문맥 (context)
[청구항 1]
기판의 이송 방향과 수직한 방향으로 연장되고, 외측면에 제1 키홈 및 상기 제1 키홈 양측에 제1 및 제2 링홈이 형성된 회전축
상기 회전축이 삽입되는 관통홀을 가지며 상기 회전축과 함께 회전하도록 상기 회전축에 결합되고, 상기 관통홀의 내측면에 상기 제1 키홈과 마주하게 제2 키홈을 가지며, 상기 기판을 지지하여 이송하기 위한 롤러
상기 제1 및 제2 키홈에 삽입되어 상기 회전축과 상기 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지하는 키 부재; 및
상기 제1 및 제2 링홈에 각각 설치되어 상기 롤러의 축방향 미끄러짐을 방지하는 제1 및 제2 스냅링을 포함하는 롤러 어셈블리
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 제1 링홈과 상기 제2 링홈 사이의 간격은 상기 제1 및 제2 스냅링이 상기 롤러의 양 측면에 각각 접촉하도록상기롤러의폭대응하는것을특징으로 하는롤러 어셈블리.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기제1 및 제2 스냅링은 회전을 방지하기 위하여 각각 내측면에 적어도 하나의 돌기를 가지며,상기 제1 및 제2 링홈은 각각 상기 제1 및 제2 스냅링의 돌기에 대응하는 요홈갖는것을특징으로 하는롤러 어셈블리.
[청구항 4]
평판형 기판에 대한 처리 공정이 수행되는 공정 챔버
상기 공정 챔버의 내부에 상기 기판의 이송 방향을 따라 배열되고, 상기 기판을 지지하여 이송하는 다수의 롤러 어셈블리들
상기 기판의 이송을 위해 회전력을 제공하여 상기 다수의 롤러 어셈블리들을 회전시키는 구동부; 및
상기 공정 챔버 내부에 배치되어 상기 기판 상으로 상기 처리 공정을 위한 처리액을 제공하는 처리액 제공부를 포함하며,
상기 각 롤러 어셈블리는
기판의 이송 방향과 수직한 방향으로 연장되고, 외측면에 제1 키홈 및 상기 제1 키홈 양측에 제1 및 제2 링홈이 형성된 회전축
상기 회전축이 삽입되는 관통홀을 가지며 상기 회전축과 함께 회전하도록 상기 회전축에 결합되고, 상기 관통홀의 내측면에 상기 제1 키홈과 마주하게 제2 키홈을 가지며, 상기 기판을 지지하여 이송하기 위한 롤러
상기 제1 및 제2 키홈에 삽입되어 상기 회전축과 상기 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지하는 키 부재; 및
상기 제1 및 제2 링홈에 각각 설치되어 상기 롤러의 축방향 미끄러짐을 방지하는 제1 및 제2 스냅링을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
롤러 어셈블리에서 회전축과 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지하기 위해 사용되는 구성 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation롤러 어셈블리 내에서 회전축과 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지하는 구성 요소를 찾는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 1에서 회전축, 롤러, 키 부재, 스냅링의 기능이 기술되어 있다.
- 상기 제1 및 제2 키홈에 삽입되어 상기 회전축과 상기 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지하는 키 부재
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 '회전미끄럼 방지' 기능과 직접적으로 연결된 '키 부재' 구절을 선택한다.
- 상기 제1 및 제2 키홈에 삽입되어 상기 회전축과 상기 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지하는 키 부재
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4논리 통합
logical_integration키 부재가 제1 및 제2 키홈에 삽입되어 회전축과 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지한다는 인과 관계를 확인한다.
- 상기 제1 및 제2 키홈에 삽입되어 상기 회전축과 상기 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지하는 키 부재
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5결론 도출
conclusion_formulation회전미끄럼을 방지하는 구성 요소는 키 부재임을 도출한다.
- 상기 제1 및 제2 키홈에 삽입되어 상기 회전축과 상기 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지하는 키 부재
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6답변 생성
answer_generation추출된 답변인 '키 부재'를 최종 답변으로 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
키 부재
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 키 부재를 제1 및 제2 키홈에 삽입함으로써 회전축과 롤러 사이의 회전미끄럼을 방지하고, 스냅링을 통해 롤러의 축방향 미끄러짐을 방지하는 롤러 어셈블리에 관한 것이다.