문맥 (context)
[청구항 2]
제 1항에 있어서,홀과 상기 수광 렌즈 사이의 거리는 변경될 수있는것을특징으로 하는플라즈마용 광학 장치.
[청구항 3]
제1 항에 있어서,상기 제1 구경 조리개와 상기 수광 렌즈 사이의 거리는고정된것을특징으로 하는플라즈마용 광학 장치.
[청구항 4]
제1 항에 있어서,홀의 후단에 배치된비축광원제거부더포함하는것을특징으로 하는플라즈마용 광학 장치.
[청구항 5]
제4 항에 있어서,상기 비축광원 제거부는제1 렌즈;제2 렌즈; 및상기 제1 렌즈와 상기 제2 렌즈 사이에 배치된구경조리개포함하는것을특징으로 하는플라즈마용 광학 장치.
[청구항 6]
제4 항에 있어서,상기 비축 광원 제거부를 통과한 광을 입력받아 소정의 위치로 광을 전달하는 광전달부;상기 광전달부의 출력광을 입력받는 파장에 따른 광의 강도를 측정하는 분광부; 및상기 분광부의 출력 신호를 제공받아 상기 분광부의 출력 신호를 처리하는제어부더포함하는것을특징으로 하는플라즈마용 광학 장치.
[청구항 7]
제1 항에 있어서,상기 제2 구경 조리개와 상기 핀 홀 사이에 배치되어 상기 수광 렌즈를 통과한 광의 경로를 변경하여 정렬 여부를 확인하는정렬부더포함하는것을특징으로 하는플라즈마용 광학 장치.
[청구항 8]
상기 제1 항에 있어서,상기 정렬부는:상기 제2 구경 조리개를 통과한 광의 경로를 변경하고 이동 가능한 미러;상기 미러에서 반사된 광의 위치를 확인하는 레티클;상기 레디클을 통과한 광을 집광하는 정렬 렌즈; 및상기 정렬 렌즈를 통과한 광을 입력 받는감지부포함하는것을특징으로 하는플라즈마용 광학 장치.
[청구항 9]
상기 제1 항에 있어서,상기 수광 렌즈, 상기 제1 구경 조리개(aperture stop), 제2 구경 조리개, 및 상기 핀 홀이 장착된 프레임을 더 포함하되,상기 프레임은 상기 수광 렌즈와 상기 플라즈마의 거리를 변경할 수있는것을특징으로 하는플라즈마용 광학 장치.
[청구항 10]
상기 제1 항에 있어서,상기 수광 렌즈, 상기 제1 구경 조리개가 장착된 렌즈 이동부를 더 포함하되,상기 렌즈 이동부는상기수광렌즈와상기핀홀사이의거리조절하는것을특징으로 하는플라즈마용 광학 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
플라즈마용 광학 장치에서 비축광원제거부는 어떠한 구성요소들로 이루어져 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플라즈마용 광학 장치 내 '비축광원제거부'를 구성하는 요소들을 찾는 것이 목적이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 비축광원제거부가 포함됨을 확인하고, 청구항 5에서 해당 구성요소의 상세 내용을 추출한다.
- 상기 비축광원 제거부는제1 렌즈;제2 렌즈; 및상기 제1 렌즈와 상기 제2 렌즈 사이에 배치된구경조리개포함하는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection비축광원제거부의 구성을 직접적으로 명시하고 있는 청구항 5의 구절을 선택한다.
- 상기 비축광원 제거부는제1 렌즈;제2 렌즈; 및상기 제1 렌즈와 상기 제2 렌즈 사이에 배치된구경조리개포함
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4논리 통합
logical_integration추출된 구성요소인 제1 렌즈, 제2 렌즈, 구경조리개를 결합하여 답변을 구성한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation비축광원제거부는 제1 렌즈, 제2 렌즈, 그리고 그 사이에 배치된 구경조리개로 이루어져 있음을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 리스트 형식으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
제1 렌즈, 제2 렌즈, 및 상기 제1 렌즈와 상기 제2 렌즈 사이에 배치된 구경조리개
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 플라즈마용 광학 장치에서 비축광원을 제거하기 위해 제1 렌즈와 제2 렌즈 사이에 구경조리개를 배치하는 구성을 포함한다.