문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,플레이트는,상기 다수의 접지용 핀이 상기 캐리어로부터 이격되는 하강 위치와 상기 다수의 접지용 핀이 상기 캐리어에 접촉되는 상승 위치 사이를 이동 가능하도록,상기다수의이송롤러의하측마련되는것을특징으로 하는인라인 방식의 태양전지 제조용 플라즈마 처리장치.
[청구항 3]
제1항에 있어서,플레이트는,상기 디퓨저와 상기 캐리어 사이의 간격을 조절하기 위해, 상기 다수의 접지용 핀이 상기 캐리어를 접촉 지지한 상태에서 상하 방향으로 이동 가능하게마련되는것을특징으로 하는인라인 방식의 태양전지 제조용 플라즈마 처리장치.
[청구항 4]
제1항에 있어서,플레이트와 상기 반응챔버의 하부벽 사이에 개재되는다수의접지용스트립더포함하는것을특징으로 하는인라인 방식의 태양전지 제조용 플라즈마 처리장치.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 접지용 스트립은,탄성을 갖도록 휘어진 형상으로 가공된금속성스트립마련되는것을특징으로 하는인라인 방식의 태양전지 제조용 플라즈마 처리장치.
[청구항 6]
제4항에 있어서,플레이트에는,상기 다수의 접지용 스트립을 냉각시키기 위한 냉각 라인마련되는 것을특징으로 인라인 방식의 태양전지 제조용 플라즈마 처리장치.
[청구항 7]
제4항에 있어서,상기 접지용 스트립은,그 상단부 및 하단부가 상기 핀 플레이트 및 상기 반응챔버의 하부벽에 각각 볼트 체결되어 상기 핀플레이트와상기반응챔버의하부벽연결하는것을특징으로 하는인라인 방식의 태양전지 제조용 플라즈마 처리장치.
[청구항 8]
제4항에 있어서,상기 다수의 접지용 핀은 상기 핀 플레이트의 상부면 가장자리에 미리 정해진 간격으로 배치되고,상기 다수의 접지용 스트립은 상기 핀 플레이트의 하부면 가장자리에 미리 정해진간격배치되는것을특징으로 하는인라인 방식의 태양전지 제조용 플라즈마 처리장치.
[청구항 9]
제4항에 있어서,상기 접지용 핀 및 상기 접지용 스트립 각각은,알루미늄재질로이루어지는것을특징으로 하는인라인 방식의 태양전지 제조용 플라즈마 처리장치.
[청구항 10]
제1항에 있어서,플레이트에 의한 상기 캐리어의 상승 이동을 미리 정해진 위치까지 제한하기 위한스토퍼더포함하는것을특징으로 하는인라인 방식의 태양전지 제조용 플라즈마 처리장치.
[청구항 11]
제10항에 있어서,상기 스토퍼는,일단부가 상기 반응챔버의 측벽에 결합되고, 타단부가 상기 캐리어의 상부면에 접촉 가능하게 배치되는다수의브라켓마련되는것을특징으로 하는인라인 방식의 태양전지 제조용 플라즈마 처리장치.
[청구항 12]
제1항에 있어서,상기 다수의 이송롤러와 상기 핀 플레이트 사이에 배치되어 상기 캐리어에 안착된 상기 다수의 태양전지 웨이퍼를 가열하는히터더포함하는것을특징으로 하는인라인 방식의 태양전지 제조용 플라즈마 처리장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
인라인 방식의 태양전지 제조용 플라즈마 처리장치에서 플레이트가 디퓨저와 캐리어 사이의 간격을 조절하기 위해 수행하는 동작과 그 구체적인 상태는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation플레이트가 디퓨저와 캐리어 사이의 간격을 조절하기 위해 수행하는 동작과 그 구체적인 상태를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 플레이트의 간격 조절 동작과 상태에 관한 정보를 추출한다.
- 플레이트는,상기 디퓨저와 상기 캐리어 사이의 간격을 조절하기 위해, 상기 다수의 접지용 핀이 상기 캐리어를 접촉 지지한 상태에서 상하 방향으로 이동 가능하게마련되는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection질문에 직접적으로 대응하는 '상하 방향 이동' 동작과 '접지용 핀이 캐리어를 접촉 지지한 상태'라는 근거를 선택한다.
- 상기 다수의 접지용 핀이 상기 캐리어를 접촉 지지한 상태에서 상하 방향으로 이동 가능하게마련되는것
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4논리 통합
logical_integration플레이트는 다수의 접지용 핀을 통해 캐리어를 접촉 지지하고 있는 상태를 유지하면서, 상하 방향으로 이동함으로써 간격을 조절함을 논리적으로 연결한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation플레이트의 동작은 상하 방향 이동이며, 그 상태는 다수의 접지용 핀이 캐리어를 접촉 지지하고 있는 상태이다.
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 질문에 대한 최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
플레이트는 다수의 접지용 핀이 상기 캐리어를 접촉 지지한 상태에서 상하 방향으로 이동하는 동작을 수행하여 디퓨저와 캐리어 사이의 간격을 조절한다.
핵심 해석 (core_interpretation)
플레이트가 접지용 핀을 통해 캐리어를 지지한 채 상하로 이동함으로써 디퓨저와 캐리어 사이의 간격을 정밀하게 조절할 수 있는 구조를 나타낸다.