문맥 (context)
[청구항 2]
청구항 1에 있어서,상기 트레이궤환모듈은 상기 로드락모듈및공정모듈의하부설치된것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 3]
청구항 1에 있어서,상기 언로드락모듈은상기 공정모듈에 형성된 게이트와 제1게이트밸브를 통하여 연결되는 제1게이트와 상기 제1게이트의 하측에 설치되어 상기 트레이궤환모듈과 제2게이트밸브의 개폐에 의하여 연결되는 제2게이트가 형성된 언로드락챔버와;상기 언로드락챔버 내에 설치되어 상기 공정모듈로부터 제1게이트를 통하여 트레이를 전달받아 하측으로 하강하여 제2게이트를 통하여 상기 트레이궤환모듈로 트레이를 전달하는트레이승하강부포함하는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 4]
청구항 3에 있어서,상기 언로드락챔버 내에 설치되어 트레이에 적재된 기판의 가열 및 냉각 중 적어도 어느 하나를 수행하는열전달부를추가포함하는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 5]
청구항 4에 있어서,상기 열전달부는 트레이의 저면과 면접촉 또는 간격을 두고 설치된 열전달부재를 포함하며, 상기 열전달부재는 열전달매체가 흐를 수 있도록매체유로형성된것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 6]
청구항 4에 있어서,상기 언로드락챔버에는 기판 또는 트레이의 온도를 측정하기 위한하나이상의온도센서설치된것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 7]
청구항 6에 있어서,상기 온도센서는 비접촉센서 또는 상기 트레이의 저면에 접촉되도록 설치되는접촉센서인것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 8]
청구항 4에 있어서,상기 열전달부는 상기 트레이승하강부와 함께 승하강하거나 상기 언로드락챔버에 고정되어설치된것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 9]
청구항 3에 있어서,상기 트레이승하강부는 트레이를 지지하여 상하로 이동시키는 승강구동부와; 트레이가 상기 언로드락챔버 내로 인입될 때 트레이의 가장자리를 지지하고 트레이가 상기 승강구동부에 의하여 승강될 때 횡방향으로 이동되어 트레이의 지지를 해제하는 트레이인입부와; 상기 승강구동부에 의하여 전달된 트레이의 가장자리를 지지하여 상기 트레이궤환모듈로 배출시키는트레이배출부포함하는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 10]
청구항 9에 있어서,상기 트레이인입부는 트레이가 상기 언로드락챔버 내로 인입될 때 트레이를 지지하는 지지모듈을 포함하며,상기 지지모듈은 상기 언로드락챔버 내로 인입될 때 트레이를 지지할 수 있는 위치로 있다가 상기 승강구동부에 의하여 지지되어 트레이가 하강될 때 그 이동이 간섭되지 않도록횡방향이동되는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 11]
청구항 1에 있어서,상기 언로드락모듈은 상기 공정모듈에 형성된 게이트와 제1게이트밸브를 통하여 연결되는 제1게이트가 형성되며 상하로 탈착가능하게 결합되는 상부하우징 및 하부하우징을 포함하는 언로드락챔버와; 상기 하부하우징에 설치되며 트레이를 지지하여 트레이에 적재된 기판을 가열하거나 냉각하는 열전달부와; 상기 하부하우징을 하측으로 이동시켜 상기 트레이궤환모듈로 트레이를 전달하는하부하우징승하강부포함하는것을특징으로 하는기판처리시스템.
[청구항 12]
청구항 11에 있어서,트레이의 인입 또는 배출을 위한 트레이배출부가 상기 열전달부의 일측 또는 양측설치된것을특징으로 하는기판처리시스템.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
기판처리시스템의 언로드락챔버 내에 설치된 트레이승하강부는 어떠한 구성요소들로 이루어져 있으며, 각 구성요소의 역할은 무엇인가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation언로드락챔버 내에 설치된 트레이승하강부의 구성요소와 각 구성요소의 역할을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 9에서 트레이승하강부의 구성요소인 승강구동부, 트레이인입부, 트레이배출부를 추출하고 각각의 역할을 확인한다.
- 상기 트레이승하강부는 트레이를 지지하여 상하로 이동시키는 승강구동부와; 트레이가 상기 언로드락챔버 내로 인입될 때 트레이의 가장자리를 지지하고 트레이가 상기 승강구동부에 의하여 승강될 때 횡방향으로 이동되어 트레이의 지지를 해제하는 트레이인입부와; 상기 승강구동부에 의하여 전달된 트레이의 가장자리를 지지하여 상기 트레이궤환모듈로 배출시키는트레이배출부포함하는것을특징으로 하는기판처리시스템.
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3근거 선택
evidence_selection트레이승하강부의 구체적인 구성과 역할이 명시된 청구항 9의 문구를 선택한다.
- 상기 트레이승하강부는 트레이를 지지하여 상하로 이동시키는 승강구동부와; 트레이가 상기 언로드락챔버 내로 인입될 때 트레이의 가장자리를 지지하고 트레이가 상기 승강구동부에 의하여 승강될 때 횡방향으로 이동되어 트레이의 지지를 해제하는 트레이인입부와; 상기 승강구동부에 의하여 전달된 트레이의 가장자리를 지지하여 상기 트레이궤환모듈로 배출시키는트레이배출부포함하는것을특징으로 하는기판처리시스템.
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4논리 통합
logical_integration추출된 세 가지 구성요소(승강구동부, 트레이인입부, 트레이배출부)와 그에 대응하는 역할을 매칭하여 정리한다.
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에서 요구한 구성요소와 역할에 대해 리스트 형식으로 답변을 구성한다.
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6답변 생성
answer_generation최종 답변을 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
트레이승하강부는 다음과 같은 구성요소들로 이루어져 있다.
1. 승강구동부: 트레이를 지지하여 상하로 이동시키는 역할
2. 트레이인입부: 트레이가 언로드락챔버 내로 인입될 때 트레이의 가장자리를 지지하고, 트레이가 승강구동부에 의해 승강될 때 횡방향으로 이동하여 트레이의 지지를 해제하는 역할
3. 트레이배출부: 승강구동부에 의해 전달된 트레이의 가장자리를 지지하여 트레이궤환모듈로 배출시키는 역할
핵심 해석 (core_interpretation)
트레이승하강부는 승강구동부, 트레이인입부, 트레이배출부로 구성되어, 언로드락챔버 내에서 트레이의 인입, 상하 이동 및 배출 과정을 제어하는 역할을 수행한다.