문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 프레임은,상기 회동이송부의 회동 이송 구간과 대응하는모양의외부둘레갖는것을특징으로 하는기판세정장치.
[청구항 3]
청구항 1에 있어서,상기 스테이지부는,기판 사이즈와 대응하는 크기를 갖는 지지대와, 이 지지대 윗면에서 기판을 지지할 수 있도록 돌출 형성된 지지돌기들포함하여 이루어지는기판세정장치.
[청구항 4]
청구항 1에 있어서,상기 기판이송부는,이송용 로울러들로 구성되며, 이 이송용 로울러들의 회전에 의해 상기 프레임 일측에서 타측을 향하여 기판을 이송할 수 있도록 셋팅되는기판세정장치.
[청구항 5]
청구항 1에 있어서,정부는,세정모듈과 건조모듈을 포함하며, 상기 기판이송부의 이송 구간 내에서 기판의 이송 중에 세정이 가능하게셋팅되는것을특징으로 하는기판세정장치.
[청구항 6]
청구항 1에 있어서,상기 회동이송부는,회동 아암과, 이 회동 아암을 회동 운동시키기 위한 동력을 발생 및 전달하는 구동원포함하는기판세정장치.
[청구항 7]
청구항 6에 있어서,상기 회동 아암은,상기 스테이지부와 일단이 힌지 결합으로 연결되어 상기 기판이송부의 일측 또는 타측을 향하여 상기 스테이지부를 회동 운동으로 옮길 수 있도록 셋팅되는기판세정장치.
[청구항 8]
청구항 6에 있어서,상기 회동 아암은,상기 스테이지부와 한 개 또는 복수 개가연결되는기판세정장치.
[청구항 9]
청구항 6에 있어서,상기 구동원은,서보모터를 사용하고, 이 서보모터 축의 회전 방향으로 따라 상기 회동 아암이회동운동할수연결되는기판세정장치.
[청구항 10]
청구항 1 또는 청구항 6에 있어서,상기 회동이송부는,상기 스테이지부를 회동 운동으로 옮기면서 상기 기판이송부의 이송 구간 일측에 기판을 직접 내려놓는 한 번의 인계 동작으로 공급하거나, 상기 기판이송부의 이송 구간 타측에서 기판을 직접 위로 들어올리는 한번의 인수 동작으로 배출할 수형성된것을특징으로 하는기판세정장치.
[청구항 11]
청구항 1 또는 청구항 6에 있어서,상기 회동이송부는,상기 회동 아암의 회동 운동시 상기 스테이지부를 수평한 상태로 잡아주는 가이드 아암더 포함하는기판세정장치.
[청구항 12]
청구항 11에 있어서,상기 가이드 아암은,상기 스테이지부와 일단이 힌지 결합으로 연결되고 상기 회동 아암과 평행한 상태로 회동 운동이 가능하도록 상기 프레임 상에 셋팅되는기판세정장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판세정장치에서 회동이송부가 스테이지부를 회동 운동으로 옮길 때, 기판을 공급하거나 배출하는 구체적인 동작 방식은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation회동이송부가 스테이지부를 회동 운동으로 옮길 때 기판을 공급하거나 배출하는 구체적인 동작 방식을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 10에서 회동이송부의 공급 및 배출 동작에 관한 구체적인 설명이 포함되어 있음을 확인한다.
- 상기 회동이송부는,상기 스테이지부를 회동 운동으로 옮기면서 상기 기판이송부의 이송 구간 일측에 기판을 직접 내려놓는 한 번의 인계 동작으로 공급하거나, 상기 기판이송부의 이송 구간 타측에서 기판을 직접 위로 들어올리는 한번의 인수 동작으로 배출할 수
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3근거 선택
evidence_selection공급 방식인 '한 번의 인계 동작으로 직접 내려놓는 방식'과 배출 방식인 '한 번의 인수 동작으로 직접 위로 들어올리는 방식'을 근거로 선택한다.
- 상기 기판이송부의 이송 구간 일측에 기판을 직접 내려놓는 한 번의 인계 동작으로 공급하거나, 상기 기판이송부의 이송 구간 타측에서 기판을 직접 위로 들어올리는 한번의 인수 동작으로 배출
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4논리 통합
logical_integration회동이송부가 스테이지부를 회동 운동으로 이동시키는 과정에서, 기판이송부의 일측에서는 기판을 내려놓는 인계 동작을 통해 공급하고, 타측에서는 기판을 들어올리는 인수 동작을 통해 배출함을 통합한다.
- 상기 회동이송부는,상기 스테이지부를 회동 운동으로 옮기면서 상기 기판이송부의 이송 구간 일측에 기판을 직접 내려놓는 한 번의 인계 동작으로 공급하거나, 상기 기판이송부의 이송 구간 타측에서 기판을 직접 위로 들어올리는 한번의 인수 동작으로 배출
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5결론 도출
conclusion_formulation공급은 기판이송부 일측에 기판을 직접 내려놓는 한 번의 인계 동작으로 이루어지며, 배출은 기판이송부 타측에서 기판을 직접 위로 들어올리는 한 번의 인수 동작으로 이루어진다.
- 상기 기판이송부의 이송 구간 일측에 기판을 직접 내려놓는 한 번의 인계 동작으로 공급하거나, 상기 기판이송부의 이송 구간 타측에서 기판을 직접 위로 들어올리는 한번의 인수 동작으로 배출
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 답변을 구성한다.
- 상기 기판이송부의 이송 구간 일측에 기판을 직접 내려놓는 한 번의 인계 동작으로 공급하거나, 상기 기판이송부의 이송 구간 타측에서 기판을 직접 위로 들어올리는 한번의 인수 동작으로 배출
최종 답변 (final_answer)
회동이송부가 스테이지부를 회동 운동으로 옮기면서, 기판이송부의 이송 구간 일측에 기판을 직접 내려놓는 한 번의 인계 동작을 통해 기판을 공급하거나, 기판이송부의 이송 구간 타측에서 기판을 직접 위로 들어올리는 한 번의 인수 동작을 통해 기판을 배출한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
회동이송부가 스테이지부를 회동 운동시켜 기판이송부의 일측에서는 인계 동작(내려놓기)으로 기판을 공급하고, 타측에서는 인수 동작(들어올리기)으로 기판을 배출하는 동작 메커니즘을 제공한다.