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폴리싱방법 및 폴리싱장치 document_id 1020090007023

출원번호
1020090007023
분류
전기(H섹션)
문맥 (context)
[청구항 31] 워크피스를 폴리싱하기 위한 폴리싱장치에 있어서, 폴리싱면이 그 위에 있는 턴테이블 워크피스를 탈착가능하게 유지하고 상기 워크피스를 상기 폴리싱면에 대해 가압시키기 위한 상하-가동 홀딩장치 액체를 상기 폴리싱면에 공급하기 위한 액체공급장치 상기 폴리싱면을 구비한 턴테이블과 상기 홀딩장치를 서로에 대해 이동시키기 위한 이동기구; 및 상기 액체공급장치로부터 상기 폴리싱면으로 공급될 액체량을 제어하기 위한 제어장치를 포함하여 이루어지고, 상기 액체가 있을 때 상기 폴리싱면과 접촉시켜 처리된 상기 워크피스를 상기 홀딩장치로 흡인시키고, 상기 워크피스를 상기 폴리싱면으로부터 분리시키는 경우, 상기 제어장치는 폴리싱시의 유량에 비해 감소된 유량으로 액체를 폴리싱면에 공급하거나, 상기 액체를 상기 폴리싱면에 간헐적으로 공급하거나 또는 발포액을 상기 폴리싱면에 공급하도록 상기 액체공급장치를 제어하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치 [청구항 32] 워크피스를 폴리싱하기 위한 폴리싱장치에 있어서, 폴리싱면을 구비한 턴테이블 워크피스를 탈착가능하게 유지하고 상기 워크피스를 상기 폴리싱면에 대해 가압시키기 위한 상하-가동 홀딩장치 액체를 상기 폴리싱면에 공급하기 위한 액체공급장치 상기 폴리싱면을 구비한 턴테이블과 상기 홀딩장치를 서로에 대해 이동시키기 위한 이동기구; 및 상기 이동기구를 제어하기 위한 제어장치를 포함하여 이루어지고, 상기 액체가 있을 때 상기 폴리싱면과 접촉시켜 처리된 상기 워크피스를 상기 홀딩장치로 흡인시키고, 상기 워크피스를 상기 폴리싱면으로부터 분리시키는 경우, 상기 제어장치는 상기 턴테이블의 폴리싱면과 상기 홀딩장치 간의 상대속도를 감소시키도록 상기 이동기구를 제어하는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치 [청구항 33] 워크피스를 폴리싱하기 위한 폴리싱장치에 있어서, 폴리싱면을 구비한 턴테이블 워크피스를 탈착가능하게 유지하고 상기 워크피스를 상기 폴리싱면에 대해 가압시키기 위한 상하-가동 홀딩장치 액체를 상기 폴리싱면에 공급하기 위한 액체공급장치 상기 폴리싱면을 구비한 턴테이블과 상기 홀딩장치를 서로에 대해 이동시키기 위한 이동기구; 및 상기 액체가 있을 때 상기 폴리싱면과 접촉시켜 처리된 상기 워크피스가 상기 폴리싱면으로부터 분리되었는지의 여부를 감지하기 위하여, 상기 폴리싱면을 커버하는 액막의 두께를 검출하기 위 막두께검출센서를 포함하하 여 이루어지는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치 [청구항 34] 워크피스를 폴리싱하기 위한 폴리싱장치에 있어서, 폴리싱면을 구비한 턴테이블 워크피스를 탈착가능하게 유지하고 상기 워크피스를 상기 폴리싱면에 대해 가압시키기 위한 상하-가동 홀딩장치 액체를 상기 폴리싱면에 공급하기 위한 액체공급장치 상기 폴리싱면을 구비한 턴테이블과 상기 홀딩장치를 서로에 대해 이동시키기 위한 이동기구; 및 상기 액체가 있을 때 상기 폴리싱면과 접촉시켜 처리된 상기 워크피스가 상기 폴리싱면으로부터 분리되었는지의 여부를 감지하기 위하여, 상기 워크피스와 상기 폴리싱면 간의 거리를 검출하기 위한 거리측정센서를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 폴리싱장치 [청구항 35] 제34항에 있어서,상기 거리측정센서는와류센서인것을특징으로 하는폴리싱장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
폴리싱장치에서 처리된 워크피스를 홀딩장치로 흡인하여 폴리싱면으로부터 분리할 때, 제어장치가 액체공급장치를 제어하는 방식에는 어떠한 것들이 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
  1. 1과제 해석task_interpretation

    워크피스를 홀딩장치로 흡인하여 분리할 때, 제어장치가 액체공급장치를 제어하는 구체적인 방식들을 추출해야 한다.

  2. 2정보 추출information_extraction

    청구항 31에서 워크피스 분리 시 제어장치가 액체공급장치를 제어하는 세 가지 방식이 명시되어 있다.

    • 상기 제어장치는 폴리싱시의 유량에 비해 감소된 유량으로 액체를 폴리싱면에 공급하거나, 상기 액체를 상기 폴리싱면에 간헐적으로 공급하거나 또는 발포액을 상기 폴리싱면에 공급하도록 상기 액체공급장치를 제어하는 것
  3. 3근거 선택evidence_selection

    질문에서 요구하는 '액체공급장치를 제어하는 방식'에 해당하는 구절을 선택한다.

    • 폴리싱시의 유량에 비해 감소된 유량으로 액체를 폴리싱면에 공급하거나, 상기 액체를 상기 폴리싱면에 간헐적으로 공급하거나 또는 발포액을 상기 폴리싱면에 공급하도록 상기 액체공급장치를 제어
  4. 4논리 통합logical_integration

    추출된 세 가지 방식(유량 감소 공급, 간헐적 공급, 발포액 공급)을 나열 형식으로 정리한다.

  5. 5결론 도출conclusion_formulation

    제어장치가 액체공급장치를 제어하는 방식은 유량 감소 공급, 간헐적 공급, 발포액 공급의 세 가지이다.

  6. 6답변 생성answer_generation

    질문에 대한 답변을 리스트 형식으로 작성한다.

최종 답변 (final_answer)
1. 폴리싱시의 유량에 비해 감소된 유량으로 액체를 폴리싱면에 공급하는 방식 2. 액체를 폴리싱면에 간헐적으로 공급하는 방식 3. 발포액을 폴리싱면에 공급하는 방식
핵심 해석 (core_interpretation)
워크피스를 폴리싱면으로부터 분리하기 용이하도록 액체의 공급 유량, 공급 주기 또는 액체의 종류(발포액)를 조절하여 제어하는 기술이다.