진공 리플로우 장치 document_id 1020090013586

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 웨이퍼는 보트에 올려진 보트 온 웨이퍼의 상태로 상기 웨이퍼 척에 올려지되, 상기 보트는, 웨이퍼 안착부와, 상기 웨이퍼를 상기 보트로부터 분리하기 위해 상기 웨이퍼 안착부의 안쪽에 형성된분리구멍포함하는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 히터는 상기 챔버에 들어온 상기 웨이퍼 척의 아래에 위치하도록설치된것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 4] 청구항 1에 있어서,상기 차폐벽의 전방에는 상기 웨이퍼 척이 결합되고 상기 차폐벽의 후방에는 상기 개구부의 개폐를 위해 상기 차폐벽을 전진 또는 후퇴시키는액츄에이터결합된것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 5] 청구항 4에 있어서,상기 척유닛은, 상기 차폐벽에 결합된 채 상기 웨이퍼 척의 아래에 인접되게 위치하여, 냉각물질을 상기 웨이퍼 척에 가하는냉각관더포함하는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 6] 청구항 4에 있어서,상기 척유닛은 상기 차폐벽에 결합된 채 베드의 가이드를 따라 슬라이딩되는슬라이딩블록더포함하는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 7] 청구항 1에 있어서,주 공급관을 통해 상기 챔버에 포믹산, 질소 및 그들의 혼합물 중 어느 하나를 선택적으로 공급하기 위한 포믹산-질소공급유닛더포함하는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기 포믹산-질소 공급유닛은, 포믹산 액이 담긴 채 상기 주 공급관에 관로로 연결되는 버블링 용기와, 포믹산-질소 버블링을 일으키기 위해 상기 버블링 용기 내로 버블링 질소를 공급하는버블링질소공급관포함하는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 9] 청구항 8에 있어서,상기 주 공급관은 자체 구비된 밸브 개폐에 의해 질소의 흐름을 선택적으로 허용하며, 상기 질소의 선택적 공급 및 그에 의한 질소와 포믹산의 혼합에 의해 포믹산의 농도를 조절하도록구성된것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 10] 청구항 7에 있어서,상기 챔버하우징은 다수의 샤워홀을 구비한 채 상기 챔버의 상측에 설치된 샤워헤드를 포함하며, 상기 포믹산은 상기 다수의 샤워홀을 통해상기챔버분사되는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 11] 청구항 2에 있어서,상기 보트온 웨이퍼 또는 상기 보트를 파지하여 운반하기 위한 보트 핑거와, 상기 보트로부터 분리되어 있는 웨이퍼를 흡착하여 운반하기 위한 웨이퍼암이 구비된로봇유닛더포함하는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 12] 청구항 11에 있어서,상기 보트온 웨이퍼를 복수의 개수로 보관 가능한 보트 카세트를 더 포함하되, 상기 로봇유닛은 상기 보트 핑거를 이용해 상기 보트 카세트의 해당 슬롯으로부터 상기 보트 온 웨이퍼를 꺼내어상기웨이퍼척작동되는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 13] 청구항 12에 있어서,상기 챔버유닛에서 리플로우 솔더링을 거친 후 이동된 상기 보트 온 웨이퍼로부터 상기 보트와 상기 웨이퍼를 분리하기 위한 보트 분리유닛을 더 포함하며, 상기 보트 분리유닛은, 상기 보트 온 웨이퍼를 받치는 받침 블록과, 상기 받침 블록의 중앙에서 상기 보트의 분리 구멍 위까지 상승하여 상기 웨이퍼를 보트로부터 이격 분리시키는중앙핀들포함하는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 14] 청구항 12에 있어서,상기 보트와 분리된 상태의 웨이퍼가 보관되는웨이퍼카세트더포함하는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 15] 청구항 12에 있어서,상기 보트온 웨이퍼로부터 상기 웨이퍼와 분리된 상기 보트의 보관을 위한보트보관소더포함하는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 16] 청구항 12에 있어서,상기 로봇유닛은 상기 보트 카세트의 해당 슬롯에 상기 보트 온 웨이퍼가 있는지를 감지하는매핑센서더포함하는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 17] 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서,상기 히터는할로겐램프인것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 18] 청구항 9에 있어서,상기 포믹산-질소 공급유닛은, 상기 챔버 내 웨이퍼 냉각을 위해 포믹산 공급을 차단하고 상기 주 공급관을 통해 질소를 상기 챔버 내에 공급하도록구성된것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 19] 청구항 12에 있어서,발명의 다른 실시예에 따른 진공 리플로우 장치는, 보트 분리유닛을 생략하는 대신, 챔버유닛에서 리플로우 솔더링을 거친 후 이동된 보트 온 웨이퍼로부터 상기 보트와 상기 웨이퍼를 분리하고, 분리된 보트만을 보관하는 보트 보관소를 더 포함하며, 상기 보트 보관소는 보트 온 웨이퍼가 위치하는 바닥 플레이트의 중앙에서 상기 보트의 분리 구멍 위까지 상승하여 상기 웨이퍼를 보트로부터 이격 분리시키는중앙핀포함하는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치. [청구항 20] 청구항 19에 있어서,상기 보트 보관소는 상기 웨이퍼가 분리된 보트를 상승 유지시키기 위한에지핀들더포함하는것을특징으로 하는진공 리플로우 장치.