기판 이송장치 document_id 1020090003649

[청구항 2] 제1항에 있어서,클램핑유닛은,상기 기판 파지이송유닛이 상기 해당 기판을 파지하기 전에 상기 해당 간지를 클램핑하며, 상기 기판 파지이송유닛이 상기 해당 기판을 이송한 후에 상기 해당 간지의 클램핑 상태를 해제하는 간지클램프; 및상기 간지클램프를 구동시키는간지클램프구동부포함하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 3] 제2항에 있어서,클램핑유닛은,상기해당간지의가장자리를클램핑하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 4] 제2항에 있어서,상기 간지클램프는,상기 간지 클램프구동부에 연결되는 커넥팅로드;상기 커넥팅로드의 길이방향과 교차하는 방향으로 연장되는 클램프 바아; 및상기 클램프 바아의 일단부로부터 절곡 연장되는간지접촉부포함하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 5] 제2항에 있어서,클램핑유닛은,상기 간지클램프 및 상기 간지 클램프구동부를 전후방향으로 함께 이동시키는클램프이동부더포함하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 6] 제2항에 있어서,상기 간지 클램프구동부는,상기 해당 간지에 대한 상기 간지클램프의 클램핑 위치를 조절하기 위한 서보모터(servo motor) 및 스태핑모터(staping motor) 중 어느하나포함하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 기판 파지이송유닛은,상기 기판을 파지하는 기판파지부;상기 기판파지부를 좌우방향으로 수평이동시키는 제1 수평이동부; 및상기 기판파지부를 상하방향으로 수직이동시키는 제1 수직이동부포함하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 8] 제7항에 있어서,상기 제1 수직이동부는,상기 기판파지부의 수직이동 속도를 조절하기 위한 서보모터 및 스태핑모터 중 어느하나포함하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 9] 제7항에 있어서,상기 제1 수직이동부에 의하여 수직이동되는 상기 기판파지부의 스트로크(stroke)는 75 내지 250 mm의범위갖는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 간지 파지이송유닛은,상기 기판 파지이송유닛의 이동방향과 교차하는 방향으로 상기 해당 간지를 파지하여이송하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 11] 제10항에 있어서,상기 간지 파지이송유닛은,상기 해당 간지를 파지하는 간지파지부;상기 간지파지부를 전후방향으로 수평이동시키는 제2 수평이동부; 및상기 간지파지부를 상하방향으로 수직이동시키는 제2 수직이동부포함하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 12] 제1항에 있어서,상기 기판 트레이는 복수 개가 적층된 구조로 제공되며,상기 간지 파지이송유닛과 일체로 마련되어 상기 복수 개의 기판 트레이 중 맨 위쪽에 배치된 기판 트레이를 이송하는트레이이송유닛더포함하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 13] 제1항에 있어서,클램핑유닛에 인접하여 마련되며, 상기 해당 간지가 상기 간지 클램핑유닛에 의해 클램핑 된 상태에서 상기 해당 기판과 상기 해당 간지 사이에 에어(air)를 분사하는에어퍼지유닛더포함하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 14] 제13항에 있어서,상기 에어퍼지유닛은 상기 간지 클램핑유닛의 양 측면에 인접하여 한쌍마련되는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 15] 제1항에 있어서,상기 기판 트레이는 복수 개가 적층된 구조로 제공되며,상기 복수 개의 기판 트레이 중 맨 위쪽에 배치된 기판 트레이를 센터링하는트레이센터링유닛더포함하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 트레이 센터링유닛은,센터링하고자 하는 트레이의 양 측면에 각각 접촉되는 한 쌍의 센터링 바아; 및상기 센터링바아를 구동시키는센터링바아구동부포함하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 17] 제1항에 있어서,상기 기판 파지이송유닛의 이송경로 상에 마련되어 상기 기판 파지이송유닛에 의해 이송되는 상기 해당 기판에 상기 해당 간지가 딸려오는 경우에 상기 해당 기판으로부터 상기 해당 간지를 제거하는롤러브러쉬유닛더포함하는것을특징으로 하는기판 이송장치. [청구항 18] 제17항에 있어서,상기 롤러브러쉬유닛은,회전운동을 하도록 마련되는 롤러; 및상기 롤러의 외주면에 결합되는브러쉬포함하는것을특징으로 하는기판 이송장치.