노광 방법 및 장치, 메인터넌스 방법, 그리고 디바이스 제조 방법 document_id 1020087024388

[청구항 27] 광학 부재 및 액체를 통하여 노광광으로 기판을 노광하는 노광 장치로서, 상기 액체에 접하는 접액부의 적어도 일부의 피검부 상태를 광학적으로 관찰하는 광학 장치와 상기 광학 장치에 의한 관찰 정보를 기억하는 기억 장치와 상기 피검부의 상기 광학 장치에 의한 복수 회의 관찰 정보를 비교하여, 상기 피검부의 이상 유무를 판정하는 제어 장치를 구비하는, 노광 장치 [청구항 28] 제 27 항에 있어서,상기 광학 부재와 상기 기판 사이를 액체로 채워 액침 공간을 형성하고, 상기 노광광으로 상기 광학 부재와 상기 액체를 통하여 상기 기판노광되는,노광 장치. [청구항 29] 제 27 항 또는 제 28 항에 있어서,상기 제어 장치는, 상기 피검부의 이상이 있을 때에 노광 동작중지하는,노광 장치. [청구항 30] 제 27 항 내지 제 29 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광학 장치는, 상기 기판 상의 위치 맞춤용 마크의 위치 검출을 실시하기 위한 화상 처리 방식의 얼라인먼트 센서포함하는,노광 장치. [청구항 31] 제 27 항 내지 제 30 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광학 부재와 대향하여 배치되는 스테이지를 구비하고, 상기 광학 장치는, 상기 스테이지에 설치된 촬상 장치포함하는,노광 장치. [청구항 32] 제 27 항 내지 제 31 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광학 장치는, 상기 노광광이 상기 피검부에 조사되었을 때에 발생하는 형광을 검출하는 형광 현미경포함하는,노광 장치. [청구항 33] 제 27 항 내지 제 32 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광학 장치는 분광계포함하는,노광 장치. [청구항 34] 제 27 항 내지 제 33 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 접액부는, 적어도 상기 기판의 노광 중에 상기 액체접촉하는,노광 장치. [청구항 35] 제 27 항 내지 제 34 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 접액부는, 상기 광학 부재와 상기 기판 사이를 상기 액체로 채워 액침 공간을 형성하는 액침 공간 형성 부재의 적어도 일부포함하는,노광 장치. [청구항 36] 제 35 항에 있어서,상기 피검부는, 상기 액침 공간 형성 부재의 상기 액체의 공급구 및 회수구 중 적어도 일방포함하는,노광 장치. [청구항 37] 제 27 항 내지 제 36 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 접액부는, 상기 광학 부재와 대향하여 배치되는 계측 부재의 적어도 일부포함하는,노광 장치. [청구항 38] 제 37 항에 있어서,상기 계측 부재가 형성된 스테이지구비하는,노광 장치. [청구항 39] 제 27 항 내지 제 38 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 피검부를 세정하는 세정 부재구비하는,노광 장치. [청구항 40] 광학 부재 및 액체를 통하여 노광광으로 기판을 노광하는 노광 장치로서, 소정 동작에 있어서 상기 액체에 접한 접액부의 상태에 관한 정보를 검출하는 광학 장치와 상기 검출 정보와, 상기 소정 동작 전의 상기 접액부 상태에 관한 기준 정보에 기초하여, 상기 접액부의 이상에 관한 정보를 검출하는 제어 장치를 구비하는, 노광 장치 [청구항 41] 제 40 항에 있어서,상기 광학 부재에 대향하여 배치되는 가동 부재를 구비하고, 상기 접액부는, 상기 가동 부재와 상기 광학 부재 중 적어도 하나포함하는,노광 장치. [청구항 42] 제 41 항에 있어서,상기 광학 장치는, 상기 기판 상의 마크를 검출하는 마크 검출계를 포함하고, 상기 마크 검출계에 의해 상기 가동 부재의 상태에 관한 정보검출하는,노광 장치. [청구항 43] 제 41 항 또는 제 42 항에 있어서,상기 광학 장치는, 상기 가동 부재의 평탄면 및/또는 계측부에 관한 정보검출하는,노광 장치. [청구항 44] 제 41 항 내지 제 43 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가동 부재는, 상기 기판을 유지하는 제 1 스테이지와, 상기 제 1 스테이지와는 독립적으로 이동할 수 있는 제 2 스테이지 중 적어도 일방포함하는,노광 장치. [청구항 45] 제 40 항 내지 제 44 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광학 부재와 상기 기판 사이를 상기 액체로 채워 액침 공간을 형성하는 액침 공간 형성 부재를 구비하고, 상기 접액부는, 상기 액침 공간 형성 부재포함하는,노광 장치. [청구항 46] 제 45 항에 있어서,상기 광학 장치는, 상기 액침 공간 형성 부재 및/또는 상기 광학 부재와 대향하여 배치되는 검출기포함하는,노광 장치. [청구항 47] 제 40 항 내지 제 46 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광학 장치는, 촬상 장치, 형광 현미경 및 분광계 중 적어도 하나포함하는,노광 장치. [청구항 48] 제 40 항 내지 제 47 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제어 장치는, 상기 이상에 관한 정보에 따라 노광 동작의 중지 또는 계속판단하는,노광 장치. [청구항 49] 제 40 항 내지 제 48 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 접액부의 메인터넌스에 사용하는 메인터넌스 부재를 구비하고, 상기 제어 장치는, 상기 이상에 관한 정보에 따라 상기 메인터넌스 여부판단하는,노광 장치. [청구항 50] 제 49 항에 있어서,터넌스 부재는, 상기 접액부를 세정하는 세정 부재포함하는,노광 장치. [청구항 51] 제 40 항 내지 제 50 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기준 정보는, 적어도 상기 소정 동작 전검출되는,노광 장치. [청구항 52] 제 40 항 내지 제 51 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기준 정보는, 적어도 상기 액체와의 접촉 전의 상기 접액부 상태에 관한 정보포함하는,노광 장치. [청구항 75] 노광광으로 액체를 통하여 기판을 노광하는 노광 장치로서, 상기 기판 상의 일부의 영역에만 상기 액체를 공급하는 액체 공급계와 상기 액체 공급계에 의해 공급된 상기 액체를 회수하고, 그 회수된 액체의 상태를 검출하는 제 1 검출기와 상기 기판의 막 상태를 검출하는 제 2 검출기와 상기 제 1 검출기 및 제 2 검출기 중 적어도 일방의 검출 결과에 기초하여 상기 기판의 이상 유무를 판정하는 제어 장치를 구비하는, 노광 장치 [청구항 76] 제 75 항에 있어서,상기 제 1 검출기가, 파티클 카운터포함하는,노광 장치. [청구항 77] 제 75 항 또는 제 76 항에 있어서,상기 제 2 검출기가, 얼라인먼트 센서포함하는,노광 장치. [청구항 78] 제 75 항 내지 제 77 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 검출기 및 제 2 검출기의 양방의 검출 결과로부터 이상이 없는 경우에, 상기 제어 장치는 액침 노광개시하는,노광 장치. [청구항 79] 제 75 항 내지 제 78 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제어 장치는, 상기 제 1 검출기 및 제 2 검출기의 양방의 검출 결과에 기초하여 상기 기판의 이상 유무판정하는,노광 장치. [청구항 80] 제 75 항 내지 제 79 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판을 유지하는 스테이지를 구비하고, 상기 스테이지를 이동시키면서 상기 제 2 검출기에서 상기 기판의 둘레 가장자리부에서의 막 상태검출하는,노광 장치. [청구항 81] 광학 부재 및 액체를 통하여 노광광으로 기판을 노광하는 노광 장치로서, 상기 광학 부재와 물체 사이를 액체로 채워 액침 공간을 형성함과 함께, 상기 액침 공간의 액체를 회수하는 액침 기구와 상기 회수된 액체에 관한 정보를 검출하는 검출 장치와 상기 검출 정보에 기초하여 상기 액체와 접하는 접액부의 이상에 관한 정보를 검출하는 제어 장치를 구비하는, 노광 장치 [청구항 82] 제 81 항에 있어서,상기 물체는 상기 기판포함하는,노광 장치. [청구항 83] 제 81 항 또는 제 82 항에 있어서,상기 검출 장치는, 상기 회수된 액체 중의 이물질에 관한 정보검출하는,노광 장치. [청구항 84] 제 83 항에 있어서,상기 검출 장치는 파티클 카운터포함하는,노광 장치. [청구항 85] 제 81 항 내지 제 84 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제어 장치는, 상기 이상에 관한 정보에 따라 노광 동작의 중지 또는 계속판단하는,노광 장치. [청구항 89] 광학 부재 및 액체를 통하여 노광광으로 기판을 노광하는 노광 장치로서, 소정 동작에 있어서 상기 액체에 접한 접액부의 상태에 관한 정보를 검출하는 광학 장치와 상기 검출 정보에 기초하여 상기 접액부의 이상에 관한 정보를 검출하는 제어 장치를 구비하는, 노광 장치 [청구항 90] 제 89 항에 있어서,상기 광학 장치는, 형광 현미경포함하는,노광 장치.