문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 트랜스퍼 챔버의 측면부는 육면으로 구성되며, 상기 게이트 밸브는상기육면각각설치되는것을특징으로 하는적층증착 콘덴서 제조장치.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 반송 로봇은 다관절로 구성되며,상기 다관절은 상기 트랜스퍼 챔버의 중앙부에 회전가능하게 설치된 베이스 암;상기 베이스 암에 회전가능하게 설치된 센터 암; 및상기 센터 암에 회전가능하게 설치된이송암포함하는것을특징으로 하는적층증착 콘덴서 제조장치.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 트랜스퍼 챔버로부터 상기 반송 로봇에 의해 웨이퍼를 공급받고, 상기 유전층을 어닐링하는열처리챔버더포함하는것을특징으로 하는적층증착 콘덴서 제조장치.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 스퍼터링 챔버의 내부에는 금속막 증착을 위해 상하 이동이 가능한캐소드구비되는것을특징으로 하는적층증착 콘덴서 제조장치.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 원자층 증착챔버에는 상하 이동이 가능한히터블록구비되는것을특징으로 하는적층증착 콘덴서 제조장치.
[청구항 7]
제 6 항에 있어서,상기 원자층 증착챔버에는 상기 히터블록에 연결되어 상기 히터블록을 상하로 이동시키는히터승강실린더구비되는것을특징으로 하는적층증착 콘덴서 제조장치.
[청구항 8]
제 1 항에 있어서,상기 원자층 증착챔버는 상기 웨이퍼가 장입되는 공간을 제공하는 증착 케이스;상기 증착 케이스의 내부에 구비되어 상기 게이트 밸브를 통해 장입된 웨이퍼를 고정하는 웨이퍼 홀더 플레이트;상기 증착 케이스의 상부에 설치되어 상기 증착 케이스를 밀폐하는 챔버도어; 및상기 증착 케이스의 내부에서 설치되어 상기 웨이퍼 홀더 플레이트 상에 있는 웨이퍼에 원자층 증착가스 또는 퍼지가스를 공급하는 가스 샤워헤드포함하는적층증착 콘덴서 제조장치.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 가스 샤워헤드는 상부분사패널 및 하부분사패널로 구성되며,상기 상부분사패널 및 상기 하부분사패널에는 상기 웨이퍼 홀더 플레이트의 대향면에 대응하는 너비로 가스를 분사하는 슬릿노즐이 형성되고, 상기 슬릿노즐의 측방에는 상기 슬릿노즐과 이격되어 상기 슬릿노즐의 길이방향을 따라 가스를 공급하는 가스 공급로가 형성되고, 상기 슬릿노즐과 상기 가스 공급로 사이에는복수개의연결로형성되는것을특징으로 하는적층증착 콘덴서 제조장치.
[청구항 10]
제 9 항에 있어서,상기 상부분사패널 및 상기 하부분사패널의 가스 공급로의 단부에는 가스를 공급하는 가스라인이 연결되는공급홀형성되는특징으로 하는적층증착 콘덴서 제조장치.
[청구항 11]
제 10 항에 있어서,상기 가스 공급로는 상기 공급홀로부터 말단부를 향해형성되는것을특징으로 하는적층증착 콘덴서 제조장치.
지시문 (instruction)
주어진 특허 청구항을 읽고 발명의 구성요소와 구성을 파악하여 질문에 답하라. 요구되는 내용을 항목별 목록으로 제시하라.
질문 (question)
적층증착 콘덴서 제조장치의 원자층 증착챔버 내 가스 샤워헤드는 어떠한 구성요소들로 이루어져 있으며, 각 구성요소의 세부 구조는 어떻게 형성되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation원자층 증착챔버 내 가스 샤워헤드의 구성요소와 각 구성요소의 세부 구조를 파악하는 것이 과제이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 9항과 10항에서 가스 샤워헤드의 구성 및 세부 구조에 관한 정보를 추출한다.
- 상기 가스 샤워헤드는 상부분사패널 및 하부분사패널로 구성되며,상기 상부분사패널 및 상기 하부분사패널에는 상기 웨이퍼 홀더 플레이트의 대향면에 대응하는 너비로 가스를 분사하는 슬릿노즐이 형성되고, 상기 슬릿노즐의 측방에는 상기 슬릿노즐과 이격되어 상기 슬릿노즐의 길이방향을 따라 가스를 공급하는 가스 공급로가 형성되고, 상기 슬릿노즐과 상기 가스 공급로 사이에는복수개의연결로형성되는것을특징으로 하는
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3근거 선택
evidence_selection가스 샤워헤드의 구성인 상/하 분사패널, 슬릿노즐, 가스 공급로, 연결로, 공급홀에 관한 구절을 선택한다.
- 상기 가스 샤워헤드는 상부분사패널 및 하부분사패널로 구성되며; 상기 상부분사패널 및 상기 하부분사패널에는 ... 슬릿노즐이 형성되고; 상기 슬릿노즐의 측방에는 ... 가스 공급로가 형성되고; 상기 슬릿노즐과 상기 가스 공급로 사이에는 복수개의 연결로 형성; 가스 공급로의 단부에는 ... 공급홀 형성
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4논리 통합
logical_integration가스 샤워헤드는 상/하 분사패널로 이루어져 있으며, 각 패널에는 슬릿노즐, 가스 공급로, 연결로가 포함되고, 가스 공급로 끝에는 공급홀이 있다는 계층적 구조를 통합한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation추출된 정보를 바탕으로 가스 샤워헤드의 구성요소와 세부 구조를 리스트 형식으로 정리한다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구성요소와 세부 구조를 명확히 기술하여 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
가스 샤워헤드는 상부분사패널 및 하부분사패널로 구성되며, 세부 구조는 다음과 같다.
1. 상부분사패널 및 하부분사패널의 구성:
- 슬릿노즐: 웨이퍼 홀더 플레이트의 대향면에 대응하는 너비로 가스를 분사함
- 가스 공급로: 슬릿노즐의 측방에 위치하며, 슬릿노즐의 길이방향을 따라 형성됨
- 연결로: 슬릿노즐과 가스 공급로 사이에 복수 개가 형성됨
- 공급홀: 가스 공급로의 단부에 형성되어 가스라인과 연결됨
핵심 해석 (core_interpretation)
가스 샤워헤드가 상/하 분사패널 구조를 가지며, 슬릿노즐, 가스 공급로, 연결로 및 공급홀이 유기적으로 배치되어 가스를 정밀하게 분사하는 구조를 정의하고 있다.