문맥 (context)
[청구항 1]
반도체 기판의 상부에 형성된 제 1콘택
상기 제 1콘택과 전기적으로 접속된 제 1패턴
상기 반도체 기판의 상측에 형성되고, 상기 제 1패턴과 동일한 레이어 상에 형성되어 플로팅 된 제 2패턴
상기 제 1패턴의 상측에 형성된 제 1패드; 및
상기 제 2패턴의 상측에 형성되어 상기 1패드와 동일한 레이어 상에 형성된 제 2패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 테스트 패턴
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 테스트 패턴은 반도체 소자의 스크라이브 라인상형성되는것을특징으로 하는반도체 소자의 테스트 패턴.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,상기 제 1패턴과 상기 제 2패턴 사이의 간격에 대응하여 상기 제 1패드와 상기 제 2패드에서 측정되는저항의값달라지는것을특징으로 하는반도체 소자의 테스트 패턴.
[청구항 4]
제 1항에 있어서,상기 제 1패턴과 상기 제 2패턴의 너비에 대응하여 상기 제 1패드와 상기 제 2패드에서 측정되는저항의값달라지는것을특징으로 하는반도체 소자의 테스트 패턴.
[청구항 5]
반도체 기판의 상부에 형성된 제 1콘택
상기 제 1콘택의 상부에 형성된 제 1하부 레이어
상기 반도체 기판의 상측에 형성되고, 상기 제 1하부 레이어와 동일한 레이어 상에 형성되어 플로팅 된 제 2하부 레이어
상기 제 1하부 레이어의 상부에 형성되어 제 2콘택과 연결되는 제 1금속배선
상기 제 2하부 레이어의 상부에 형성되어 제 3콘택과 연결되는 제 2금속배선
상기 제 1금속배선의 상부에 형성된 제 1패드; 및
상기 제 2금속배선의 상부에 형성된 제 2패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 테스트 패턴
[청구항 6]
제 5항에 있어서,상기 테스트 패턴은 반도체 소자의 스크라이브 라인상형성되는것을특징으로 하는반도체 소자의 테스트 패턴.
[청구항 7]
제 5항에 있어서,상기 제 1패드의 상측에 형성된 제 3패드; 및 상기 제 2패드의 상측에 형성된제4패드더포함하는것을특징으로 하는반도체 소자의 테스트 패턴.
[청구항 8]
제 5항에 있어서,상기 제 1금속배선과 상기 제 2금속배선 사이의 간격에 대응하여 상기 제 1패드와 상기 제 2패드에서 측정되는저항의값달라지는것을특징으로 하는반도체 소자의 테스트 패턴.
[청구항 9]
제 5항에 있어서,상기 제 1금속배선과 상기 제 2금속배선의 너비에 대응하여 상기 제 1패드와 상기 제 2패드에서 측정되는저항의값달라지는것을특징으로 하는반도체 소자의 테스트 패턴.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
청구항 1 및 청구항 3에 기재된 반도체 소자의 테스트 패턴에서, 제 1패드와 제 2패드에서 측정되는 저항값이 변화하는 데 영향을 주는 요소는 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation청구항 1 및 3을 바탕으로 제 1패드와 제 2패드에서 측정되는 저항값의 변화에 영향을 주는 요소를 추출해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 3에서 제 1패드와 제 2패드 사이의 저항값이 달라지는 조건에 대한 정보를 확인한다.
- 상기 제 1패턴과 상기 제 2패턴 사이의 간격에 대응하여 상기 제 1패드와 상기 제 2패드에서 측정되는저항의값달라지는것
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3근거 선택
evidence_selection저항값 변화의 직접적인 원인으로 명시된 '제 1패턴과 제 2패턴 사이의 간격' 구절을 선택한다.
- 상기 제 1패턴과 상기 제 2패턴 사이의 간격에 대응하여 상기 제 1패드와 상기 제 2패드에서 측정되는저항의값달라지는것
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4논리 통합
logical_integration청구항 3의 기술적 특징에 따라, 저항값의 변화는 패턴 사이의 간격에 대응하여 발생함을 논리적으로 연결한다.
- 상기 제 1패턴과 상기 제 2패턴 사이의 간격에 대응하여 상기 제 1패드와 상기 제 2패드에서 측정되는저항의값달라지는것
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 대한 답변으로 저항값 변화에 영향을 주는 요소는 '제 1패턴과 제 2패턴 사이의 간격'임을 도출한다.
- 상기 제 1패턴과 상기 제 2패턴 사이의 간격
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6답변 생성
answer_generation추출된 핵심 요소를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 제 1패턴과 상기 제 2패턴 사이의 간격
최종 답변 (final_answer)
상기 제 1패턴과 상기 제 2패턴 사이의 간격
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 제 1패턴과 제 2패턴 사이의 간격 조절을 통해 제 1패드와 제 2패드에서 측정되는 저항값을 변화시킴으로써 반도체 소자의 특성을 테스트할 수 있는 패턴 기술을 제공한다.