문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 유전체 차폐 구조는, 상기 주위 가스 공간들에 대하여 노출된 패스너 부분을 나타냄 없이,상기갭의상기적어도일부분커버하도록배치되는,플라즈마 처리 시스템.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 유전체 차폐 구조는 멀티 피스 (multi-piece) 의 차폐구조인,플라즈마 처리 시스템.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 유전체 차폐 구조는 단일 피스의 차폐구조인,플라즈마 처리 시스템.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 유전체 차폐 구조는, 무기 절연체 재료, 부전도 절연체 재료, 석영, 알루미나 재료, 및 질화 규소 중 적어도 하나를 포함하는 재료형성되는,플라즈마 처리 시스템.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 2개의 구성 요소들 중 하나는 전극나타내는,플라즈마 처리 시스템.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 유전체 차폐 구조는, 상기 뾰족한 구성 요소 구조 위에 드레이프함으로써, 상기 주위 가스 공간들로부터 상기 뾰족한구성요소구조를적어도부분적차폐시키도록구성되는,플라즈마 처리 시스템.
[청구항 9]
제 7 항에 있어서,상기 유전체 차폐 구조는, 상기 주위 가스 공간들에 대하여 노출된 패스너 부분을 나타냄 없이, 상기 뾰족한구성요소구조의상기적어도일부분커버하도록배치되는,플라즈마 처리 시스템.
[청구항 10]
제 7 항에 있어서,상기 유전체 차폐 구조는 멀티 피스의 차폐구조인,플라즈마 처리 시스템.
[청구항 11]
제 7 항에 있어서,상기 유전체 차폐 구조는 단일 피스의 차폐구조인,플라즈마 처리 시스템.
[청구항 12]
제 7 항에 있어서,상기 유전체 차폐 구조는 부전도 재료형성되는,플라즈마 처리 시스템.
[청구항 13]
제 7 항에 있어서,상기 유전체 차폐 구조는, 무기 절연체 재료, 부전도 절연체 재료, 석영, 알루미나 재료, 및 질화 규소 중 적어도 하나를 포함하는 재료형성되는,플라즈마 처리 시스템.
[청구항 14]
제 7 항에 있어서,상기 구성 요소는 전극나타내는,플라즈마 처리 시스템.
[청구항 16]
제 15 항에 있어서,상기 최악의 경우의 디바이 길이는 경험적결정되는,플라즈마 처리 시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마 처리 시스템에서 유전체 차폐 구조가 주위 가스 공간들에 대하여 노출된 패스너 부분을 나타냄 없이 커버하기 위해 배치되는 대상은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation유전체 차폐 구조가 주위 가스 공간에 노출된 패스너 부분을 나타냄 없이 커버하기 위해 배치되는 대상이 무엇인지 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 9에서 유전체 차폐 구조의 배치 목적과 대상에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 유전체 차폐 구조는, 상기 주위 가스 공간들에 대하여 노출된 패스너 부분을 나타냄 없이, 상기 뾰족한구성요소구조의상기적어도일부분커버하도록배치되는
-
3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '패스너 부분을 나타냄 없이 커버하기 위해 배치되는 대상'과 직접적으로 연결되는 구절을 선택한다.
- 상기 뾰족한구성요소구조의상기적어도일부분커버하도록배치되는
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4논리 통합
logical_integration유전체 차폐 구조는 패스너 부분을 노출시키지 않기 위해 '뾰족한 구성 요소 구조'의 적어도 일부분을 커버하도록 배치된다는 논리적 관계를 도출한다.
- 상기 뾰족한구성요소구조의상기적어도일부분커버하도록배치되는
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 '뾰족한 구성 요소 구조'를 결정한다.
- 상기 뾰족한구성요소구조
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 용어를 사용하여 최종 답변을 생성한다.
- 상기 뾰족한구성요소구조
최종 답변 (final_answer)
상기 뾰족한 구성 요소 구조
핵심 해석 (core_interpretation)
유전체 차폐 구조를 뾰족한 구성 요소 구조의 일부를 커버하도록 배치함으로써, 주위 가스 공간에 노출된 패스너 부분이 드러나지 않도록 설계하는 기술적 특징을 나타낸다.