기판처리장치, 기판처리방법, 기판 파지기구, 및 기판 파지방법 document_id 1020090049190

[청구항 1] 기판을 연마하는 연마부와, 기판을 반송하는 반송기구와, 연마된 기판을 세정하여 건조하는 세정부를 구비한 기판처리장치에 있어서, 상기 세정부는, 복수의 기판을 세정하기 위한 복수의 세정라인을 가지는 것을 특징으로 하는 기판처리장치 [청구항 2] 제 1항에 있어서,정부는, 기판을 상기 복수의 세정라인 중 어느 하나로 분배하는분배기구가지는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 3] 제 1항에 있어서,상기 복수의 세정라인은, 기판을 1차 세정하기 위한 복수의 1차 세정 모듈과, 기판을 2차 세정하기 위한복수의2차세정모듈가지는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 4] 제 3항에 있어서,상기 복수의 1차 세정 모듈은 세로방향을 따라 배열되어 있고, 상기 복수의 2차 세정 모듈은 세로방향을 따라배열되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 5] 제 3항에 있어서,정부는, 상기 복수의 1차 세정 모듈 및 상기 복수의 2차 세정 모듈에 액세스 가능한 제 1 반송로봇과, 상기 복수의 2차 세정 모듈에 액세스 가능한제2반송로봇가지는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 6] 제 1항에 있어서,상기 복수의 세정라인은, 일시적으로 기판이 놓여지는임시테이블가지는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 7] 제 1항에 있어서,정부는, 상기 복수의 세정라인에 의해 세정된 복수의 기판을 건조시키는복수의건조모듈가지는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 8] 제 7항에 있어서,상기 복수의 건조 모듈은, 세로방향을 따라배열되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 12] 기판에 대한 가압력을 유체의 압력에 의해 부여하는 톱링을 사용하여 기판을 연마하는 연마부와, 기판을 반송하는 반송기구와, 연마된 기판을 세정하여 건조하는 세정부를 구비한 기판처리장치에 있어서, 상기 톱링은, 톱링 헤드를 거쳐 지지축에 요동 가능하게 연결되어 있고, 상기 유체의 압력을 조정하는 압력 조정부를 상기 톱링 헤드에 설치한 것을 특징으로 하는 기판처리장치 [청구항 13] 제 12항에 있어서,상기 톱링을 상기 지지축을 중심으로 요동시키는요동기구를상기톱링헤드설치한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 14] 제 12항에 있어서,상기 톱링 헤드는, 상기 지지축에 착탈 가능하게설치되어있는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 15] 기판을 연마하는 복수의 연마 유닛을 가지는 연마부와, 상기 복수의 연마 유닛사이에서 기판을 반송하는 반송기구와, 연마된 기판을 세정하여 건조하는 세정부를 구비한 기판처리장치에 잇어서, 상기 반송기구는, 높이가 다른 2개의 주행축 상에 배치된 복수의 기판 반송 스테이지와, 상기 복수의 기판 반송 스테이지를 상기 2개의 주행축을 따라 수평방향으로 이동시키는 복수의 수평 구동기구와, 상기 복수의 기판 반송 스테이지를 각각 독립으로 상하방향으로 이동시키는 복수의 승강 구동기구를 가지는 것을 특징으로 하는 기판처리장치 [청구항 16] 제 15항에 있어서,상기 2개의 주행축과는 다른 높이의 주행축 상에 배치된 기판 패스 스테이지와, 상기 기판 패스 스테이지를 상기 주행축을 따라 수평방향으로 이동시키는수평구동기구더구비한것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 17] 기판을 유지하는 상하동(上下動) 가능한 톱링을 가지는 연마부와, 상기 톱링과 기판의 수수를 행하는 상하동 가능한 반송 스테이지를 가지는 반송기구와, 상기 톱링과 상기 반송 스테이지의 사이에 배치된 리테이너링 스테이션을 구비하고, 상기 톱링은, 톱링 본체와, 당해 톱링 본체에 대하여 상대적으로 상하동 가능한 리테이너링을 가지고, 상기 리테이너링 스테이션은, 상기 리테이너링을 밀어 올리는 복수의 밀어 올림기구를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치 [청구항 18] 제 17항에 있어서,기구는, 상기 리테이너링에 접촉하는 밀어 올림 핀과, 당해 밀어 올림 핀을 윗쪽으로 미는스프링포함하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 19] 제 17항에 있어서,상기 리테이너링 스테이션은, 상기 밀어 올림기구가 상기 리테이너링을 밀어 올리고 있는 동안에 상기 리테이너링의 마모량을 측정하는마모측정기가지는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 20] 제 19항에 있어서,상기 마모 측정기는, 상기 리테이너링의 하면에 접촉하는 접촉부재와, 상기 접촉부재를 윗쪽으로 미는 스프링과, 상기 접촉부재를 상하방향으로 이동 가능하게 지지하는 직동(直動) 가이드와, 상기 접촉부재의 변위를 측정하는변위측정기구비하는것을특징으로 하는기판처리장치. [청구항 21] 톱링 본체와, 당해 톱링 본체에 대하여 상대적으로 상하동 가능한 리테이너링을 가지는 톱링이 탑재되는 리테이너링 스테이션에 있어서, 상기 리테이너링을 밀어 올리는 복수의 밀어 올림기구를 가지고 있는 것을 특징으로 하는 리테이너링 스테이션 [청구항 22] 제 21항에 있어서,기구는, 상기 리테이너링에 접촉하는 밀어 올림 핀과, 당해 밀어 올림 핀을 윗쪽으로 미는스프링포함하는것을특징으로 하는리테이너링 스테이션. [청구항 23] 제 21항에 있어서,기구가 상기 리테이너링을 밀어 올리고 있는 동안에 상기 리테이너링의 마모량을 측정하는마모측정기더가지는것을특징으로 하는리테이너링 스테이션. [청구항 24] 제 23항에 있어서,상기 마모 측정기는, 상기 리테이너링의 하면에 접촉하는 접촉부재와, 상기 접촉부재를 윗쪽으로 미는 스프링과, 상기 접촉부재를 상하방향으로 이동 가능하게 지지하는 직동 가이드와, 상기 접촉부재의 변위를 측정하는변위측정기구비하는것을특징으로 하는리테이너링 스테이션. [청구항 26] 연마 패드의 연마면을 고압의 유체에 의해 세정하는 아토마이저에 있어서, 상기 유체의 분사구멍을 가지는 아암과, 상기 아암의 양 측면에 설치된 보강부재와, 상기 분사구멍과 연통한 유체 유로와, 상기 아암을 회전 자유롭게 지지하는 요동축을 구비하고, 상기 연마면의 세정 시의 세정위치와, 메인티넌스 시의 퇴피위치와의 사이에서, 상기 아암이 선회 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 아토마이저 [청구항 27] 복수의 연마 유닛에 순수를 공급하기 위한 순수 공급기구에 있어서, 상기 복수의 연마 유닛 내에 각각 설치된 복수의 분배 제어부와, 순수 공급원과 상기 복수의 분배 제어부를 연통시키는 순수 공급관을 구비한 것을 특징으로 하는 순수 공급기구 [청구항 28] 제 27항에 있어서,상기 복수의 분배 제어부는, 각각, 각 연마 유닛 내의 유스 포인트와 연통하는 밸브 박스와, 상기 밸브 박스로 보내지는 순수의 압력을 측정하는 압력계와, 상기 압력계의 측정값에 의거하여 상기 밸브 박스로 보내지는 순수의 유량을 조정하는유량레귤레이터가지는것을특징으로 하는순수 공급기구. [청구항 30] 기판에 대한 가압력을 유체의 압력에 의해 부여하는 톱링과, 상기 톱링을 지지하는 톱링 헤드와, 상기 톱링 헤드에 설치되고, 상기 유체의 압력을 조정하는 압력 조정부를 가지는 것을 특징으로 하는 톱링 어셈블리 [청구항 31] 제 30항에 있어서,상기 톱링 헤드를 거쳐 상기 톱링을 요동시키는요동기구더구비한것을특징으로 하는톱링 어셈블리. [청구항 32] 기대(基臺)와, 상기 기대에 지지되고, 당해 기대에 대하여 상하방향으로 상대 이동 가능한 복수의 기판 지지부재와, 상기 기판 지지부재의 상단에 각각 설치된 기판 파지부와, 상기 기판 지지부재를 상하동시키는 구동기구와, 상기 기판 지지부재의 하강과 연동하여, 적어도 하나의 상기 기판 지지부재 상의 상기 기판 파지부를 기판에 가압하고, 상기 기판 지지부재의 상승과 연동하여, 상기 기판 파지부를 기판으로부터 이간시키는 가압기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 파지기구 [청구항 33] 제 32항에 있어서,상기 가압기구는, 상기 기판 지지부재의 상하동과 연동하여, 상기 적어도 하나의 기판 지지부재를 그 축심 주위로 회전시키는회전기구인것을특징으로 하는기판 파지기구. [청구항 34] 제 33항에 있어서,상기 기판 파지부는, 상기 기판 지지부재의 축심으로부터 편심하여 배치된원통형상클램프인것을특징으로 하는기판 파지기구. [청구항 35] 제 32항에 있어서,상기 가압기구는, 상기 적어도 하나의 상기 기판 지지부재 및 상기 기대 중 어느 한쪽에 설치된 제 1 자석과, 상기 적어도 하나의 상기 기판 지지부재 및 상기 기대 중 다른쪽에 설치된 제 2 자석을 구비하고, 상기 제 1 자석은, 상기 기판 지지부재의 상하동에 따라, 상기 제 2 자석과 근접한 위치가 되도록 배치되고, 상기 제 1 자석과 상기 제 2 자석이 근접하였을 때에, 상기 제 1 자석과 상기 제 2 자석의 사이에 발생하는 자력에 의해 상기 기판 파지부가 기판의 둘레 끝부를 가압하는 방향으로상기기판지지부재이동시키는것을특징으로 하는기판 파지기구. [청구항 36] 제 35항에 있어서,상기 제 2 자석이 설치되어 있는 상기 적어도 하나의 상기 기판 지지부재 또는 상기 기대에는, 제 3 자석이 더 설치되어 있고, 상기 제 1 자석은, 상기 기판 지지부재의 상하동에 따라, 상기 제 2 자석 및 상기 제 3 자석 중 어느 한쪽과 근접한위치배치되어있는것을특징으로 하는기판 파지기구. [청구항 37] 제 36항에 있어서,상기 제 1 자석과 상기 제 2 자석이 근접하였을 때에, 상기 제 1 자석과 상기 제 2 자석의 사이에 발생하는 자력에 의해 상기 기판 파지부가 기판의 둘레 끝부를 가압하는 방향으로 상기 기판 지지부재를 그 축심 주위로 회전시키고,상기 제 1 자석과 상기 제 3 자석이 근접하였을 때에, 상기 제 1 자석과 상기 제 3 자석의 사이에 발생하는 자력에 의해 상기 기판 파지부가 기판으로부터 이간되는 방향으로 상기 기판 지지부재를 그축심주위회전시키는것을특징으로 하는기판 파지기구. [청구항 38] 제 36항에 있어서,상기 제 2 자석 및 상기 제 3 자석은, 서로 상하방향으로 이간하여배치되어있는것을특징으로 하는기판 파지기구. [청구항 39] 제 32항에 있어서,적어도 하나의 기판 지지부재에는, 그 축심을 따라 연장되는 홈이 형성되어 있고, 상기 기대에는, 상기 홈에 느슨하게 걸어맞추는돌기부설치되어있는것을특징으로 하는기판 파지기구. [청구항 40] 제 32항에 있어서,상기 가압기구는,상기 적어도 하나의 기판 지지부재에 형성된 나선홈과, 상기 기대에 설치된, 상기 나선홈에 걸어맞추는핀가지는것을특징으로 하는기판 파지기구. [청구항 41] 제 33항에 있어서,상기 복수의 기판 지지부재는 적어도 4개의 기판 지지부재이고, 상기 기판 지지부재 중 서로 대향하는 2개의 기판 지지부재는, 회전하지상하동하는것을특징으로 하는기판 파지기구. [청구항 42] 제 32항에 있어서,상기 기대 및 상기 복수의 기판 지지부재를 회전시키는기구더구비한것을특징으로 하는기판 파지기구. [청구항 43] 기대와, 상기 기대에 지지된 복수의 기판 지지부재와, 상기 기판 지지부재의 상단에 각각 설치된 기판 파지부 및 위치 결정부와, 상기 기판 지지부재의 적어도 하나를 그 축심 주위로 회전시키는 회전기구를 구비하고, 상기 기판 파지부는, 상기 기판 지지부재의 축심으로부터 편심하여 배치되고, 상기 위치 결정부는, 상기 기판 지지부재와 동심의 원을 따라 만곡하는 측면을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 파지기구