문맥 (context)
[청구항 60]
반도체 물질의 불레나 벌크 잉곳의 형태를 갖는 재이용 가능한 도너 기판을 구비하는 어셈블리에 있어서,
상기 재이용 가능한 도너 기판은 표면 및 복수의 표면 아래 게터링 사이트나 결함 영역을 가지고,
상기 재이용 가능한 도너 기판의 상기 표면은 최종 기판에 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 어셈블리
[청구항 61]
제 60 항에 있어서,공통의 최종 기판에 결합된 복수의 재이용 가능한도너 기판구비하는것을특징으로 하는어셈블리.
[청구항 62]
제 60 항에 있어서,상기 최종 기판nan은입사광투명한것을특징으로 하는어셈블리.
[청구항 63]
제 60 항에 있어서,상기 최종 기판nan은입사광투명한것을특징으로 하는어셈블리.
[청구항 64]
제 60 항에 있어서,상기 표면에 수직인상기반도체물질의격자의방향인것을특징으로 하는어셈블리.
[청구항 65]
제 60 항에 있어서,상기 표면에 수직인상기반도체물질의격자의방향인것을특징으로 하는어셈블리.
[청구항 66]
반도체 물질의 불레나 벌크 잉곳의 형태를 갖는 재이용 가능한 도너 기판의 표면과 진공으로 통하는 이온 소스를 구비한 시스템에 있어서,
상기 이온 소스는 복수의 표면 아래 게터링 사이트나 결함 영역을 형성하기 위해 상기 표면으로 수소 이온을 주입하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 시스템
[청구항 67]
제 66 항에 있어서,상기 표면에 수직인상기벌크 반도체물질의격자의방향인것을특징으로 하는시스템.
[청구항 68]
제 66 항에 있어서,상기 표면에 수직인상기벌크 반도체물질의격자의방향인것을특징으로 하는시스템.
[청구항 69]
제 66 항에 있어서,상기 표면 위에 놓여있고, 상기 이온 소스로부터의 어떠한 오염물도 차단하도록 구성되어 있는차단층더구비하는것을특징으로 하는시스템.
[청구항 70]
제 66 항에 있어서,상기 표면과 접촉하고, 상기 주입에 의해 상기 벌크 반도체 물질로부터 릴리스된 프리스탠딩 층을 한정하도록 구성되어 있는 단단한플레이트더구비하는것을특징으로 하는시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
재이용 가능한 도너 기판의 표면 아래에 게터링 사이트나 결함 영역을 형성하기 위해 이온 소스가 수행하는 역할은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation이온 소스가 재이용 가능한 도너 기판의 표면 아래에 게터링 사이트나 결함 영역을 형성하기 위해 수행하는 역할을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 66에서 이온 소스의 구성과 목적에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 이온 소스는 복수의 표면 아래 게터링 사이트나 결함 영역을 형성하기 위해 상기 표면으로 수소 이온을 주입하도록 구성되어 있는
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3근거 선택
evidence_selection이온 소스의 구체적인 동작 방식인 '수소 이온 주입'이 포함된 구절을 선택한다.
- 상기 이온 소스는 복수의 표면 아래 게터링 사이트나 결함 영역을 형성하기 위해 상기 표면으로 수소 이온을 주입하도록 구성되어 있는
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4논리 통합
logical_integration게터링 사이트나 결함 영역을 형성하기 위한 수단이 '표면으로 수소 이온을 주입하는 것'임을 연결한다.
- 상기 이온 소스는 복수의 표면 아래 게터링 사이트나 결함 영역을 형성하기 위해 상기 표면으로 수소 이온을 주입하도록 구성되어 있는
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5결론 도출
conclusion_formulation이온 소스의 역할은 표면으로 수소 이온을 주입하는 것이다.
- 상기 표면으로 수소 이온을 주입하도록 구성되어 있는
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 표면으로 수소 이온을 주입하도록 구성되어 있는
최종 답변 (final_answer)
상기 표면으로 수소 이온을 주입하도록 구성되어 있다.
핵심 해석 (core_interpretation)
이온 소스를 이용하여 도너 기판의 표면에 수소 이온을 주입함으로써, 기판 표면 아래에 게터링 사이트 또는 결함 영역을 형성하는 기술적 수단을 정의하고 있다.