솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼장치 document_id 1020090022416

[청구항 2] 제 1 항에 있어서,픽커수평이송유닛(52)은 2개의 매거진(m)과 1개의 보우트(b) 내에 각각 길이방향으로 설치되는 수평가이드바(56)와;상기 수평가이드바(56)의 배면에 설치된 상태로 매거진(m)과 보우트(b)의 각 내부 상단 일측에 고정되며, 상기 수평가이드바(56)를 지지하는 수평바지지프레임(57)과;상기 수평가이드바(56)의 일측에 이웃하게 설치되며, 회전축 일단에 구동풀리(53a)를 갖는 구동모터(53)와;상기 수평가이드바(56) 내에 삽착된 상태로 돌출된 일단에 종동풀리(54a)를 구비하면서 연결벨트(55)에 의해 구동모터(53)와 연결되며, 벨트전동방식을 통해 전달된 모터(53)의 회전력에 따라 회전하는 볼스크류(54)와;상기 볼스크류(54)에 결합된 상태로 지지프레임(60)의 배면(背面)에 고정되며, 모터(53) 구동에 의한 볼스크류(54)의 회전에 따라 상기 매거진(m)측 픽커(85a,87a)와 보우트(b)측 픽커(85b,87b)가 각각 설치된 지지프레임(60)을 수평이송시키는 수평이송브라켓(59)과;상기 지지프레임(60)의 배면(背面)과 수평바지지프레임(57)의 하단에 양단이 고정되며, 모터(53) 구동에 따라 수평이송되는 각 지지프레임(60)의 이송거리 제한 및 전선을 보호하도록 다수의 중공 사각브라켓과 중공 사각브라켓을 힌지로 결합하여 일렬로 연결한 사각띠 형태로 형성된롤브라켓구성된것을특징으로 하는솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치. [청구항 3] 제 2 항에 있어서,수평이송브라켓(59)은 볼스크류(54)에 결합되는 이송너트블록(58)과 체결됨과 동시에 수평가이드바(56)의 전면(前面)에 위치되어 상기 수평가이드바(56)의 전면(前面)에 슬라이드 가능하게 삽착되도록 전체형상이 "ㅛ"자 형태로 형성되며, 그 전면(前面) 중앙에 요(凹) 형태의 슬라이드홈(59a)이 형성되고,상기 슬라이드홈(59a)의 중앙에는 볼스크류(54)와 결합되기 위한 암나사홀이 구비된 이송너트블록(58)이설치고정된것을특징으로 하는솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치. [청구항 4] 제 1 항에 있어서,픽커승강유닛(65)은 지지프레임(60)의 배면(背面) 하단 중앙에 지지 고정되며, 회전축 일단에 구동풀리(66a)를 갖는 구동모터(66)와;상기 지지프레임(60)의 전면(前面) 양측에 고정되는 수직가이드레일(71)과;상기 지지프레임(60)의 전면(前面) 중앙에 축고정브라켓(69)에 의해 고정된 양단 중 일단에 종동풀리(67a)를 구비하면서 연결벨트(68)에 의해 구동모터(66)와 연결되며, 벨트전동방식을 통해 전달된 모터(66)의 회전력에 따라 회전하는 볼스크류(67)와;상기 볼스크류(67)와 결합된 상태로 연결브라켓(64)의 배면(背面)에 고정되며, 모터(66) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(67)와 결합된 이송너트블록(70)의 상하이송작용을 통해 픽커유닛(74)이 고정된 연결브라켓(64)을 승하강시키는 승강브라켓(73)과;상기 볼스크류(67)와 상호 결합된 상태로 승강브라켓(73)의 배면(背面) 중앙에 고정되며, 모터(66) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(67)를 따라 상하 이송되면서 승강브라켓(73)을 승하강시키는 이송너트블록(70)과;상기 수직가이드레일(71)과 상호 결합된 상태로 승강브라켓(73)의 배면(背面) 좌우 양측에 고정되며, 모터(66) 구동에 의한 볼스크류(67)의 회전에 따라 이송너트블록(70)과 함께 승하강하는 승강브라켓(73)의 이송작용을 안내하는 슬라이드부재(72)와;상기 지지프레임(60)의 일측면과 연결브라켓(64)의 일측면에 양단이 각각 고정되며, 모터(66) 구동에 따라 상하이송되는 각 연결브라켓(64)의 이송거리 제한 및 전선을 보호하도록 다수의 중공 사각브라켓과 중공 사각브라켓을 힌지로 결합하여 일렬로 연결한 사각띠 형태로 형성된롤브라켓구성된것을특징으로 하는솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치. [청구항 5] 제 4 항에 있어서,상기 지지프레임(60)은 전체형상이 "ㄷ"자 형태로 형성되되, 그 전면(前面) 양측벽에는 수직가이드레일(71)을 고정시키기 위한 레일안착부(62)가 형성되고,상기 승강브라켓(73)은 전체형상이 전면(前面)에 보호커버(63)를 설치하기 위한 커버삽입홈(73a)이 형성된 "ㄷ"자형태형성된것을특징으로 하는솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치. [청구항 6] 제 1 항에 있어서,픽커유닛(74)은 각 연결브라켓(64)의 상단에 매거진(m)측 고정픽커(85a)와 보우트(b)측 고정픽커(85b)를 각각 상호 이격된 상태로 고정시키는 2개의 고정프레임(75)과;상기 각 고정프레임(75)의 상단에 각각 고정되며, 하나 이상의 슬롯(86a,86b)이 등간격으로 형성됨과 동시에 2개씩 1조로 하여 매거진(m)측과 보우트(b)측으로 구분되는 2개조의 고정픽커(85a,85b)와;상기 2개조로 이루어진 매거진(m)측 고정픽커(85a) 사이와 보우트(b)측 고정픽커(85b) 사이에 각각 설치되며, 모터 구동에 따라 어느 한 방향으로 각각 수평이송됨으로써 상기 각 고정픽커(85a,85b)의 슬롯(86a,86b)에 삽입된 웨이퍼(w)의 타면을 가압하고, 이의 작용과 연동되어 상기 웨이퍼(w)의 일면이 각 고정픽커(85a,85b)의 슬롯(86a,86b) 측벽에 지지되면서 상기 각 고정픽커(85a,85b)의 슬롯(86a,86b)에 삽입된 웨이퍼(w)를 안정되게 파지토록 하는 하나 이상의 슬롯(88a,88b)이 등간격으로 형성된 2개의 이송픽커(87a,87b)와;상기 각 고정픽커(85a,85b)의 하단 내측에 고정되며, 이송픽커(87a,87b)를 각각 고정 지지하는 2개의 지지바(84)와;상기 각 지지바(84)의 하단에 고정되며, 모터(78) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(80)와 결합된 이송너트블록(81)과 함께 동일방향으로 이송되면서 지지바(84) 및 이송픽커(87a,87b)를 수평이송시키는 이송바(83)와;상기 이송바(83)의 하단에 위치되며, 구동모터(78)를 고정 지지하는 모터고정블록(77)과;상기 모터고정블록(77)의 일단에 고정되며, 고정픽커(85a,85b) 사이에 설치된 이송픽커(87a,87b)를 수평이송시키기 위한 구동모터(78); 및 이의 일단에 연결된 볼스크류(80)와;상기 볼스크류(80)에 결합된 상태로 모터고정블록(77)의 일측 상단과 이송바(83)의 하단 사이에 설치되며, 모터(78) 구동에 의해 회전하는 볼스크류(80)를 따라 이송되면서 이송바(83), 지지바(84) 및 이송픽커(87a,87b)를 수평이송시키는 이송너트블록(81)과;상기 이송너트블록(81)과 모터고정블록(77)의 일단 사이에 설치되며, 모터(78) 구동에 의한 볼스크류(80)의 회전에 따라 수평이송하는 이송너트블록(81)을 안내하는 가이드블록(82)과;상기 모터고정블록(77) 하단에 고정된 상태로 각 고정프레임(75)의 내측면에 고정되며, 모터고정블록(77)을 지지하는베이스판구성된것을특징으로 하는솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치. [청구항 7] 제 6 항에 있어서,상기 2개의 매거진(m) 내에 설치되는 픽커유닛(74)의 고정픽커(85a)는 상단 좌우 양측면이 삼각형태로 경사진 등간격의 톱니형태로 형성되어 웨이퍼(w)를 사각형태로 취부하도록 형성되고,상기 보우트(b) 내에 설치되는 픽커유닛(74)의 고정픽커(85b)는 상단 좌우 양측면이 삼각형태로 경사짐과 동시에 상기 상단 내측으로부터 외측으로 경사진 등간격의 톱니형태로 형성되어 웨이퍼(w)를 마름모형태로 취부하도록형성된것을특징으로 하는솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치. [청구항 8] 제 6 항에 있어서,상기 이송너트블록(81)은 전체형상이 사각블록체로 형성되되, 그 일측에는 가이드블록(82)이 삽입되기 위한 공간부가 형성되어 있고, 상기 공간부 후단으로부터 볼스크류(80)가 결합되기 위한 암나사홀이관통형성된것을특징으로 하는솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치. [청구항 9] 제 6 항에 있어서,상기 이송바(83)의 일측 저면(底面)과 상기 베이스판(76)의 일측 상단에는 상호 슬라이드 가능하게 고정되어 모터(78) 구동에 의해 회전되는 볼스크류(80)를 따라 이송되는 이송너트블록(81)과 이송바(83)의 수평이송작용을 감지하는감지센서더구비된것을특징으로 하는솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치. [청구항 10] 제 6 항에 있어서,상기 구동모터(78)의 일단에는 정전 시 상기 구동모터(78)를 수동으로 회전시켜 이송너트블록(81)과 이송바(83)를 수평이송시키기 위한수동레버더구비된것을특징으로 하는솔라 셀 웨이퍼 트랜스퍼 시스템의 엘리베이터 및 트랜스퍼 장치.