문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 노즐반송기구에 복수의 도포액 노즐이 설치되고, 상기 복수의 도포액 노즐의 각각은, 대략 투명한 부재로 형성됨과 함께 평탄형상으로 형성된 입광면을 가진 통형상체로 이루어진액처리장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 도포액 노즐은, 상기 입광면과 대향하는 위치의 표면 바깥쪽에 형성된 반사 피막을 가지며, 상기 반사 피막은, 상기 입광면으로부터 입사되는 빛을 상기 도포액 노즐의 내부에서 하향으로 변환하여도포액노즐의선단출사시키도록반사하는액처리장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 노즐반송기구에, 상기 광원으로부터 상기 도포액 노즐을 향해서 상기 조명광을 도광하기 위한 도광부재가 설치되고, 상기 도광부재는 상기 입광면접속되는액처리장치.
[청구항 5]
제 2 항에 있어서,상기 광원은 상기 복수의 도포액 노즐에 대응하여 복수의 광원을 가지며, 상기 복수의 도포액 노즐의 상기 입광면에 상기 복수의 광원각각 접속되는액처리장치.
[청구항 6]
제 2 항에 있어서,상기 복수의 도포액 노즐과 상기 광원은, 상기 조명광을 도광하기 위한단일도광부재에의해서접속되는액처리장치.
[청구항 7]
제 2 항에 있어서,상기 복수의 도포액 노즐과 상기 광원은, 상기 조명광을 도광하기 위한복수도광부재에의해서각각 접속되는액처리장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 노즐반송기구에, 상기 도포액 노즐 내외의 상기 도포액 상태와 상기 도포액 노즐로부터 토출되는상기도포액의상태하는설치되는액처리장치.
[청구항 9]
제 2 항에 있어서,상기 노즐반송기구에, 상기 도포액 노즐 내외의 상기 도포액의 상태와 상기 도포액 노즐로부터 토출되는 상기 도포액의 상태를 촬상하는 촬상수단이 설치되고,상기 광원은 상기 복수의 도포액 노즐에 대응하여 복수의 광원을 가지며,상기 촬상수단으로 촬상을 행할 때에는, 상기 복수의 광원중에서 상기 기판에 도포액을 토출할 때에 사용하는 상기 도포액 노즐에 입광시키는 광원적어도 점등시키는액처리장치.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,상기 노즐반송기구에 의해서 이동된 상기 도포액 노즐로부터 도포액을 더미 디스펜스하기 위한 노즐 배스를 구비하고, 상기 촬상수단에 의한 촬상은, 상기노즐 배스로 행하는액처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
액처리장치에서 도포액 노즐의 반사 피막은 입광면으로부터 입사되는 빛을 어떻게 변환하여 액체 토출을 지원하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation도포액 노즐의 반사 피막이 입광면으로부터 입사되는 빛을 어떻게 변환하여 액체 토출을 지원하는지 그 기능을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 반사 피막의 역할과 빛의 변환 방식에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 반사 피막은, 상기 입광면으로부터 입사되는 빛을 상기 도포액 노즐의 내부에서 하향으로 변환하여도포액노즐의선단출사시키도록반사하는
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 반사 피막의 기능 설명 구절을 선택한다.
- 상기 입광면으로부터 입사되는 빛을 상기 도포액 노즐의 내부에서 하향으로 변환하여도포액노즐의선단출사시키도록반사하는
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4논리 통합
logical_integration반사 피막은 입광면으로 들어온 빛을 노즐 내부에서 하향 방향으로 변환하여 노즐 선단으로 출사시키는 역할을 수행함을 확인한다.
- 상기 입광면으로부터 입사되는 빛을 상기 도포액 노즐의 내부에서 하향으로 변환하여도포액노즐의선단출사시키도록반사하는
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5결론 도출
conclusion_formulation추출된 정보를 바탕으로 빛이 하향으로 변환되어 노즐 선단으로 출사된다는 결론을 도출한다.
- 상기 입광면으로부터 입사되는 빛을 상기 도포액 노즐의 내부에서 하향으로 변환하여도포액노즐의선단출사시키도록반사하는
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 문맥에 근거한 직접적인 답변을 생성한다.
- 상기 입광면으로부터 입사되는 빛을 상기 도포액 노즐의 내부에서 하향으로 변환하여도포액노즐의선단출사시키도록반사하는
최종 답변 (final_answer)
상기 입광면으로부터 입사되는 빛을 상기 도포액 노즐의 내부에서 하향으로 변환하여도포액노즐의선단출사시키도록반사한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
도포액 노즐의 반사 피막을 통해 입사된 빛을 노즐 내부에서 하향으로 유도함으로써, 노즐 선단으로 빛을 출사시키는 기능을 제공한다.