문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 점착척, 제 1 분리막 및 제 2 분리막은상기몸체부의표면노출되도록장착되는기판 지지 유닛.
[청구항 3]
청구항 1에 있어서,상기 점착척은 중앙부가 개구된 링 형상제작되는기판 지지 유닛.
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,상기 점착척의 표면에 복수의 돌기형성되는기판 지지 유닛.
[청구항 5]
청구항 3에 있어서,상기 점착척의 내주면 및 외주면을 따라 유체 차단부형성된기판 지지 유닛.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기 점착척에는 기판의 부착 및 분리를 돕는 제 1 가스 조절부연결되는기판 지지 유닛.
[청구항 7]
청구항 6에 있어서,상기 제 1 가스 조절부는 복수의 점착척을 각각을 관통하도록 배치되어 일단부가 상기 복수의 점착척의 표면으로 노출되는 복수의 제 1 노즐부와, 상기 복수의 제 1 노즐부를 연결하는 제 1 연장 배관과, 상기 제 1 연장 배관 및 제 1 노즐부와 연결된 제 1 진공 발생부 및 제 1 가스 공급부포함하는기판 지지 유닛.
[청구항 8]
청구항 7에 있어서,상기 제 1 가스 조절부는 제 1 진공 발생부에 연결된 제 1 배관과, 제 1 가스 공급부와 연결된 제 2배관과, 일단이 제 1 배관과 제 2 배관 사이를 연결하도록 배치되고 타단이 상기 제 1 연장 배관과 연통되도록 배치되는 제 1 연통 배관포함하는기판 지지 유닛.
[청구항 9]
청구항 8에 있어서,상기 제 1 배관과 제 1 연통 배관의 연통을 제어하는 제 1 밸브와, 제 2 배관과 제 1 연통 배관 간의 연통을 제어하는 제 2 밸브포함하는기판 지지 유닛.
[청구항 10]
청구항 8에 있어서,상기 제 1 연통 배관과 연결되어 상기 제 1 연통 배관을 승하강시킴으로써, 상기 제 1 연통 배관과 제 1 연장 배관 간의 연통을 제어하는제1바이패스부를포함하는기판 지지 유닛.
[청구항 11]
청구항 1에 있어서,상기 제 2 분리막은 중앙부가 개구된 링 형상으로 제작되어, 상기 점착척의 외주면을 둘러 싸도록 이격배치되는기판 지지 유닛.
[청구항 12]
청구항 1에 있어서,상기 제 2 분리막을 복수로 마련하고, 상기 복수의 제 2 분리막을 점착척의 외측에상호이격되도록배치하는기판 지지 유닛.
[청구항 13]
청구항 1에 있어서,상기 제 1 분리막 및 제 2 분리막은 탄성 변형 가능한 재료를 이용하여 제작되어, 가스 조절부에 의해 상기 제 1 분리막 및 제 2 분리막이 탄성변형되는기판 지지 유닛.
[청구항 14]
청구항 1에 있어서,상기 제 1 분리막 및 제 2 분리막에 기판의 분리를 돕는 제 2 가스 조절부연결되는기판 지지 유닛.
[청구항 15]
청구항 14에 있어서,상기 제 2 가스 조절부는 제 1 및 제 2 분리막의 배면에 각각 대응 배치된 복수의 제 2 노즐부와, 상기 복수의 제 2 노즐부를 연결하는 제 2 연장 배관과, 상기 제 2 연장 배관 및 제 2 노즐부와 연결된 제 2 진공 발생부 및 제 2 가스 공급부포함하는기판 지지 유닛.
[청구항 16]
청구항 15에 있어서,상기 제 2 가스 조절부는 제 2 진공 발생부에 연결된 제 3 배관과, 제 2 가스 공급부와 연결된 제 4 배관과, 일단이 제 3 배관과 제 4 배관 사이를 연결하도록 배치되고 타단이 상기 제 2 연장 배관과 연통되도록 배치되는 제 2 연통 배관포함하는기판 지지 유닛.
[청구항 17]
청구항 16에 있어서,상기 제 3 배관과 제 2 연통 배관의 연통을 제어하는 제 3 밸브와, 제 4 배관과 제 2 연통 배관 간의 연통을 제어하는 제 4 밸브포함하는기판 지지 유닛.
[청구항 18]
청구항 16에 있어서,상기 제 2 연통 배관과 연결되어 상기 제 2 연통 배관을 승하강 시킴으로써, 상기 제 2 연통 배관과 제 2 연장 배관 간의 연통을 제어하는제2바이패스부를포함하는기판 지지 유닛.
[청구항 19]
청구항 14에 있어서,상기 제 2 가스 조절부의 제 2 가스 공급부를 이용하여 제 2 노즐부에 가스를 공급함으로써, 상기 제 1 분리막 및 제 2 분리막이 기판이 배치된 방향으로 돌출되도록 탄성변형되는기판 지지 유닛.
[청구항 21]
청구항 20에 있어서,상기 점착척에는 진공 흡착력을 이용하여 상기 점착척에 기판을 흡착시키는 제 1 가스 조절부가 연결되고, 상기 제 1 분리막 및 제 2 분리막에는 상기 제 1 분리막 및 제 2 분리막을 탄성 변형시키는 제 2 가스 조절부연결되는기판 접합 장치.
[청구항 22]
청구항 21에 있어서,상기 제 2 가스 조절부를 이용하여 제 1 분리막 및 제 2 분리막의 배면에 가스를 공급함으로써, 상기 제 1 분리막 및 제 2 분리막이 기판이 배치된 방향으로 돌출되도록 탄성변형되는기판 접합 장치.
[청구항 23]
청구항 20에 있어서,상기 기판 지지 유닛 및 하부척에는 상기 기판 지지 유닛 및 하부척을 승하강시키는 구동부연결되는기판 접합 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판 지지 유닛의 제 2 가스 조절부에서 제 2 가스 공급부를 통해 제 2 노즐부에 가스를 공급할 경우, 제 1 분리막 및 제 2 분리막은 어떠한 상태로 변화하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation제 2 가스 조절부의 제 2 가스 공급부를 통해 제 2 노즐부에 가스가 공급될 때, 제 1 분리막과 제 2 분리막의 상태 변화를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 19에서 제 2 가스 조절부의 제 2 가스 공급부를 이용하여 제 2 노즐부에 가스를 공급하는 동작이 명시되어 있다.
- 상기 제 2 가스 조절부의 제 2 가스 공급부를 이용하여 제 2 노즐부에 가스를 공급함으로써
-
3근거 선택
evidence_selection가스 공급 시 분리막의 상태 변화를 설명하는 구절을 선택한다.
- 상기 제 1 분리막 및 제 2 분리막이 기판이 배치된 방향으로 돌출되도록 탄성변형되는
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4논리 통합
logical_integration제 2 가스 공급부에서 제 2 노즐부로 가스가 공급되면, 그 결과로 제 1 및 제 2 분리막이 기판 방향으로 돌출되며 탄성 변형된다는 인과관계를 도출한다.
- 상기 제 2 가스 조절부의 제 2 가스 공급부를 이용하여 제 2 노즐부에 가스를 공급함으로써, 상기 제 1 분리막 및 제 2 분리막이 기판이 배치된 방향으로 돌출되도록 탄성변형되는
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 분리막이 기판이 배치된 방향으로 돌출되도록 탄성변형된다는 결론을 내린다.
- 상기 제 1 분리막 및 제 2 분리막이 기판이 배치된 방향으로 돌출되도록 탄성변형되는
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6답변 생성
answer_generation추출된 문구를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 제 1 분리막 및 제 2 분리막이 기판이 배치된 방향으로 돌출되도록 탄성변형되는
최종 답변 (final_answer)
상기 제 1 분리막 및 제 2 분리막이 기판이 배치된 방향으로 돌출되도록 탄성변형되는
핵심 해석 (core_interpretation)
제 2 가스 조절부를 통한 가스 공급을 이용하여 탄성 재질의 분리막을 기판 방향으로 돌출시켜 기판의 분리를 돕는 기술적 메커니즘을 나타낸다.