문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 기판홀딩부의 주변영역에 승강가능하게 마련되어 상기 기판에 대한 공정진행시 상기 기판홀딩부를 상기 서셉터와 격리시키는격리벽더포함하는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 3]
제2항에 있어서,상기 대기압 반송 로봇은,캐리어에 적재된 총 기판 중 최하층에 적재된 적어도 한 개의 기판을 상기 기판홀딩부로 로딩/언로딩하는 하부이송암과;상기 제1이송암의 일측에 구비되어 상기 캐리어에 적재된 총 기판 중 상기 제1이송암에 의해 로딩/언로딩되는 기판을 제외한 나머지 기판을 상기 기판홀딩부로 로딩/언로딩하는상부이송암포함하는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 4]
제3항에 있어서,상기 기판홀딩부는,승강축과;상기 캐리어에 적재된 기판의 총 개수와 대응되는 개수로 구비되며, 상기 승강축에 승강가능하게 결합되는복수의기판지지홀더구비되는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 복수의 기판지지홀더는 상기 기판 이송로봇의 이송높이에 로딩/언로딩될 기판이 위치되도록 상기 승강축을 따라승강하는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 6]
제4항에 있어서,상기 기판지지홀더는 상기 승강축을 따라 자력에 의해승강되는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 7]
제6항에 있어서,상기 기판지지홀더는 상기 대기압 반송 로봇의 구동에 연동하여승강되는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 복수의 서셉터로 전원을 공급하는공통전원공급원더포함하는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 10]
제9항에 있어서,상기 이동식 기판홀딩부는,상기 버퍼링 챔버 내에 구비된 승강축과;상기 승강축에 승강가능하게 마련되며 복수의 기판이 적재되는 이동기판지지홀더와;상기 승강축에 수직하게 마련되어 기판의 로딩/언로딩시 상기 서셉터의 개수에 대응하는 개수의 이동기판지지홀더를 상기 공정챔버 내부로 안내하는홀더안내축포함하는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 이동기판지지홀더는 상기 승강축 및 상기 홀더안내축 상을 자력에 의해승강이동되는것을특징으로 하는기판처리시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리시스템에서 대기압 반송 로봇의 하부이송암과 상부이송암은 각각 어떤 기판을 기판홀딩부로 로딩 또는 언로딩하는 역할을 수행하는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation대기압 반송 로봇의 하부이송암과 상부이송암이 각각 어떤 기판을 로딩 또는 언로딩하는지 그 역할을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 하부이송암과 상부이송암의 기능에 관한 설명을 추출한다.
- 상기 대기압 반송 로봇은,캐리어에 적재된 총 기판 중 최하층에 적재된 적어도 한 개의 기판을 상기 기판홀딩부로 로딩/언로딩하는 하부이송암과;상기 제1이송암의 일측에 구비되어 상기 캐리어에 적재된 총 기판 중 상기 제1이송암에 의해 로딩/언로딩되는 기판을 제외한 나머지 기판을 상기 기판홀딩부로 로딩/언로딩하는상부이송암포함하는것을특징으로 하는기판처리시스템
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3근거 선택
evidence_selection하부이송암의 대상인 '최하층에 적재된 적어도 한 개의 기판'과 상부이송암의 대상인 '제1이송암에 의해 로딩/언로딩되는 기판을 제외한 나머지 기판'을 선택한다.
- 최하층에 적재된 적어도 한 개의 기판을 상기 기판홀딩부로 로딩/언로딩하는 하부이송암
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4논리 통합
logical_integration하부이송암은 캐리어의 최하층 기판을 담당하고, 상부이송암은 제1이송암이 처리하는 기판을 제외한 나머지 기판을 담당함을 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 하부이송암과 상부이송암의 역할을 각각 명시하여 결론을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
하부이송암은 캐리어에 적재된 총 기판 중 최하층에 적재된 적어도 한 개의 기판을 로딩 또는 언로딩하며, 상부이송암은 상기 제1이송암에 의해 로딩/언로딩되는 기판을 제외한 나머지 기판을 로딩 또는 언로딩한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
대기압 반송 로봇 내에서 하부이송암과 상부이송암이 캐리어에 적재된 기판의 위치(최하층 여부) 및 제1이송암의 처리 여부에 따라 분담하여 기판을 이송하는 메커니즘을 정의하고 있다.