문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,후진축(111)과 회전축(112)이 동일 축선상에 직선 배치되어 상기 스크류 구조(113)에 의해결합되는것을특징으로 하는선형 구동 샤프트 일체형 자성 유체 씰 장치.
[청구항 3]
청구항 2에 있어서,상기 스크류 구조(113)는 상기 전후진축(111)과 회전축(112)에 암수 구조로 결합되는 암 스크류부(113a)와 수 스크류부(113b)를 형성하고, 상기 암 스크류부(113a)의 외주면과 수 스크류부(113b)의 내주면에 각각 나사선을 가공하여 암 스크류부(113a)와 수 스크류부(113b)를 나사 결합하여구성되는것을특징으로 하는선형 구동 샤프트 일체형 자성 유체 씰 장치.
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,상기 가이드부재(140)가 상기 전후진축(111)이 출입하는 하우징(120)의선단부결합되는것을특징으로 하는선형 구동 샤프트 일체형 자성 유체 씰 장치.
[청구항 5]
청구항 4에 있어서,상기 하우징(120)은 상기 전후진축(111)의 후단부, 스크류 구조(113), 회전축(112)및자성유체씰설치되는것을특징으로 하는선형 구동 샤프트 일체형 자성 유체 씰 장치.
[청구항 6]
청구항 4에 있어서,상기 가이드부재(140)는 장착 위치에 결합되는 부분인 플랜지부(141)와, 관 구조로 형성되어 전후진축(111)이 내부를 통과함으로써 상기 전후진축(111)의 전후진 안내 및 회전 구속을 수행하는 관부(142)가 일체 형성되어구성되는것을특징으로 하는선형 구동 샤프트 일체형 자성 유체 씰 장치.
[청구항 7]
청구항 6에 있어서,상기 관부(142)에는 상기 전후진축(111)에 설치된 가이드핀(111a)이 삽입되어 안내되는 슬릿(142a)이 축방향을 따라 길게 형성되고, 상기 가이드핀(111a) 및 슬릿(142a)에 의해 전후진축(111)의 전후진안내및회전구속이루어지는것을특징으로 하는선형 구동 샤프트 일체형 자성 유체 씰 장치.
[청구항 8]
청구항 1에 있어서,상기 하우징(120)이 상기 자성 유체 씰(130) 주위만을 감싸도록 설치되고, 상기 가이드부재(140)는 샤프트(110)가 챔버(2) 내에 삽입된 상태에서챔버내구조물또는챔버부속품장착되는것을특징으로 하는선형 구동 샤프트 일체형 자성 유체 씰 장치.
[청구항 9]
청구항 8에 있어서,상기 가이드부재(140)는 장착 위치에 결합되는 부분인 플랜지부(141)와, 관 구조로 형성되어 전후진축(111)이 내부를 통과함으로써 상기 전후진축(111)의 전후진 안내 및 회전 구속을 수행하는 관부(142)가 일체 형성되어구성되는것을특징으로 하는선형 구동 샤프트 일체형 자성 유체 씰 장치.
[청구항 10]
청구항 9에 있어서,상기 관부(142)에는 상기 전후진축(111)에 설치된 가이드핀(111a)이 삽입되어 안내되는 슬릿(142a)이 축방향을 따라 길게 형성되고, 상기 가이드핀(111a) 및 슬릿(142a)에 의해 전후진축(111)의 전후진안내및회전구속이루어지는것을특징으로 하는선형 구동 샤프트 일체형 자성 유체 씰 장치.
[청구항 11]
청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,상기 자성 유체 씰 장치는 이온주입설비에서 매니퓰레이터의 포커싱 기능을 위한 샤프트 업/다운기구인것을특징으로 하는선형 구동 샤프트 일체형 자성 유체 씰 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
선형 구동 샤프트 일체형 자성 유체 씰 장치에서 전후진축(111)의 전후진 안내 및 회전 구속을 수행하기 위해 가이드부재(140)의 관부(142)와 전후진축(111) 사이에 상호작용하는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation가이드부재(140)의 관부(142)와 전후진축(111) 사이에서 전후진 안내 및 회전 구속을 위해 상호작용하는 구성 요소를 찾는다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 7과 10에서 관부(142) 내의 슬릿(142a)과 전후진축(111)에 설치된 가이드핀(111a)의 관계를 추출한다.
- 상기 관부(142)에는 상기 전후진축(111)에 설치된 가이드핀(111a)이 삽입되어 안내되는 슬릿(142a)이 축방향을 따라 길게 형성되고, 상기 가이드핀(111a) 및 슬릿(142a)에 의해 전후진축(111)의 전후진안내및회전구속이루어지는것
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 상호작용의 주체인 가이드핀(111a)과 슬릿(142a)에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 가이드핀(111a) 및 슬릿(142a)에 의해 전후진축(111)의 전후진안내및회전구속이루어지는것
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4논리 통합
logical_integration관부(142)에 형성된 슬릿(142a)에 전후진축(111)의 가이드핀(111a)이 삽입됨으로써 두 구성 요소가 상호작용하여 안내 및 구속 기능을 수행함을 파악한다.
- 상기 관부(142)에는 상기 전후진축(111)에 설치된 가이드핀(111a)이 삽입되어 안내되는 슬릿(142a)이 축방향을 따라 길게 형성되고
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5결론 도출
conclusion_formulation상호작용하는 구성 요소는 가이드핀(111a)과 슬릿(142a)임을 결론짓는다.
- 상기 가이드핀(111a) 및 슬릿(142a)에 의해 전후진축(111)의 전후진안내및회전구속이루어지는것
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6답변 생성
answer_generation추출된 구성 요소를 질문에 맞게 답변 형식으로 작성한다.
- 상기 가이드핀(111a) 및 슬릿(142a)
최종 답변 (final_answer)
가이드핀(111a) 및 슬릿(142a)
핵심 해석 (core_interpretation)
가이드부재의 관부에 형성된 슬릿과 전후진축에 설치된 가이드핀의 결합을 통해 샤프트의 직선 운동 안내와 회전 방지 기능을 구현한다.