문맥 (context)
[청구항 2]
제 1 항에 있어서,상기 팁은,상기 냉각기 상부에서 상하 이동하며 원기둥 형태를 갖는 대직경부와, 상기 대직경부 일측면에 연결되며 상기 대직경부보다 작은 직경을 갖는 긴 폴대 형태의 소직경부로 구성되되,상기 대직경부는 상기 냉각기를 상기 본딩 헤드에 결합시키는 홀더의 내부 공간에서 상하 이동이 가능하도록 배치되고,상기 소직경부는 상기 냉각기 및 세라믹 히터를 관통하며 상기 대직경부의 상하 이동에 따라 상기 세라믹 히터의 하단으로부터 타단 일부가돌출삽입되는것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 3]
제 1 항에 있어서,상기 세라믹 히터는,25℃(상온) 내지 500℃ 사이에서상기세라믹히터의온도조절가능한것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 4]
제 1 항에 있어서,상기 세라믹 히터는,상기 세라믹 히터의 온도를 감지하고 일정한 온도를 유지할 수 있도록 하는온도측정센서더포함하는것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 5]
제 1 항에 있어서,상기 냉각기는,수냉식냉각기인것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,상기 냉각기 하부에는,상기 냉각기와 상기 세라믹 히터를 결합고정하는히터클램프더포함된것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 7]
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 열압착식 본딩 헤드는, 상기 냉각기 상측에 상기 본딩 헤드의 하강시 상기 피본딩물의 표면에 압력을 가하는 상기 세라믹 히터의 하부면이 상기 피본딩물의 접촉면과 평탄도를 유지하도록 하는 평탄도유지장치더포함하는것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 8]
제 7 항에 있어서,상기 평탄도 유지 장치는,내부에 밀폐된 공간이 형성되고 하부면에 상하를 관통하는 절개부가 형성된 상부 홀더 및 상부면에 상하를 관통하는 절개부가 형성된 하부 홀더를 구비한 홀더부와;상기 상부 및 하부 홀더의 절개부에 소정의 유격 공간을 형성하며 삽입되는 삽입부와, 상기 삽입부의 상부에 연결되어 상기 상부 홀더 하부면의 상측면에 안착되는 상측 걸림부 및 상기 삽입부의 하부에 연결되어 상기 하부 홀더 상부면의 하측면이 안착되는 하측 걸림부를 구비한중심축포함하는것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 9]
제 8 항에 있어서,상기 절개부는,원형태형성된것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 10]
제 8 항에 있어서,상기 절개부는,사각 형태로 형성되되,상기 삽입부가 삽입된 상기 상부 홀더의 절개부에는 y축 방향의 유격 공간이 형성되고 상기 삽입부가 삽입된 상기 하부 홀더의 절개부에는 x축방향의유격공간형성된것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 11]
제 8 항에 있어서,상기 상측 및 하측걸림부의 외주면은, 일정한 곡률을 갖도록 형성되고 상기 상부 및 하부 홀더의 내측면과의 사이에는 각각 일정한유격공간형성된것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 12]
제 8 항에 있어서,상기 평탄도 유지 장치는,상기 상부 홀더 하부면의 상측면 및 하부 홀더 상부면의 하측면에 구슬 형태의 볼이 복수개 설치되고,상기 상측 걸림부의 하측면 및 상기 하측 걸림부의 상측면는 상기 볼이 설치된 위치와 상응하는 위치에반구 형태의홈형성된것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 13]
제 12 항에 있어서,상기 볼은,상기 상부 홀더 및 하부 홀더에 형성된절개부의4모서리또는4면의중앙부주변설치된것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 14]
제 12 항에 있어서,상기 볼은,상기 상부 홀더 하부면의 상측면 및 하부 홀더 상부면의 하측면에 삽입 설치된 스프링에결합고정된것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 15]
제 8 항에 있어서,상기 평탄도 유지 장치는,상기 중심축, 상부 및 하부 홀더를 감싸는 하우징을 더 포함하되,상기 하우징의 상부면과 상기 상부 홀더의 상부면은 체결구에 의해연결된것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 16]
제 15 항에 있어서,상기 체결구는체결볼트인것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
[청구항 17]
제 15 항에 있어서,상기 평탄도 유지 장치는,상기 체결구 주변에 상기 하우징의 상부면과 상기 상부 홀더의 상부면을 연결하는 스토퍼(stopper)가 복수개 설치됨으로써, 상기 본딩 장비의 본딩 공정 전 상기 피본딩물에 대한 상기 본딩 헤드의 초기 평탄도를 조절할 수있는것을특징으로 하는열압착식 본딩 헤드.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
열압착식 본딩 헤드에서 평탄도 유지 장치의 구성 요소 중, 상부 홀더와 하부 홀더의 절개부에 소정의 유격 공간을 형성하며 삽입되는 구성은 무엇이며, 이 중심축은 상측 및 하측 걸림부와 어떻게 연결되어 있는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation평탄도 유지 장치의 구성 요소 중 상부/하부 홀더 절개부에 삽입되는 구성과 중심축의 연결 관계를 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 8항에서 홀더의 절개부에 삽입되는 '삽입부'와, 삽입부와 연결된 '중심축' 및 '상측/하측 걸림부'에 대한 정보를 추출한다.
- 상기 상부 및 하부 홀더의 절개부에 소정의 유격 공간을 형성하며 삽입되는 삽입부와, 상기 삽입부의 상부에 연결되어 상기 상부 홀더 하부면의 상측면에 안착되는 상측 걸림부 및 상기 삽입부의 하부에 연결되어 상기 하부 홀더 상부면의 하측면이 안착되는 하측 걸림부를 구비한중심축
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3근거 선택
evidence_selection질문에서 요구하는 삽입되는 구성(삽입부)과 중심축의 연결 구조(상측/하측 걸림부와의 연결)를 명시한 구절을 선택한다.
- 상기 상부 및 하부 홀더의 절개부에 소정의 유격 공간을 형성하며 삽입되는 삽입부와, 상기 삽입부의 상부에 연결되어 상기 상부 홀더 하부면의 상측면에 안착되는 상측 걸림부 및 상기 삽입부의 하부에 연결되어 상기 하부 홀더 상부면의 하측면이 안착되는 하측 걸림부를 구비한중심축
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4논리 통합
logical_integration삽입부는 홀더의 절개부에 삽입되며, 중심축은 삽입부의 상부에는 상측 걸림부를, 삽입부의 하부에는 하측 걸림부를 연결하여 구성됨을 통합한다.
- 상기 삽입부의 상부에 연결되어 상기 상부 홀더 하부면의 상측면에 안착되는 상측 걸림부 및 상기 삽입부의 하부에 연결되어 상기 하부 홀더 상부면의 하측면이 안착되는 하측 걸림부를 구비한중심축
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5결론 도출
conclusion_formulation삽입되는 구성은 '삽입부'이며, 중심축은 삽입부의 상부에 상측 걸림부를, 삽입부의 하부에 하측 걸림부를 연결하여 구성된다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 대해 구성 요소와 연결 관계를 명확히 기술하여 최종 답변을 생성한다.
최종 답변 (final_answer)
상부 홀더와 하부 홀더의 절개부에 삽입되는 구성은 '삽입부'이며, 중심축은 삽입부의 상부에 상측 걸림부를 연결하고, 삽입부의 하부에 하측 걸림부를 연결하여 구성된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
평탄도 유지 장치는 홀더의 절개부에 삽입되는 삽입부와, 상측/하측 걸림부를 통해 상부 및 하부 홀더에 안착되는 중심축을 통해 구성된다.