문맥 (context)
[청구항 1]
투명기판 상부에 금속막을 포함하고,
상기 금속막 상부에 하드마스크막이 형성되고,
상기 하드마스크막 상부에 레지스트막이 형성되는 블랭크 마스크에 있어서,
금속막은 노광광에 대하여 차광기능을 하는 차광막과 노광광의 반사을 저감하는 반사방지막의 2층으로 형성되며, 상기 차광막과 반사방지막의 금속 물질이 서로 다른 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크
[청구항 2]
제 1항에 있어서,차광막을 형성하는 금속 물질은 탄탈륨(ta)이며, 반사방지막을 형성하는 금속 물질은크롬주성분으로하는것을특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 3]
제 1항에 있어서,차광막을 형성하는 금속 물질은 크롬(cr)이며, 반사방지막을 형성하는 금속 물질은 탄탈륨주성분으로하는것을특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 4]
제 1 또는 2항에 있어서,
차광막으로 형성되는 탄탈륨(ta)은 그의 단일 또는 산화물, 질화물, 탄화물, 산화질화탄화물, 산화탄화물, 산화질화물에서 선택되는 1종 이상으로 형성될 수 있는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크
[청구항 5]
제 1 또는 3항에 있어서,
차광막으로 형성되는 크롬(cr)은 그의 단일 또는 산화물, 질화물, 탄화물, 산화질화탄화물, 산화탄화물, 산화질화물에서 선택되는 1종 이상으로 형성될 수 있는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크
[청구항 6]
제 1 항에 있어서,차광막의 두께는 300 a내지인것을특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 7]
제 1항에 있어서,차광막은 dc-magnetron sputtering 방법을 이용하여 형성할 수 있으며, 이를 통해 형성된 차광막은비정질상태인것을특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 8]
제 1 및 2항에 있어서,
차광막의 조성비는 탄탈륨이 30~100at%, 산화물이 0~10at%, 질화물이 0~10at%, 탄화물이 0~10at% 인것을 특징으로 하는 블랭크 마스크
[청구항 9]
제 1 및 3항에 있어서,
차광막의 조성비는 크롬이 30~100at%, 산화물이 0~10at%, 질화물이 0~10at%, 탄화물이 0~10at% 인것을 특징으로 하는 블랭크 마스크
[청구항 10]
제 1항 또는 2항에 있어서,반사방지막은 크롬을 주성분으로 하여 형성되며, 그의 산화물, 질화물, 탄화물, 산화질화물, 산화탄화물, 산화질화탄화물 중 선택되는1종으로이루어지는것을특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 11]
제 1항 또는 3항에 있어서,반사방지막은 탄탈륨을 주성분으로 하여 형성되며, 그의 산화물, 질화물, 탄화물, 산화질화물, 산화탄화물, 산화질화탄화물 중 선택되는1종으로이루어지는것을특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 12]
제 1항에 있어서,반사방지막의 두께는50내지인것을특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 13]
제 1항에 있어서,금속막은 노광광에서의 o.d가 2.7 내지 3.5 인 것특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 14]
제 1항에 있어서,금속막 표면에서의 반사율이 노광파장 및 190 내지 300 nm파장영역이하인것을특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 15]
제 1항에 있어서,금속막을 23 ℃에서 5 내지 40 ppm의 오존수에2시간침지시투과율및반사율 변화이하인것을특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 16]
제 1항에 있어서,하드마스크막은 몰리실리(mosi)를 주성분으로 하며 그의 산화물, 질화물, 탄화물, 산화 질화물, 산화탄화물, 질화탄화물,산화탄화질화물형성되는것을특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 17]
제 1항에 있어서,하드마스크막은 패턴 형성 시 하드마스크막과 레지스트막 계면에서의 스컴(scum) 제어를 위해표면처리하는것을특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 18]
제 1항에 있어서,하드마스크막은 금속막과의선택비5이상인것을특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 19]
제 1항에 있어서,하드마스크막에서의면저항이하인것을특징으로 하는블랭크 마스크.
[청구항 20]
제 1항에 있어서,하드마스크막의 두께가 150a이하인것을특징으로 하는블랭크 마스크.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
블랭크 마스크의 금속막이 차광막과 반사방지막의 2층 구조로 형성될 때, 차광막을 탄탈륨(Ta)으로 형성하는 경우 반사방지막의 주성분은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
-
1과제 해석
task_interpretation차광막이 탄탈륨(Ta)으로 형성될 때, 이에 대응하는 반사방지막의 주성분이 무엇인지 찾는 문제이다.
-
2정보 추출
information_extraction청구항 2에서 차광막을 형성하는 금속 물질이 탄탈륨(Ta)인 경우에 대한 기술적 구성을 확인한다.
- 차광막을 형성하는 금속 물질은 탄탈륨(ta)이며, 반사방지막을 형성하는 금속 물질은크롬주성분으로하는것을특징으로 하는블랭크 마스크
-
3근거 선택
evidence_selection차광막이 탄탈륨일 때 반사방지막의 주성분이 크롬임을 명시한 청구항 2의 구절을 선택한다.
- 차광막을 형성하는 금속 물질은 탄탈륨(ta)이며, 반사방지막을 형성하는 금속 물질은크롬주성분으로하는것을특징으로 하는블랭크 마스크
-
4논리 통합
logical_integration청구항 2의 조건(차광막=Ta)과 결과(반사방지막=크롬 주성분)를 결합하여 논리적 관계를 도출한다.
- 차광막을 형성하는 금속 물질은 탄탈륨(ta)이며, 반사방지막을 형성하는 금속 물질은크롬주성분으로하는것을특징으로 하는블랭크 마스크
-
5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구하는 반사방지막의 주성분은 크롬임을 확정한다.
- 반사방지막을 형성하는 금속 물질은크롬주성분
-
6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 크롬
최종 답변 (final_answer)
크롬
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 차광막과 반사방지막이 서로 다른 금속 물질로 구성된 2층 구조의 금속막을 포함하는 블랭크 마스크에 관한 것이며, 차광막이 탄탈륨일 경우 반사방지막은 크롬을 주성분으로 함을 명시한다.