증발기 document_id 1020087030555

[청구항 2] 제 1항에 있어서,밸브는 열 전도성 알루미늄으로 구성되고, 증발되는 고체 물질의 온도보다 높은 온도로 밸브를 통과하는 밸브 통로를 유지시키기 위해히터와전도열을전달가능하게배치되는,증발기 유닛. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상부 차단 부재에 의해 장착된 하나 이상의 가열 요소를 포함하는 단일 가열 지역구비하는,증발기 유닛. [청구항 4] 제 2항에 있어서,상기 히터는 상부 차단 부재에서 용기 내의 카트리지 히터포함하는,증발기 유닛. [청구항 5] 제 1항에 있어서,장착 스테이션에서 증발기를 장착하기 위한 착탈식 고정부와, 수동-동작형 차단 디바이스를 포함하고, 차단 디바이스는 증발기로부터 증기 흐름을 방지하는 차단 위치를 갖고, 차단 디바이스는, 차단 디바이스가 차단 위치에 있을 때를 제외하고 장착된 증발기의 착탈식 고정부로의 작업자의 접근을 방지하여, 증발기가 분리되는 동안 증발기로부터 유독 증기의 흐름을 방지하는 접근-방지 디바이스연관되는,증발기 유닛. [청구항 6] 제 5항에 있어서,식 패스너는 장착 스테이션과 연관된 짝을 이루는(mating) 설치부와 맞물릴 수 있는 고정 나사 또는 너트의 패턴을 포함하고, 접근-방지 디바이스는 차단 디바이스의 부재와 의존적으로 이동하는 접근-방지 차폐물을 포함하고, 상기 차폐물은, 차단 디바이스가 차단 위치에 있을 때에만 증발기를 장착 해제하기 위해 고정된 나사 또는 너트로의 접근을 가능하게구성되고배열되는,증발기 유닛. [청구항 7] 제 6항에 있어서,스프링 장전된, 공압식의 동작가능한 밸브는 증발기로부터 증기의 흐름을 허용하도록 증발기 상에 장착되고, 차단 디바이스는 공압식 압력의 존재에 상관없이 공압식으로 동작가능한 밸브를 차단 위치에 강제로 놓이도록 구성되는 기계적 오버라이딩디바이스인,증발기 유닛. [청구항 8] 제 1항에 있어서,상기 증발기는 증발기 제어 시스템에 응답하여 증발기로부터 증기 흐름을 제어하기 위해 통상적으로 차단된 공압식 밸브를 포함하고, 공압식 연결을 위해, 증발기의 대응하는 밀봉 표면과 짝을 이루도록 적응된 밀봉 표면을 갖는 장착 스테이션과 연관된 압축 공기를 위한 통로에 연결가능하고, 각 밀봉 표면은, 공압식 밸브를 개방하기 위한 압축 공기에 대한 충분한 연결이 대응하는 밀봉 표면과 함께 밀봉하는 것에 의존하여, 증기가 대기로 흐를 수 있는 상태 하에 공압식 밸브의 개방을 방지하는 방식으로 증기 흐름 및 압축 공기 모두에 대한 포트둘러싸는,증발기 유닛. [청구항 9] 제 1항에 있어서,고체 공급 물질을 전달하는 상이한 증발기 세트와 함께 사용되도록 구성된 시스템과 함께 사용하기 위해 구성되고, 상기 증발기는 내용물을 나타내는 특징적인 물리적 특성을 갖고, 물리적 특성은, 증발기 제어 시스템이 인식된 증발기의 내용물에 적절한 상태 하에 동작할 수 있도록 인식 시스템에 의한 인식적합한,증발기 유닛. [청구항 10] 제 9항에 있어서,작동가능한 스위치 세트를 포함하는 인식 시스템과의 상호작용에 적합한, 증발기가 지정되는 내용물에 의존하는 고유한 패턴에서 하나 이상의 스위치 엑추에이터 구성구비하는,증발기 유닛. [청구항 11] 제 9항에 있어서,증발기는 인식을 위해 상이한 증발 온도 및 상이한 특징적인 물리적 특성을 갖는 상이한 고체 공급 물질에 각각 지정되는 세트포함하는,증발기 유닛. [청구항 12] 제 11항에 있어서,세트에서의 하나의 증발기는 데카보란에 지정되고, 다른 증발기는 옥타데카보란지정되는,증발기 유닛. [청구항 13] 제 11항에 있어서,세트에서의 하나의 증발기는 보란에 지정되고, 세트에서의 다른 증발기는 카보란지정되는,증발기 유닛. [청구항 14] 제 1항에 있어서,증발기가 지정되는 각 고체 물질에 대해 통상적인 증발 온도보다 높고 위험 온도보다 낮은 안전 온도로 설정된 온도 한계 스위치갖는,증발기 유닛. [청구항 15] 제 14항에 있어서,세트에서의 하나의 증발기는 데카보란에 지정되고, 다른 증발기는 옥타데카보란에 지정되고, 한계 스위치의 온도 설정인,증발기 유닛. [청구항 17] 제 16항에 있어서,적어도 하부 섹션은 공급 물질을 위한 선적(shipping) 컨테이너로서 사용하기 위해구성되는,가열된증발기 유닛. [청구항 18] 제 16항에 있어서,상부 섹션에서의 히터는 상부 섹션의 금속 바디에서의 개구부에 꽉 끼워지게 배치된 카트리지 히터 요소의 세트를 포함하고,카트리지 히터 요소는 하부 섹션에서 물질을 증발시키기 위한 실질적으로단독열소스포함하는,가열된증발기 유닛. [청구항 19] 제 16항에 있어서,하부 섹션의 동공에 남아있는 증발가능한 공급 물질이 있고, 상기 물질은 실온에서 낮은 증발 압력을 갖는고체물질포함하는,가열된증발기 유닛. [청구항 20] 제 19항에 있어서,증발가능한 고체 물질은 붕소, 탄소, 인 또는 비소의 다수의 원자를 갖는분자포함하는,가열된증발기 유닛. [청구항 21] 제 20항에 있어서,고체 물질은 데카보란(b10h14)이고, 상기 유닛은 상부 섹션에서 증기 출구 통로에 대한 하부 섹션의 하부 벽 사이의 온도 차이를 약 5℃로 유지하도록구성되는,가열된증발기 유닛. [청구항 22] 제 20항에 있어서,고체 물질은 데카보란(b10h14)이고, 상기 유닛은 약 40℃의 동작 한계까지의 데카보란 증발 범위에 걸쳐 하부 섹션의 하부 벽을 가열하도록 구성된제어시스템연관되는,가열된증발기 유닛. [청구항 23] 제 20항에 있어서,고체 물질은 데카보란(b10h14)이고, 상기 유닛은 유닛의 상부 섹션의 과열을 방지하기 위해 안전 디바이스로서 배열된 약 50℃의 설정을 갖는과열한계스위치연관되는,가열된증발기 유닛. [청구항 24] 제 20항에 있어서,상기 고체 물질은 옥타데카보란(b18h22)이고, 상기 유닛은 상부 섹션에서의 증기 출구 통로로의 하부 섹션의 하부 벽 사이의 온도 차이를 약 10℃로 유지하도록구성되는,가열된증발기 유닛. [청구항 25] 제 20항에 있어서,상기 고체 물질은 옥타데카보란(b18h22)이고, 상기 유닛은 약 120℃의 동작 한계까지의 옥타데카보란 증발 범위에 걸쳐 하부 유닛의 하부 벽을 가열하도록 구성된제어시스템연관되는,가열된증발기 유닛. [청구항 26] 제 20항에 있어서,상기 고체 물질은 옥타데카보란(b18h22)이고, 상기 유닛은 유닛의 상부 섹션의 과열을 방지하기 위해 안전 디바이스로서 배열된 약 140℃의 설정을 갖는과열한계스위치연관되는,가열된증발기 유닛. [청구항 27] 제 20항에 있어서,물질nan은카보인,가열된증발기 유닛. [청구항 28] 제 27항에 있어서,상기 물질은 c2b10h12인가열된증발기 유닛. [청구항 29] 제 27항에 있어서,상기 물질은 c4b12h22인가열된증발기 유닛. [청구항 30] 제 16항에 있어서,조립된 유닛의 인터페이스는 진공 밀봉부에 의해 한정되고, 상기 밀봉부의 바깥쪽으로, 유닛의 상부 및 하부 섹션에 의해 각각 한정된 금속 표면을 직접적으로 접촉함으로써, 금속 표면은 대기로부터 공기에 의해 채워지는 짝을 이루는 표면에서의 미세한 결함으로 인해 압력의 미세한 개방된 틈과 맞물리고, 인터페이스의 부분은, 상부 섹션으로부터 물질을 수용하는 증발 공동의 경계를 짖는 하부 섹션의 표면으로 주 열 전달 경로를 제공하는 맞물린 금속 표면에 의해한정되는,가열된증발기 유닛. [청구항 31] 제 30항에 있어서,상부 및 하부 섹션은 인터페이스에서 실질적으로 평평한 짝을 이루는 표면을 한정하고, 상기 짝을 이루는 표면은 장착 나사의 어레이에 의해 함께 강제로 부착되고, 하부 섹션은 실질적으로 일정한 두께로 된 측면 벽을 갖는 일반적으로원통형컨테이너포함하는,가열된증발기 유닛. [청구항 32] 제 16항에 있어서,유닛의 하부 벽에 위치하고, 선택된 설정 지점에서 유닛의 하부 벽의 온도를 유지하도록 하기 위해 상부 섹션에서 히터로의 전력을 제어하도록 연결되도록 적응되는열 검출기포함하는,가열된증발기 유닛. [청구항 33] 제 32항에 있어서,검출기로부터 유닛의 상부 및 하부 섹션 사이의 인터페이스로 연장하는 전기 신호 전도체를 포함하고, 상기 상부 및 하부 섹션은, 상부 및 하부 섹션의 짝을 이루는 표면이 함께 닿을 때 서로 자동적으로 맞물리도록 위치에서 짝을 이루는전기커넥터부분구비하는,가열된증발기 유닛. [청구항 34] 제 33항에 있어서,상기 전도체는 하부 섹션의 열 전도성 벽의 표면에서 위로 연장하는그루브오목하게되는,가열된증발기 유닛. [청구항 35] 제 32항에 있어서,선택된 설정 지점에서 유닛의 하부의 온도를 유지하도록 하기 위해 상부 섹션에서의 히터로의 전력을 제어하기 위해 유닛의 하부 벽에서 열 검출기에 응답하는폐루프온도제어기연관되는,가열된증발기 유닛. [청구항 36] 제 16항에 있어서,가열된 상부 섹션에서의 증기 통로는 증발 공동으로부터 증기를 수용하도록 노출된 증기-수용 부분을 갖고, 초기 부분은 일반적으로 위로 연장하고, 뒤이어 일반적으로 측면으로 연장하는 증기 전달 부분으로의휨후속하는,가열된증발기 유닛. [청구항 37] 제 36항에 있어서,히터는 증기 통로의 위로 연장하는 부분에 일반적으로 평행하게 연장하는 카트리지 히터 요소를 포함하고, 적어도 하나의 카트리지 히터 요소는 증기 통로의 측면 연장 전달 부분의 각 측면 상에 위치하고, 적어도 하나의 카트리지 히터 요소는 통로의 측면으로 연장하는 전달 부분의 방향과는 반대로 상부 섹션의 측면 상에 위치하고, 히터 요소는 증기 통로를 한정하는표면과열전도관계에있는,가열된증발기 유닛. [청구항 38] 제 36항에 있어서,유닛으로부터 증기 흐름을 허용하는 밸브는 밸브 통로의 휨 영역에 있고, 밸브의 표면은히터와열전도성관계에있는,가열된증발기 유닛. [청구항 39] 제 38항에 있어서,상기 밸브는 공압식의 동작가능한벨로우스밸브인,가열된증발기 유닛. [청구항 40] 제 39항에 있어서,추가 증기-수용 디바이스의 장착 스테이션에서 유닛을 장착하기 위한 착탈식 고정부, 및 수동-동작가능 차단 디바이스를 포함하고, 상기 유닛의 차단 디바이스는 벨로우tm 밸브를 오버라이딩하고 증기 통로를 통해 증기 흐름을 방지하는 차단 위치를 갖고, 차단 디바이스는, 차단 디바이스가 차단 위치에 있을 때를 제외하고 장착된 증발기의 착탈식 고정부로의 작업자의 접근을 방지하여, 증발기가 분리되는 동안 증발기로부터 유독 증기의 흐름을 방지하는 접근-방지디바이스연관되는,가열된증발기 유닛. [청구항 41] 제 40항에 있어서,식 고정부는 장착 스테이션과 연관된 짝을 이루는 설치부와 맞물릴 수 있는 고정 나사의 패턴을 포함하고, 접근-방지 디바이스는 차단 디바이스의 부재와 의존적으로 이동하는 접근-방지 차폐물을 포함하고, 상기 차폐물은, 차단 디바이스가 차단 위치에 있을 때에만 장착 해제하기 위해 고정된 나사의 접근을 가능하게 하도록 구성되고배열되는,가열된증발기 유닛. [청구항 42] 제 16항에 있어서,증기 통로의 전달 부분은 추가 증기-수용 디바이스의 미리 결정된 구조의 용기에 내부 설치(interfit)되도록 구성된 바깥쪽의 측면 돌출부를 통해연장하는,가열된증발기 유닛. [청구항 43] 제 42항에 있어서,바깥쪽의 측면 돌출부는 유닛의 무게를 지지하고, 돌출부가 용기에 맞물릴 때 지지부로서 작용하도록구성되는,가열된증발기 유닛. [청구항 44] 제 42항에 있어서,바깥쪽의 측면 돌출부의 단부 표면은 추가 증기-수용 디바이스의 짝을 이루는 표면을 갖는 밀봉부를 한정하도록구성되는,가열된증발기 유닛. [청구항 45] 제 44항에 있어서,밀봉을 확립하고 안정한 힘을 제공하기 위해 추가 디바이스의 짝을 이루는 표면으로 단부 표면을 가압하도록 추가 디바이스 안으로 조여질 수 있는 장착 나사를 수용하도록 구성된나사 통로갖는,가열된증발기 유닛. [청구항 46] 제 42항에 있어서,증발기 유닛의 온도와 다른 온도로 유지되는 추가 디바이스와 함께 사용하기 위해, 단열은 바깥쪽의 측면 돌출부를 통해 유닛과 추가 디바이스 사이의 열 전달에 대해절연하는,가열된증발기 유닛. [청구항 47] 제 46항에 있어서,단열은 돌출부의 단부와, 진공 수용 디바이스의 증기 수용 통로를 한정하는 벽 사이에 배치된 절연 단부, 및 돌출부를 둘러싸는절연 슬리브부분포함하는,가열된증발기 유닛. [청구항 48] 제 42항에 있어서,유닛과 외부 제어 및 전력 회로 사이의 전기적 연결을 이루기 위해, 증발기 유닛은 추가 디바이스 상의 미리 결정된 위치의 짝을 이루는 커넥터와 맞물리도록 미리 결정된 위치에서 전기 커넥터를 지지하고, 증발기 유닛 상의 커넥터의 미리 결정된 위치는 추가 디바이스의 용기와 측면 돌출부를 맞물리게 하기 위해 방향으로 증발기 유닛의 이동을 가지고커넥터의자동연결가능하게하는,가열된증발기 유닛. [청구항 49] 제 48항에 있어서,커넥터는 유닛의 공압식 밸브의 작동을 위해 유닛에 압축 공기를 연결시키는연결요소포함하는,가열된증발기 유닛. [청구항 50] 제 48항에 있어서,바깥쪽의 측면 연장 돌출부는 유닛과 추가 디바이스의 맞물림을 안내하도록 추가 디바이스의 용기의 짝을 이루는 정렬 표면과 슬라이딩가능하게 맞물리도록 구성된정렬표면갖는,가열된증발기 유닛. [청구항 51] 제 16항에 있어서,주변의 단열이 없을 때 선적 캐니스터로서 작용하고, 증발기로서 사용할 동안 단열 내에 배치되도록구성되는,가열된증발기 유닛. [청구항 53] 제 52항에 있어서,분해되거나 증발된 물질을 위한 선적 캐니스터구성되는유닛. [청구항 54] 제 52항에 있어서,바깥쪽의 측면 연장 돌출부는, 추가 디바이스와의 유닛의 맞물림을 안내하기 위해 추가 디바이스의 용기의 짝을 이루는 정렬 표면과 슬라이딩가능하게 맞물리도록 하기 위해 구성된 정렬 표면갖는,유닛. [청구항 55] 제 52항에 있어서,상기 커넥터는 유닛의 공압식 밸브의 작동을 위해 압축 공기를 유닛에 연결하기 위한 연결 요소포함하는,유닛. [청구항 56] 제 55항에 있어서,공압식으로 동작가능한 벨로우tm 밸브는통로따라배치되는,유닛. [청구항 57] 제 56항에 있어서,추가 디바이스의 장착 스테이션에서 유닛을 장착하기 위한 착탈식 고정부와, 수동-동작가능한 차단 디바이스를 포함하고, 상기 유닛의 차단 디바이스는 벨로우tm 밸브를 오버라이딩하고 증기 통로를 통해 증기 흐름을 방지하는 차단 위치를 갖고, 차단 디바이스는, 차단 디바이스가 차단 위치에 있을 때를 제외하고 장착된 유닛의 착탈식 고정부로의 작업자의 접근을 방지하여, 유닛이 분리되는 동안 유닛으로부터 유독 가스 또는 증기의 흐름을 방지하는 접근-방지 디바이스연관되는,유닛. [청구항 58] 제 57항에 있어서,식 고정부는 장착 스테이션과 연관된 짝을 이루는 설치부와 맞물릴 수 있는 고정 나사의 패턴을 포함하고, 접근-방지 디바이스는 차단 디바이스의 부재와 의존적으로 이동하는 접근-방지 차폐물을 포함하고, 상기 차폐물은, 차단 디바이스가 차단 위치에 있을 때에만 유닛을 장착 해제하기 위해 고정된 나사로의 접근을 가능하게구성되고배열되는,유닛. [청구항 59] 제 52항에 있어서,밀봉을 확립하고 안정한 힘을 제공하기 위해 추가 디바이스의 짝을 이루는 표면으로 단부 표면을 가압하도록 추가 디바이스 안으로 조여질 수 있는 장착 나사를 수용하도록 구성된 나사 통로갖는,유닛. [청구항 60] 제 52항에 있어서,캐니스터 유닛의 온도와 다른 온도로 유지되는 추가 디바이스와 함께 사용하고, 단열은 유닛과 추가 디바이스 사이의 열 전달차단하는,유닛. [청구항 61] 제 52항에 있어서,공급 물질 수용 증발 공동을 내부 표면에 의해 한정하는 측면 및 하부 벽을 갖는 하부 섹션과, 유닛으로부터 추가 디바이스로 증기를 전달하기 위한 증기 통로 및 제거가능한 차단부를 한정하는 상부 섹션을 포함하고, 상부 및 하부 섹션은 조립시, 증기-밀폐 인터페이스에서 맞물리도록 구성되고, 바깥쪽의 측면 연장 돌출부는 상부 섹션돌출하는,유닛. [청구항 63] 제 62항에 있어서,히터는 금속 상부 섹션에서의 오목부에 설치된 카트리지 히터포함하는,증발기 유닛. [청구항 64] 제 63항에 있어서,증기 통로는 축방향으로 연장하는 입구 섹션 및 상부 섹션 내의 밸브를 포함하고, 카트리지 히터는 이와 연관된 열 전도 관계로 입구 섹션과 밸브에 평행하고 이에 따라 연장하는 연장된 요소포함하는,증발기 유닛. [청구항 66] 제 65항에 있어서,상기 증발기는, 장착 스테이션에서 증발기를 장착하기 위한 착탈식 고정부와, 수동-동작가능 차단 디바이스를 포함하고, 상기 차단 디바이스는 증발기로부터 증기 흐름을 방지하는 차단 위치를 갖고, 차단 디바이스는, 차단 디바이스가 차단 위치에 있을 때를 제외하고 장착된 증발기의 착탈식 고정부로의 작업자의 접근을 방지하여, 증발기가 분리되는 동안 증발기로부터 유독 증기의 흐름을 방지하는 접근-방지 디바이스연관되는,시스템. [청구항 67] 제 66항에 있어서,식 패스너는 장착 스테이션과 연관된 짝을 이루는 설치부와 맞물릴 수 있는 고정 나사 또는 너트의 패턴을 포함하고, 접근-방지 디바이스는 차단 디바이스의 부재와 의존적으로 이동하는 접근-방지 차폐물을 포함하고, 상기 차폐물은, 차단 디바이스가 차단 위치에 있을 때에만 증발기를 장착 해제하기 위해 고정된 나사 또는 너트로의 접근을 가능하게구성되고배열되는,시스템. [청구항 68] 제 67항에 있어서,스프링 장전된, 공압식으로 동작가능한 밸브는 증발기로부터 증기의 흐름을 허용하도록 증발기 상에 장착되고, 차단 디바이스는 공압식 압력의 존재에 상관없이 공압식으로 동작가능한 밸브를 차단 위치에 강제로 놓이도록 구성되는 기계적 오버라이딩디바이스인,시스템. [청구항 69] 제 65항에 있어서,인터페이스 디바이스는 상이한 증발 온도를 갖는 상이한 고체 공급 물질을 구비하는 상이한 증발기 세트와 함께 사용하도록 구성되고, 상기 시스템은, 내용물을 나타내는 장착된 증발기의 특징적인 물리적 특성을 인식하고, 증발기 제어 시스템이 인식된 증발기의 내용물에 적합한 상태 하에 동작하도록 배열된 인식 시스템포함하는,시스템. [청구항 70] 제 69항에 있어서,인식 시스템은, 증발기가 장착 위치에 있을 때 증발기에 노출된 작동가능한 스위치 세트를 포함하고, 상기 스위치 세트는 증발기의 내용물에 의존하는 고유 패턴으로 하나 이상의 스위치 엑추에이터 구성을 구비하는증발기협력하도록적응되는,시스템. [청구항 71] 제 69항에 있어서,2 이상의 증발기 유닛의 세트를 포함하고, 상기 세트의 증발기는 상이한 증발 온도를 갖는 각 상이한 고체 공급 물질을 포함하도록 지정되고, 증발기 유닛은 인식을 위해 상이한 특징적인 물리적 특성갖는,시스템. [청구항 72] 제 65항에 있어서,이온 소스는 진공 챔버 내에 장착되고, 흐름 인터페이스 디바이스는 이온 소스를 위한증기전달하도록구성되는,시스템. [청구항 73] 제 65항에 있어서,이온 소스는 주입을 위해 이온을 제공하기 위해 이온 주입기시스템에 있는,시스템. [청구항 74] 제 73항에 있어서,이온 소스는 목표 기판에 주입하기 위한 빔 라인에 이온제공하는,시스템. [청구항 76] 제 75항에 있어서,고체 물질로부터 생성된 증기를 이온화할 수 있는 이온 소스결합되는,증발기, 증발기 유닛 또는 증발기 시스템.