로 거의 커버되고, 상기 제1막은 절연성갖는컨덴서 마이크로폰. [청구항 3] 제2항에 있어서,상기 제4막으로 형성되고 상기 플레이트의 상기 한 쌍의 대향 측과 일체로 상호 연결되는 한 쌍의 플레이트 결합부,상기 제2막으로 형성되고, 상기 다이어프램에서 약간 이격되어 있고 상기 플레이트 결합부와 상기 기판 사이에 삽입되는 한 쌍의 보호 전극,상기 보호 전극 및 상기 플레이트를 실제로 동일한 전위로 하는 제1 회로 소자, 및상기 기판 및 상기 다이어프램을 실제로 동일한 전위로 하는 제2 회로 소자더 포함하는컨덴서 마이크로폰. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 다이어프램은 한 쌍의 장측 및 한 쌍의 단측으로 한정되는 직사각형 형상을 가지며, 상기 다이어프램의 상기 한 쌍의 장측은 상기 플레이트의 상기 제1 쌍의 대향 측과 평행하게 위치되며, 상기 다이어프램의 상기 한 쌍의 단측은상기플레이트의상기제2쌍의대향측평행하게위치되는컨덴서 마이크로폰. [청구항 8] 다이어프램으로서, 중심부, 및 상기 중심부를 형성하는 제1막, 상기 제1막의 근단부 상에 형성된 제2막 및 상기 제2막 상에 형성되고 상기 제1막의 외측으로 연장되는 제3막을 포함한 다층 구조를 갖는 휨부-상기 휨부는 상기 중심부의 외측으로 연장됨- 를 포함하는 다이어프램 [청구항 9] 컨덴서 마이크로폰으로서, 고정 전극을 갖는 플레이트, 인가되는 음파로 인해 진동을 일으키는 다이어프램-상기 다이어프램은 가동 전극을 갖는 중심부 및 휨부를 가지며, 상기 휨부는 상기 중심부를 형성하는 제1막, 상기 제1막의 근단부 상에 형성된 제2막 및 상기 제2막 상에 형성되고 상기 제1막의 외측으로 연장되는 제3막을 포함한 다층 구조로 형성됨-, 및 상기 플레이트 및 다이어프램의 상기 휨부를, 상기 고정 전극과 상기 가동 전극 사이에 공극이 형성되는 방식으로 지지하는 복수의 지지체 를 포함하는 컨덴서 마이크로폰 [청구항 10] 컨덴서 마이크로폰으로서, 고정 전극을 갖는 플레이트, 상기 플레이트를 지지하는 복수의 지지체, 및 가동 전극을 가지며, 상기 플레이트와의 사이에 공극을 두고 대향하게 위치되는 다이어프램-상기 다이어프램의 양 단부는 상기 지지체들에 의해 지지되며, 상기 다이어프램은 이것에 전달되는 음파로 인한 진동에 의해 부분적으로 변형됨- 을 포함하는 컨덴서 마이크로폰 [청구항 11] 컨덴서 마이크로폰으로서, 고정 전극을 갖는 플레이트, 상기 플레이트를 지지하는 복수의 지지체, 및 가동 전극을 가지며, 상기 플레이트와의 사이에 공극을 두고 대향하게 위치 되는 다이어프램-상기 다이어프램의 양 단부는 상기 다이어프램이 상기 지지체들 상에서 브리지되도록 상기 지지체들에 의해 지지되며, 상기 다이어프램은 이것에 전달되는 음파로 인해 진동하고, 상기 다이어프램은 한 쌍의 대향 단부가 상기 지지체들에 고정되며 다른 한 쌍의 대향 단부는 상기 지지체들로부터 자유롭게 위치되는 직사각형 형상을 가짐- 을 포함하는 컨덴서 마이크로폰 [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 다이어프램은 한 쌍의 스프링을 가지며, 이들 스프링은 상기 다이어프램의 중심부로부터 상기 지지체들에 고정된 상기 한 쌍의 대향 단부까지 브리징 방향으로 파동 및 신장되어 그 변형을 통해 상기 중심부의 잔류 응력흡수하는컨덴서 마이크로폰. [청구항 13] 제11항에 있어서,상기 다이어프램은 단측 및 장측으로 한정되는 직사각형 형상을 가지며, 상기 장측은 상기 다이어프램의 중심부로부터 상기 지지체들에 고정된 상기 한 쌍의 대향 단부까지브리징방향으로놓여있는컨덴서 마이크로폰. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 다이어프램은 단측 및 장측으로 한정되는 직사각형 형상을 가지며, 상기 장측은상기브리징방향으로놓여지는컨덴서 마이크로폰. [청구항 15] 제11항 또는 제12항에 있어서,상기 플레이트는 상기 지지체들에 고정된 상기 한 쌍의 대향 단부의 내측으로 상기 다이어프램과 3차원으로 교차하여, 상기 플레이트의 한 쌍의 대향 측은 상기 다이어프램 상에 위치되고 상기 지지체들로부터 자유위치되는컨덴서 마이크로폰. [청구항 16] 제11항 또는 제12항에 있어서,쌍의 대향 단부 간의 상기 다이어프램의 폭은 상기 다이어프램의 상기 한 쌍의 대향 단부줄어드는컨덴서 마이크로폰.