문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 스템프는,임프린트면을 구비하고, 상기 스테이지 측에 로딩된기판을상기임프린트면으로누를수배치되는임프린트 장치.
[청구항 3]
청구항 1에 있어서,상기 스테이지는,판상의 진공척 또는 정전척 중에서 어느 하나사용하는임프린트 장치.
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,상기 이송부는,상기 스테이지를 밀거나 당기면서 승,하강시킬 수 있는 이송부재로 구성되며,상기 이송부재는,스크류 잭사용하는임프린트 장치.
[청구항 5]
청구항 1에 있어서,상기 틸팅부재들은,스크류 잭을 사용하고 밀거나 당기면서 틸팅할 수 있도록 상기 스테이지연결되는임프린트 장치.
[청구항 6]
청구항 1 또는 청구항 5에 있어서,상기 틸팅부재들은,상기 스테이지의 저면을 지지하는 상태로 복수 개의 지점연결되는임프린트 장치.
[청구항 7]
청구항 1 또는 청구항 5에 있어서,상기 틸팅부재들은,상기 이송부의 연결 지점과 각각 떨어져서 상기 스테이지 저면의 세군데지점연결되는것을특징으로 하는임프린트 장치.
[청구항 8]
청구항 1에 있어서,상기 감지부는,위치감지센서들로 구성되며,상기 위치감지센서들은,상기 스테이지 상에서상기틸팅부의연결지점들대응하도록설치되는임프린트 장치.
[청구항 9]
청구항 8에 있어서,상기 위치감지센서들은,레이져변위센서를 사용하고,상기 스테이지 상에서 상기 챔버 내부면을 향하여 레이져를 조사 및 수광하면서 상기 스테이지의 평행도를 감지할 수설치되는것을특징으로 하는임프린트 장치.
[청구항 10]
청구항 1에 있어서,상기 틸팅구동부는,틸팅을 위한 동력을 발생하는 구동원;상기 구동원과 상기 틸팅부재들 사이를 각각 동력 전달이 가능하게 연결하는 구동축들;상기 구동축들의 연결구간 상에서 상기 틸팅부재들과 대응하는 동력전달구간을 연결하거나 연결 상태를 해제할 수 있도록 설치되는 클러치들포함하는임프린트 장치.
[청구항 11]
청구항 1에 있어서,상기 틸팅구동부는,틸팅을 위한 동력을 발생하는 복수 개의 구동원들로 구성되며,상기 복수 개의 구동원들은,상기 틸팅부의 각 틸팅부재들과 대응하여 동력 전달이 가능한상태직접연결되는것을특징으로 하는임프린트 장치.
[청구항 12]
청구항 1에 있어서,상기 틸팅부는,상기 스테이지와 상기 틸팅부재들의 연결 지점을 각도 및 위치 변화가 가능한 상태로 연결하는 연결부재를 더 포함하며,상기 연결부재는,볼 조인트 또는 유니버셜 조인트, lm가이드구성되는것을특징으로 하는임프린트 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
임프린트 장치의 틸팅구동부는 어떠한 구성요소들을 포함하며, 각 구성요소의 역할은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation임프린트 장치의 틸팅구동부를 구성하는 요소와 각 요소의 역할을 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10을 통해 틸팅구동부의 구성요소인 구동원, 구동축들, 클러치를 확인한다.
- 상기 틸팅구동부는,틸팅을 위한 동력을 발생하는 구동원;상기 구동원과 상기 틸팅부재들 사이를 각각 동력 전달이 가능하게 연결하는 구동축들;상기 구동축들의 연결구간 상에서 상기 틸팅부재들과 대응하는 동력전달구간을 연결하거나 연결 상태를 해제할 수 있도록 설치되는 클러치들포함하는
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3근거 선택
evidence_selection틸팅구동부의 구성과 역할을 명시한 청구항 10의 구절을 선택한다.
- 틸팅을 위한 동력을 발생하는 구동원;상기 구동원과 상기 틸팅부재들 사이를 각각 동력 전달이 가능하게 연결하는 구동축들;상기 구동축들의 연결구간 상에서 상기 틸팅부재들과 대응하는 동력전달구간을 연결하거나 연결 상태를 해제할 수 있도록 설치되는 클러치들
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4논리 통합
logical_integration추출된 각 구성요소와 그에 기술된 기능을 매칭하여 정리한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation구동원은 동력 발생, 구동축은 동력 전달, 클러치는 연결/해제 역할을 수행함을 도출한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 따라 구성요소와 역할을 리스트 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
- 구동원: 틸팅을 위한 동력을 발생시킴
- 구동축들: 구동원과 틸팅부재들 사이를 각각 동력 전달이 가능하게 연결함
- 클러치들: 구동축들의 연결구간 상에서 틸팅부재들과 대응하는 동력전달구간을 연결하거나 연결 상태를 해제함
핵심 해석 (core_interpretation)
임프린트 장치의 틸팅구동부는 구동원, 구동축, 클러치를 통해 동력을 발생시키고 전달하며, 필요에 따라 동력 전달 구간을 연결 또는 해제할 수 있는 구조를 가진다.