문맥 (context)
[청구항 1]
웨이퍼를 이송시키기 위하여 상기 웨이퍼의 하부에 배치되는 이송 블레이드; 및
상기 이송 블레이드의 상부면에 체결되어 상기 웨이퍼를 지지하며, 상기 웨이퍼의 스크래치(scratch) 불량을 방지하기 위하여 상기 웨이퍼보다 경도가 낮은 물질로 이루어진 다수의 지지핀들을 포함하는 지지 유닛
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 지지핀들은 이트리아(y2o3)재질포함하는것을특징으로 하는지지 유닛.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 이송 블레이드는 상부면에 상기 지지핀들 각각이 삽입되는삽입홀들갖는것을특징으로 하는지지 유닛.
[청구항 4]
제3항에 있어서,삽입홀의 안쪽에는 각 지지핀을 상기 이송 블레이드에 접착시키기 위한접착물질도포된것을특징으로 하는지지 유닛.
[청구항 5]
제3항에 있어서,지지핀은 상기 삽입홀에 삽입될 때 상기 삽입홀 내에 잔존하는 에어를 수용하기 위하여 중심 부위에에어홀갖는것을특징으로 하는지지 유닛.
[청구항 6]
제3항에 있어서,지지핀은 각 삽입홀에 나사산들을 통해체결되는것을특징으로 하는지지 유닛.
[청구항 7]
제3항에 있어서,지지핀은 각 삽입홀을 관통하여 상기 이송 블레이드의 하부면에서 너트를 통해나사체결되는것을특징으로 하는지지 유닛.
[청구항 8]
제1항에 있어서,지지핀은 상기 이송 블레이드와의 사이에서 열압착을 통하여 생성된 상변이층에 의해서체결되는것을특징으로 하는지지 유닛.
[청구항 9]
제8항에 있어서,상기 지지핀이 이트리아(y2o3) 재질로 이루어지고, 상기 이송 블레이드가 알루미나(al2o3) 재질로 이루어질 경우, 상기 상변이층은 이트륨 알루미늄 가닛(yttrium aluminum garnet)재질생성되는것을특징으로 하는지지 유닛.
[청구항 10]
제1항에 있어서,상기 이송 블레이드는 상부면에 돌기들을 갖고, 각 지지핀은 각 돌기가 삽입되는 삽입홀을 갖고, 상기 돌기는 상기 삽입홀에 나사산들을 통해체결되는것을특징으로 하는지지 유닛.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 삽입홀의 안쪽에는 상기 돌기를 상기 지지핀에 접착시키기 위한접착물질도포된것을특징으로 하는지지 유닛.
[청구항 12]
제1항에 있어서,상기 지지핀들은 상기 이송 블레이드의 에지 부위에체결되고, 상기 이송 블레이드는 중심 부위에 상기 웨이퍼를 흡입하기 위한흡입홀갖는것을특징으로 하는지지 유닛.
[청구항 13]
웨이퍼를 이송시키기 위하여 상기 웨이퍼의 하부에 배치되며, 중앙 부위에 개구를 갖는 이송 블레이드; 및
상기 개구에서 상기 이송 블레이드와 결합하고, 상기 웨이퍼를 지지하기 위하여 상부면으로부터 돌출된 다수의 돌출부들을 가지며, 상기 웨이퍼의 스크래치(scratch) 불량을 방지하기 위하여 상기 웨이퍼보다 경도가 낮은 물질로 이루어진 지지판을 포함하는 지지 유닛
[청구항 14]
제13항에 있어서,상기 지지판은 이트리아(y2o3)재질포함하는것을특징으로 하는지지 유닛.
[청구항 15]
제13항에 있어서,상기 이송 블레이드와 상기 지지판 각각의 결합하는 부위는 상기 지지판과 평행하면서 서로 마주하는 제1 및 제2 면들과 상기 지지판과 수직하면서 서로 마주하는 제3 및 제4 면들을 갖도록 단차를 이루며,상기 제3 및 제4 면들은 서로 이격되고, 상기 제1 및 제2 면들은 접착 물질을 사이에 도포하여결합되는것을특징으로 하는지지 유닛.
[청구항 16]
챔버의 입구를 통해 상기 챔버의 내부 및 외부에서 작동하는 이송암
상기 이송암과 결합하여 상기 이송암에 구동력을 제공하는 구동 몸체; 및
상기 이송암의 단부에 장착되며, 상기 이송암의 작동을 통해 웨이퍼를 이송시키기 위하여 상기 웨이퍼를 지지하는 지지 유닛을 포함하고,
상기 지지 유닛은,
상기 이송암과 연결되며, 상기 이송암의 작동을 통해 상기 웨이퍼의 하부로 이동하는 이송 블레이드; 및
상기 이송 블레이드의 상부면에 체결되어 상기 웨이퍼를 지지하며, 상기 웨이퍼의 스크래치(scratch) 불량을 방지하기 위하여 상기 웨이퍼보다 경도가 낮은 물질로 이루어진 다수의 지지핀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치
[청구항 17]
챔버의 입구를 통해 상기 챔버의 내부 및 외부에서 작동하는 이송암
상기 이송암과 결합하여 상기 이송암에 구동력을 제공하는 구동 몸체; 및
상기 이송암의 단부에 장착되며, 상기 이송암의 작동을 통해 웨이퍼를 이송시키기 위하여 상기 웨이퍼를 지지하는 지지 유닛을 포함하고,
상기 지지 유닛은,
상기 이송암과 연결되며, 상기 이송암의 작동을 통해 상기 웨이퍼의 하부로 이동하는 이송 블레이드; 및
상기 개구에서 상기 이송 블레이드와 결합하고, 상기 웨이퍼를 지지하기 위하여 상부면으로부터 돌출된 다수의 돌출부들을 가지며, 상기 웨이퍼의 스크래치(scratch) 불량을 방지하기 위하여 상기 웨이퍼보다 경도가 낮은 물질로 이루어진 지지판을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
지지 유닛의 구성 요소 중 지지핀이 이트리아(y2o3) 재질이고 이송 블레이드가 알루미나(al2o3) 재질일 때, 두 구성 요소 사이에서 열압착을 통해 생성되는 상변이층은 어떠한 재질로 구성되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation지지핀이 이트리아(y2o3)이고 이송 블레이드가 알루미나(al2o3)일 때, 열압착으로 생성되는 상변이층의 재질을 찾는 것이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 9에서 지지핀의 재질(이트리아), 이송 블레이드의 재질(알루미나), 그리고 상변이층의 재질에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 지지핀이 이트리아(y2o3) 재질로 이루어지고, 상기 이송 블레이드가 알루미나(al2o3) 재질로 이루어질 경우, 상기 상변이층은 이트륨 알루미늄 가닛(yttrium aluminum garnet)재질생성되는것을특징으로 하는지지 유닛
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3근거 선택
evidence_selection질문 조건과 일치하는 청구항 9의 구절을 근거로 선택한다.
- 상기 상변이층은 이트륨 알루미늄 가닛(yttrium aluminum garnet)재질생성되는것을특징으로 하는지지 유닛
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4논리 통합
logical_integration지지핀(y2o3)과 이송 블레이드(al2o3)가 열압착될 때 상변이층이 이트륨 알루미늄 가닛(yttrium aluminum garnet)이 된다는 인과관계를 확인한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation상변이층의 재질은 이트륨 알루미늄 가닛(yttrium aluminum garnet)이다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 재질 명칭을 최종 답변으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
이트륨 알루미늄 가닛(yttrium aluminum garnet)
핵심 해석 (core_interpretation)
이트리아 재질의 지지핀과 알루미나 재질의 이송 블레이드가 열압착될 때, 두 물질의 반응을 통해 이트륨 알루미늄 가닛 성분의 상변이층이 형성되어 체결력을 제공함을 의미한다.