문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 상부 챔버케이스 및 하부 챔버케이스는,일면이 각각 개방된 내부 공간구비하여 이루어지는임프린트 장치.
[청구항 3]
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 상부 챔버케이스 및 하부 챔버케이스는,스크류 잭 또는 실린더의 동력을 전달받아서 서로 결합하거나 결합 상태가 분리되도록 셋팅되는임프린트 장치.
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,상기 스테이지는,판상의 진공척 또는 정전척 중에서 어느 하나사용하는임프린트 장치.
[청구항 5]
청구항 1에 있어서,상기 스템프는,임프린트면을 구비하고, 이 임프린트면으로 기판의 일면을 누를 수 있도록 상기 상부 챔버케이스 내측배치되는임프린트 장치.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기 임프린트 장치는,고정용 홀더를 더 포함하며,상기 고정용 홀더는,판상의 진공척 또는 정전척 중에서 어느 하나를 사용하고,상기 기판을 향하여 상기 스템프를 자연 낙하시키거나 기판으로부터 들어올릴 수 있도록 상기 챔버 상설치되는임프린트 장치.
[청구항 7]
청구항 1에 있어서,상기 임프린트 장치는,분리용 홀더를 더 포함하며,상기 분리용 홀더는,봉 형상의 흡착기들로 구성되며,상기 스템프의 가장자리 부분을 기판으로부터 들어올릴 수 있도록 상기 챔버 상설치되는임프린트 장치.
[청구항 8]
청구항 1에 있어서,상기 위치정렬수단은,상기 상부 챔버케이스와 하부 챔버케이스의 결합 위치를 가이드하는 가이드부;상기 프레임 상에서 상기 상부 챔버케이스 또는 하부 챔버케이스를 위치 정렬이 가능한 상태로 잡아주는 연결부포함하는임프린트 장치.
[청구항 9]
청구항 8에 있어서,상기 가이드부는,가이드핀과, 이 가이드핀이 끼워지는 가이드홈을 구비한 핀하우징으로 구성되며,상기 상부 챔버케이스와 하부 챔버케이스의 결합 방향으로 끼움 결합이 가능하도록 상기 챔버케이스들 측설치되는임프린트 장치.
[청구항 10]
청구항 8에 있어서,상기 연결부는,제1 접촉판을 구비한 제1 연결브라켓트와, 이 제1 연결브라켓트의 제1 접촉판과 대응하는 제2 접촉판을 구비한 제2 연결브라켓트로 구성되며,상기 제1 접촉판과 제2 접촉판이 걸림 접촉 상태로 연결되면서 상기 상부 챔버케이스 또는 하부 챔버케이스를 상기 프레임 상에서 위치 정렬이 가능한 상태로연결고정하는것을특징으로 하는임프린트 장치.
[청구항 11]
청구항 1 또는 청구항 8에 있어서,상기 위치정렬수단은,슬라이드부재를 더 포함하며,상기 슬라이드부재는,합성수지 블록을 사용하고,상기제1접촉판과제2접촉판을접촉면사이설치되는것을특징으로 하는임프린트 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
임프린트 장치의 위치정렬수단 중 가이드부는 어떠한 구성요소로 이루어져 있으며, 상부 챔버케이스와 하부 챔버케이스에 어떻게 설치되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation임프린트 장치의 위치정렬수단 중 가이드부의 구성요소와 상부/하부 챔버케이스에 대한 설치 방식을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 9에서 가이드부의 구성요소와 설치 위치에 관한 정보를 확인한다.
- 가이드부는,가이드핀과, 이 가이드핀이 끼워지는 가이드홈을 구비한 핀하우징으로 구성되며,상기 상부 챔버케이스와 하부 챔버케이스의 결합 방향으로 끼움 결합이 가능하도록 상기 챔버케이스들 측설치되는
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3근거 선택
evidence_selection가이드부의 구성요소인 '가이드핀'과 '핀하우징' 및 설치 방식인 '챔버케이스들 측설치' 구절을 선택한다.
- 가이드부는,가이드핀과, 이 가이드핀이 끼워지는 가이드홈을 구비한 핀하우징으로 구성되며,상기 상부 챔버케이스와 하부 챔버케이스의 결합 방향으로 끼움 결합이 가능하도록 상기 챔버케이스들 측설치되는
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4논리 통합
logical_integration가이드부는 가이드핀과 핀하우징으로 이루어져 있으며, 상부 및 하부 챔버케이스의 측면에 설치되어 결합 방향으로 끼움 결합이 가능하도록 구성됨을 통합한다.
- 가이드부는,가이드핀과, 이 가이드핀이 끼워지는 가이드홈을 구비한 핀하우징으로 구성되며,상기 상부 챔버케이스와 하부 챔버케이스의 결합 방향으로 끼움 결합이 가능하도록 상기 챔버케이스들 측설치되는
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 직접적인 답변을 구성요소와 설치 위치를 포함하여 정리한다.
- 가이드부는,가이드핀과, 이 가이드핀이 끼워지는 가이드홈을 구비한 핀하우징으로 구성되며,상기 상부 챔버케이스와 하부 챔버케이스의 결합 방향으로 끼움 결합이 가능하도록 상기 챔버케이스들 측설치되는
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 가이드부는,가이드핀과, 이 가이드핀이 끼워지는 가이드홈을 구비한 핀하우징으로 구성되며,상기 상부 챔버케이스와 하부 챔버케이스의 결합 방향으로 끼움 결합이 가능하도록 상기 챔버케이스들 측설치되는
최종 답변 (final_answer)
가이드부는 가이드핀과 이 가이드핀이 끼워지는 가이드홈을 구비한 핀하우징으로 구성되며, 상부 챔버케이스와 하부 챔버케이스의 결합 방향으로 끼움 결합이 가능하도록 상기 챔버케이스들 측에 설치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
임프린트 장치의 위치정렬을 위해 가이드핀과 핀하우징을 이용한 가이드부를 구성하고, 이를 챔버케이스 측면에 설치하여 결합 시 정밀한 위치 정렬이 가능하도록 하는 기술이다.