기판검사 장치 document_id 1020090097110

[청구항 1] 제1프레임의 상부에 자동광학장비와 부상모듈이 구비된 공정파트 이 공정파트의 양쪽에 연속하여 설치되되 제2프레임의 상단에 기판을 소정높이로 부상시키기 위한 복수의 부상모듈로 이루어진 로딩파트와 언-로딩파트 상기 로딩파트의 부상모듈 위에서 기판을 진공 흡착하여 상기 로딩파트로부터 공정파트 및 언-로딩파트로 이송하기 위한 이송장치를 포함하여 구성되는 기판검사 장치에 있어서, 상기 부상모듈은 상하로 관통된 다수의 에어분출구가 적어도 2열 이상으로 배열되어 있고 그 하면에 상기 에어분출구들과 서로 연결되게 그 길이방향으로 패턴을 연속하여 형성시킨 패턴요홈이 마련되는 상판과, 이 상판의 하면에 형성된 패턴요홈을 덮어 기밀이 유지되게 마련되는 하판으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판검가 장치 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 상판에는 에어배출구가 적어도 2열로 배열되고 이렇게 분리된 각각의 열대로 에어분출구의 패턴요홈이 분리 형성되며, 분리된 2열의 에어분출구에서 분출되는 에어를 흡입하도록 분리된 에어분출구 사이에 1열로 부가 배열된다수의제1에어흡입구마련된것을특징으로 하는기판검사 장치. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 상판에는 다수의 에어분출구 사이에 상하로 관통된 다수의 제2에어흡입구가 배열되고 상기 상판과 하판 사이에는 제2에어흡입구와 일치하는 위치마다 각각 제3에어흡입구가 상하로 관통되어 있고 그 하면에 상기 제3에어흡입구들과 서로 연결되게 그 길이방향으로 패턴을 연속하여 형성시킨 패턴요홈이 마련되는중판부가된것을특징으로 하는기판검사 장치. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 로딩파트, 공정파트 및 언-로딩파트는 부상모듈의 상면 전체가 평탄도가 균일하게 유지되도록 프레임의 상면에 다수의 부상모듈이 장착된 상태에서 부상모듈의 상면전체를 동시에 평탄도작업이루어진것을특징으로 하는기판검사 장치. [청구항 5] 제1프레임의 상부에 자동광학장비와 부상모듈이 구비된 공정파트 이 공정파트의 양쪽에 연속하여 설치되되 제2프레임의 상단에 기판을 소정높이로 부상시키기 위한 복수의 부상모듈로 이루어진 로딩파트와 언-로딩파트 상기 로딩파트의 부상모듈 위에서 기판을 진공 흡착하여 상기 로딩파트로부터 공정파트 및 언-로딩파트로 이송하기 위한 이송장치를 포함하여 구성되는 기판검사 장치에 있어서, 상기 이송장치는 프레임 상단에 평행하게 설치되는 가로레일을 따라 제1작동기에 의해 가동되는 이동레일에 설치되며 상기 이동레일에는 제2작동기에 의해 가로방향으로 이동되도록 2개의 세로이송레일이 평행하게 마련되고 상기 세로이송레일에는 각각의 제3작동기에 의해 그 길이방향인 세로방향으로 이동되도록 2개의 흡착패드유닛이 마련된 것을 특징으로 하는 기판검사 장치 [청구항 6] 제5항에 있어서,상기 제2작동기는 서보모터와 이에 의해 연동되는 볼 스크루로 마련되며, 상기 볼 스크루는 그 회전방향에 따라 세로이송레일이 동시에 오므라들거나 벌어지도록 중앙을 기준으로 하여 한쪽엔 오른나사가 마련되고 다른 한쪽엔왼나사마련된것을특징으로 하는기판검사 장치.