문맥 (context)
[청구항 9]
기판에 형성된 반도체 장치
상기 반도체 장치에 연결된 절연체; 및
상기 절연체에 연결된 전기적 콘택
을 포함하며,
상기 절연체의 표면 및 상기 전기적 콘택의 표면이 실질적으로 평평한 표면을 형성하는 것을 특징으로 하는 구조
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 반도체 장치는파워금속 산화물반도체전계효과트랜지스터포함하는것을특징으로 하는구조.
[청구항 11]
제9항에 있어서,상기 전기적 콘택nan은텅스텐포함하는것을특징으로 하는구조.
[청구항 12]
제9항에 있어서,상기 구조는 상기 전기적 콘택에 연결된전기적코넥터더포함하는것을특징으로 하는구조.
[청구항 13]
제9항에 있어서,상기 전기적 코넥터는알루미늄포함하는것을특징으로 하는구조.
[청구항 14]
제9항에 있어서,상기 전기적 콘택의 치수는 약 0.35~0.50미크론인것을특징으로 하는구조.
[청구항 15]
기판에 형성된 반도체 장치
상기 반도체 장치에 연결된 절연체
상기 반도체 장치에 전기적으로 연결된 전기적 콘택; 및
상기 전기적 콘택에 연결된 전기적 코넥터
를 포함하며,
상기 전기적 콘택은 텅스텐을 포함하고,
상기 전기적 코넥터는 알루미늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 구조
[청구항 16]
제15항에 있어서,상기 반도체 장치는파워금속 산화물반도체전계효과트랜지스터포함하는것을특징으로 하는구조.
[청구항 17]
제15항에 있어서,상기 전기적 콘택의 치수는 약 0.35~0.50미크론인것을특징으로 하는구조.
[청구항 18]
제15항에 있어서,상기 절연체의 표면 및 상기 전기적 콘택의 표면이 실질적으로 평평한표면형성하는것을특징으로 하는구조.
[청구항 19]
제15항에 있어서,상기 전기적 콘택은 상기 기판으로 돌출하지 않는평면콘택인것을특징으로 하는구조.
[청구항 20]
제15항에 있어서,상기 전기적 콘택은 상기 기판 안으로 돌출하는트렌치콘택인것을특징으로 하는구조.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 15항에 따른 구조에서 전기적 콘택과 전기적 코넥터는 각각 어떠한 물질로 구성되며, 이들의 구성 요소들이 포함된 전체 구조의 특징은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 15항을 바탕으로 전기적 콘택과 전기적 코넥터의 구성 물질 및 전체 구조의 특징을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 15항에서 전기적 콘택은 텅스텐을 포함하고, 전기적 코넥터는 알루미늄을 포함함을 확인한다.
- 상기 전기적 콘택은 텅스텐을 포함하고, 상기 전기적 코넥터는 알루미늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 구조
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 청구항 15항의 구성 요소 및 물질 관련 구절을 선택한다.
- 상기 전기적 콘택은 텅스텐을 포함하고, 상기 전기적 코넥터는 알루미늄을 포함하는 것을 특징으로 하는 구조
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4논리 통합
logical_integration추출된 정보를 결합하여 콘택은 텅스텐, 코넥터는 알루미늄으로 구성되며, 이들이 반도체 장치, 절연체와 함께 연결된 구조임을 도출한다.
- 기판에 형성된 반도체 장치 상기 반도체 장치에 연결된 절연체 상기 반도체 장치에 전기적으로 연결된 전기적 콘택; 및 상기 전기적 콘택에 연결된 전기적 코넥터
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5결론 도출
conclusion_formulation전기적 콘택은 텅스텐, 전기적 코넥터는 알루미늄으로 구성되며, 전체 구조는 반도체 장치, 절연체, 전기적 콘택, 전기적 코넥터를 포함하는 구조로 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 명시된 형식에 맞춰 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
- 전기적 콘택의 구성 물질: 텅스텐
- 전기적 코넥터의 구성 물질: 알루미늄
- 전체 구조의 특징: 기판에 형성된 반도체 장치, 상기 반도체 장치에 연결된 절연체, 상기 반도체 장치에 전기적으로 연결된 전기적 콘택, 및 상기 전기적 콘택에 연결된 전기적 코넥터를 포함하는 구조
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 반도체 장치 상에서 텅스텐으로 구성된 전기적 콘택과 알루미늄으로 구성된 전기적 코넥터가 상호 연결되어 전기적 연결을 형성하는 구조에 관한 것이다.