상압 플라즈마 생성방법, 플라즈마 처리방법과 이를 이용한부품 실장방법, 및 이들 방법을 이용한 장치 document_id 1020087026496

[청구항 5] 상압 플라즈마 발생장치로, 플라즈마 발생부(2, 14, 21, 23)와 플라즈마 팽창부(7, 16, 22, 28)를 포함하며, 상기 플라즈마 발생부는 반응공간(1, 24), 제 1 불활성가스(5)를 상기 반응공간에 공급하기 위한 제 1 불활성가스 공급수단(57, 59), 및 상기 반응공간에 고주파 전계를 인가하기 위한 고주파 전원공급장치(4)를 포함하고, 상기 플라즈마 발생부는 상기 플라즈마화 된 상기 제 1 불활성가스로 구성된 1차 플라즈마(6)를 상기 반응공간으로부터 배출하며, 상기 플라즈마 팽창부는, 상기 배출된 1차 플라즈마가 거기에 충돌하도록, 주성분인 제 2 불활성가스(12)와 그와 함께 혼합된 적정량의 반응가스(13)를 포함하는 혼합가스 영역(10, 29)을 포함하고, 상기 플라즈마 팽창부는 상기 플라즈마화된 상기 혼합가스로 구성된 2차 플라즈마(11)를 발생하는 상압 플라즈마 장치 [청구항 6] 플라즈마 처리장치로, 상기 플라즈마화 된 제 1 불활성가스(5)로 구성된 1차 플라즈마(6)를 배출하기 위한 플라즈마 발생부(2, 14, 21, 23)와 상기 1차 플라즈마를 제 2 불활성가 스(12)와 반응가스(13)의 혼합가스 영역(10, 29) 내로 충돌시킴으로써 상기 플라즈마화 된 혼합가스(8)로 구성된 2차 플라즈마(11)를 발생하는 플라즈마 팽창부(7, 16, 22, 28)를 구비한 플라즈마 헤드(50) 상기 플라즈마 발생부에 상기 제 1 불활성가스를 공급하는 혼합가스 공급수단(57, 59) 상기 플라즈마 발생부에 고주파 전계를 인가하기 위한 고주파 전원공급장치(4) 상기 제 2 불활성가스와 상기 반응가스를 상기 혼합가스 영역에 공급하기 위한 혼합가스 공급수단(58,60) 처리대상(s)과 상기 플라즈마 헤드를 상대적으로 이송하기 위한 이송수단(42) 상기 플라즈마 헤드가 상기 처리대상의 처리부분(46)에 대향하여 위치하는 시간을 인지하는 수단(55, 56); 및 상기 고주파 전원공급장치, 상기 각 가스 공급수단(57, 59, 58, 60), 및 상기 이송수단을 제어하며, 상기 플라즈마 헤드가 상기 처리대상의 상기 처리부분에 대향하여 위치할 때에만 상기 혼합가스 공급수단을 동작시키는 제어수단(51)을 포함하는 플라즈마 처리장치 [청구항 7] 청구항 6에 있어서,상기 이송수단(42)은 로못장치(42)를 포함하며, 상기 플라즈마 헤드(50)는 상기 로봇장치의 x, y, 및 z 방향으로 이송가능한 무버블 헤드장착되는플라즈마 처리장치.