태양전지용 웨이퍼의 카세트 이송장치 및 이를 이용한 태양전지용 웨이퍼의 텍스처 처리장치 document_id 1020090080604

[청구항 1] 태양전지용 웨이퍼가 수납된 카세트를 텍스처 처리장치로 공급 및 회수하는 이송장치로서, 상기 카세트를 웨이퍼 수납위치로 이동시키며, 웨이퍼의 수납된 상기 카세트를 이동시켜 상기 텍스처 처리장치로 공급하는 로더와, 상기 텍스처 처리장치에서 상기 웨이퍼에 텍스처 가공이 완료되면, 상기 카세트를 웨이퍼 분리위치로 이동시키고, 웨이퍼가 분리된 상기 카세트를 카세트 회송위치로 이동시키는 언로더와, 상기 언로더에서 공급된 상기 카세트를 상기 로더로 회송시키는 회송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 카세트 이송장치 [청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 회송부는상기카세트의이동라인상부설치된것을특징으로 하는태양전지용 웨이퍼의 카세트 이송장치. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 회송부는컨베이어 벨트포함하는것을특징으로 하는태양전지용 웨이퍼의 카세트 이송장치. [청구항 4] 청구항 2에 있어서,상기 회송부는 상기 로더와 상기 언로더 사이를 왕복 이동하는 리니어 모듈과, 상기 리니어 모듈에 설치되며 상기 카세트가 안착되는로딩플레이트포함하는것을특징으로 하는태양전지용 웨이퍼의 카세트 이송장치. [청구항 5] 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 로더및 상기 언로더는 프레임과, 상기 프레임의 내부에 설치되어 상기 카세트를 3축 이동시키는 3축 이송 유닛 및 상기 3축 이송 유닛에 설치되어 2축으로 회전시키는 2축 회전 유닛으로 이루어진 트랜스퍼 로봇과, 상기 2축 회전 유닛에 설치되어 상기 카세트를 잡는홀더포함하는것을특징으로 하는태양전지용 웨이퍼의 카세트 이송장치. [청구항 6] 카세트를 웨이퍼 수납위치로 이동시키며, 웨이퍼가 수납된 상기 카세트를 로딩하는 로더와, 상기 로더의 후단부에 설치되며, 상기 카세트에 수납된 웨이퍼를 전처리하는 전처리부와, 상기 전처리부에서 전처리가 완료된 상기 웨이퍼의 표면에 텍스처 용액을 이용하여 텍스처를 형성하는 텍스처 처리부와, 상기 텍스처 처리부에서 상기 웨이퍼에 묻은 텍스처 용액을 제거하는 후처리부와, 상기 전처리부와, 상기 텍스처 처리부와, 상기 후처리부에 연속으로 배열되어 설치되고, 상기 로더에 의해 로딩된 카세트를 이송시키는 복수의 이송부와, 상기 후처리부에서 후처리가 완료된 상기 카세트를 웨이퍼 분리위치로 이동시키고, 상기 웨이퍼의 분리가 완료되면 상기 카세트를 카세트 회송위치로 이동시키는 언로더와, 상기 언로더에서 회송위치로 공급된 상기 카세트를 상기 로더로 회송하는 회송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼의 텍스처 처리장치 [청구항 7] 청구항 6에 있어서,상기 전처리부 또는 상기 후처리부의 하단에는 상기 카세트의 보관을 위한저장부마련된것을특징으로 하는태양전지용 웨이퍼의 텍스처 처리장치. [청구항 8] 청구항 6에 있어서,상기 카세트는 양측으로 서로 대향되게 배치되며 상단에 상기 이송부의 핸들러에 걸리기 위한 걸이홈이 형성된 한 쌍의 측판부와, 상기 양 측판부의 하부 양측을 연결하여 설치되며 상기 웨이퍼의 하부 양 모서리를 지지하는 복수의 하부 지지부와, 상기 양 측판부의 상부 일측을 연결하여 설치되며 상기 웨이퍼의 상부 모서리를 지지하는상부 지지부포함하는것을특징으로 하는태양전지용 웨이퍼의 텍스처 처리장치. [청구항 9] 청구항 6에 있어서,상기 회송부는 상기 전처리부와, 상기 텍스처 처리부와, 상기 후처리부의 내부에연속되게설치된것을특징으로 하는태양전지용 웨이퍼의 텍스처 처리장치. [청구항 10] 청구항 6에 있어서,상기 회송부는상기이송부의상부설치된것을특징으로 하는태양전지용 웨이퍼의 텍스처 처리장치. [청구항 11] 청구항 10에 있어서,상기 회송부는컨베이어 벨트포함하는것을특징으로 하는태양전지용 웨이퍼의 텍스처 처리장치. [청구항 12] 청구항 10에 있어서,상기 회송부는 상기 로더와 상기 언로더 사이를 왕복 이동하는 리니어 모듈과 상기 리니어 모듈에 설치되며 상기 카세트가 안착되는로딩플레이트포함하는것을특징으로 하는태양전지용 웨이퍼의 텍스처 처리장치. [청구항 13] 청구항 6 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 있어서,상기 로더및 상기 언로더는 프레임과, 상기 프레임의 내부에 설치되어 상기 카세트를 3축 이동시키는 3축 이송 유닛 및 상기 3축 이송 유닛에 설치되어 2축으로 회전시키는 2축 회전 유닛으로 이루어진 트랜스퍼 로봇과, 상기 2축 회전 유닛에 설치되어 상기 카세트를 잡는홀더포함하는것을특징으로 하는태양전지용 웨이퍼의 텍스처 처리장치.