기판 수납 용기 document_id 1020087027442

[청구항 1] 기판을 수납하는 용기 본체와, 이 용기 본체의 개구부에 끼워 넣어지는 덮개와, 이들 용기 본체와 덮개의 사이를 봉인하는 압축 변형 가능한 개스켓을 구비한 기판 수납 용기로서, 용기 본체의 개구부 내주와 덮개의 어느 쪽이든 한쪽에, 개스켓용의 부착부를 형성함과 아울러, 다른 쪽에는 개스켓용의 봉인 면을 형성하여 그 평탄도의 최대치와 최소치의 차를 0.50mm 미만으로 하고, 개스켓은 부착부에 부착되는 기체와, 이 기체로부터 봉인 면 방향으로 신장하는 가요성의 봉인편과, 이 봉인편에 형성되어 봉인 면에 접촉하는 접촉부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 [청구항 2] 제1항에 있어서,용기 본체의 개구부에 덮개가 끼워 넣어질 때의 개스켓의 압축 변형에 필요한 압축력을 35∼100n의범위로 한기판 수납 용기. [청구항 3] 제1항 또는 제2항에 있어서,기판을 직경300mm 이상의 반도체 웨이퍼로 하고, 용기 본체를 직경 300mm 이상의 반도체 웨이퍼를 수납하는 프런트 오픈 박스에 형성하여 그 정면을 개구부로 하고, 이 개구부의 둘레 가장자리 부근에 복수의 리브형성한기판 수납 용기. [청구항 4] 제3항에 있어서,용기 본체의 개구부의 둘레 가장자리 양측에 걸림 리브를 각각 형성하고, 덮개의 양측부에는 용기 본체의 걸림 리브에 걸리는 걸림편을각각회전가능하게지지시키는기판 수납 용기. [청구항 5] 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,봉인편의 선단부를 접촉부로 하고, 봉인편의 근원부로부터 접촉부의 최선단까지의 폭 w를 5∼10mm의범위로 한기판 수납 용기. [청구항 6] 제5항에 있어서,봉인편의 근원부로부터 접촉부의 최선단까지의 폭 w(mm)와, 용기 본체와 덮개의 사이를 개스켓이 봉인할 때의 봉인편의 휨 길이 fl(mm)의 비(w/fl)를 1.5∼4의범위로 한기판 수납 용기. [청구항 7] 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,개스켓을 대략 테두리형으로 형성하고, 그의 적어도 한 방향의 일부에 있어서의 봉인편의 길이와, 나머지부에 있어서의 봉인편의 길이를 다르게 하고, 일부에 있어서의 봉인편을 나머지부에 있어서의 봉인편연장한기판 수납 용기. [청구항 8] 제7항에 있어서,일부에 있어서의 봉인편을 봉인 면의 평탄도가 최대치 또는 최소치로 되는 부분에 위치시키든지, 혹은 덮개의 걸림편으로부터 가장 떨어진 봉인 면의 원격의 부분위치시키도록 한기판 수납 용기. [청구항 9] 성형 재료에 의해 성형되어 기판을 수납하는 프런트 오픈 박스 형태의 용기 본체와, 이 용기 본체의 정면의 개구부에 끼워 넣어지는 덮개와, 이들 용기 본체의 개구부와 덮개의 사이를 봉인하는 압축 변형 가능한 개스켓을 구비한 기판 수납 용기로서, 용기 본체의 개구부를 그의 폭방향 외측으로 나오게 하여 림부로 함과 아울러, 이 림부의 내면을 개스켓용의 봉인 면에 형성하고, 용기 본체에는 림부 방향으로 지향하는 보강 리브를 형성하고, 용기 본체의 림부에 대한 보강 리브의 대향부의 두께를 감소시켜 용기 본체의 성형시에 림부의 봉인 면에 함몰이 생기는 것을 억제하도록 한 것을 특징으로 하는 기판 수납 용기 [청구항 10] 제9항에 있어서,용기 본체의 림부에 대해서 보강 리브의 대향부를 비연속으로 함으로써 보강 리브의 대향부의 두께감소시킨기판 수납 용기. [청구항 11] 제9항에 있어서,용기 본체의 림부에 보강 리브의 대향부를 연결하고, 이 보강 리브의 대향부에 관통공을 부착함으로써 보강 리브의 대향부의 두께감소시킨기판 수납 용기. [청구항 12] 제9항에 있어서,용기 본체의 림부에 보강 리브의 대향부를 연결하고, 이 보강 리브의 대향부의 두께를 근원부의 두께의 2/3 이하로 함으로써 보강 리브의 대향부의 두께감소시킨기판 수납 용기. [청구항 13] 제9항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,용기 본체의 저부 저면에 용기 본체의 전후 방향으로 지향하는 복수의 보강 리브를 형성하고, 각 보강 리브의 앞부분대향부로 한기판 수납 용기. [청구항 14] 제9항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,용기 본체의 저부 양측에 반송용의 저부 레일을 보강 리브를 통해 각각 형성하고, 각 보강 리브의 앞부분대향부로 한기판 수납 용기.