평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치 및 그것을 구비한 기판처리장치 document_id 1020090119290

[청구항 1] 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치에 있어서 기판이 반입 및 반출되는 제1출입구와 제2출입구를 갖는 하우징 상기 하우징에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 그리고 기판을 지지 및 이송시키기 위한 반송 샤프트들을 포함하는 엘리베이터; 및 상기 엘리베이터에 의해 반송되는 기판이 일시적으로 적재되는 버퍼 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치 [청구항 2] 제 1 항에 있어서,상기 버퍼 유닛은상기 외팔보 샤프트들을 수평한 상태로 펼치거나 또는 수직한 상태로 세우도록 상기 외팔보 샤프트들을 회동시키는수직수평전환부더포함하는것을특징으로 하는층간 반송 장치. [청구항 3] 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 버퍼 유닛은 기판을 양측에서 각각 지지하기 위해 상기 하우징의 양측면에 서로 대향되게 설치되고, 외팔보 형태의 외팔보 샤프트들을 포함하는 한쌍버퍼 컨베이어인것을특징으로 하는층간 반송 장치. [청구항 4] 제 3 항에 있어서,상기 외팔보 샤프트들은 상기 제1출입구 또는 상기 제2출입구로부터 반입/반출되는기판의반송높이위치되는것을특징으로 하는층간 반송 장치. [청구항 5] 제 2 항에 있어서,상기 엘리베이터의 반송샤프트들과 상기 버퍼 유닛의 외팔보 샤프트들은 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조사용되는층간 반송 장치. [청구항 6] 제 2 항에 있어서,상기 수직수평 전환부는 상기 하우징에 힌지 결합되고, 실린더로드를 갖는 실린더; 및일단은 상기 실린더로드에 힌지 결합되고 타단은 상기 버퍼 컨베이어에 힌지 결합되어 상기 반송 샤프트들의 수직수평 변환에 따른 편심보정을 위한링크포함하는것을특징으로 하는층간 반송 장치. [청구항 7] 제 2 항에 있어서,상기 엘리베이터는 상기 하우징의 양측벽에 길이방향으로 설치되는 승강부; 및상기 승강부에 의해 승강되며, 기판을 지지 및 이송시키기 위한 다수의 반송샤프트들을 갖는반송 컨베이어포함하는것을특징으로 하는층간 반송 장치. [청구항 8] 제 7 항에 있어서,상기 반송 컨베이어는 상기 승강부와 연결되는 승강 프레임;상기 승강 프레임에 설치되는 베이스 프레임;상기 베이스 프레임으로부터 상기 반송 샤프트의 길이방향으로 연장되어 설치되고 상기 반송 샤프트의 양단을 회전가능하게 지지하는 지지아암들을 갖는 샤프트 프레임들; 및상기 샤프트 프레임들에 설치되고 상기 반송 샤프트들을 회전시키기 위한구동부포함하는것을특징으로 하는층간 반송 장치. [청구항 9] 제 8 항에 있어서,상기 지지아암들을 상기 버퍼 유닛의 외팔보 샤프트들이 위치할 수 있도록 서로 이격되어설치되는것을특징으로 하는층간 반송 장치. [청구항 10] 제 9 항에 있어서,상기 구동부는 상기 반송 샤프트들 각각의 중앙에 설치되는 종동 마그네틱;상기 반송 샤프트들에 대해 횡으로 배치되고, 모터의 회전력을 받아 회전하는 구동 샤프트; 및상기 종동 마그네틱들과 교합되도록 상기 구동 샤프트에 설치되는구동마그네틱들포함하는것을특징으로 하는층간 반송 장치. [청구항 11] 제 10 항에 있어서,상기 베이스 프레임에는 상기 샤프트 프레임을 경사 변환시키기 위한경사변환부재더포함하는것을특징으로 하는층간 반송 장치. [청구항 12] 평판 디스플레이 제조에 사용되는 층간 반송 장치에 있어서 기판이 반입 및 반출되는 제1출입구와 제2출입구를 갖는 하우징 상기 하우징에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 그리고 기판을 지지 및 이송시키기 위한 반송 샤프트들을 포함하는 엘리베이터; 및 상기 제1출입구로부터 반입/반출되는 기판의 반송 높이에 설치되고, 상기 엘리베이터에 의해 반송된 기판을 인계받아 상기 제1출입구를 통해 반출하거나 또는 상기 제1출입구를 통해 반입되는 기판을 상기 엘리베이터로 인계하는 버퍼 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 층간 반송 장치 [청구항 13] 제 12 항에 있어서,상기 버퍼 유닛은 상기 하우징의 양측면에 서로 대향되게 설치되고, 기판을 지지하는 외팔보 형태의 외팔보 샤프트들을 포함하는 한쌍의버퍼 컨베이어포함하는것을특징으로 하는층간 반송 장치. [청구항 14] 제 13 항에 있어서,상기 버퍼 컨베이어는 수평하게 펼쳐지거나 수직하게 젖혀지도록 상기 하우징에힌지구조결합되는것을특징으로 하는층간 반송 장치. [청구항 15] 제 13 항에 있어서,상기 버퍼 유닛은 상기 버퍼 컨베이어를 수평하게 펼치거나 수직하게 젖혀지도록 90도 회동시키는수직수평전환부더포함하는것을특징으로 하는층간 반송 장치. [청구항 16] 제 13 항에 있어서,상기 엘리베이터의 반송샤프트들과 상기 버퍼 유닛의 외팔보 샤프트들은 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조사용되는층간 반송 장치. [청구항 17] 평판 디스플레이 제조에 사용되는 기판 처리 장치에 있어서 상층에 해당되는 제1공정처리부 상기 제1공정처리부의 아래인 하층에 해당되는 제2공정처리부 상기 제1공정처리부와 상기 제2공정처리부 간의 기판 반송을 위한 층간 반송 장치를 포함하되 상기 층간 반송 장치는 상기 제1공정처리부와 연결되는 제1출입구와, 상기 제2공정처리부와 연결되는 제2출입구를 갖는 하우징 상기 하우징에 설치되고 상기 제1출입구와 상기 제2출입구 간의 기판 반송을 수행하는 그리고 기판을 지지 및 이송시키기 위한 반송 샤프트들을 포함하는 엘리베이터; 및 상기 엘리베이터에 의해 반송되는 기판이 일시적으로 적재되는 버퍼 유닛을 포함하며 상기 버퍼 유닛은 상기 제1출입구로부터 반입/반출되는 기판의 반송 높이에서 상기 하우징의 양측면에 서로 대향되게 설치되고, 기판을 지지하는 외팔보 형태의 외팔보 샤프트들을 포함하는 한 쌍의 버퍼 컨베이어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치 [청구항 18] 제 17 항에 있어서,상기 외팔보 샤프트들을 수평한 상태로 펼치거나 또는 수직한 상태로 세우도록 상기 외팔보 샤프트들을 회동시키는수직수평전환부더포함하는것을특징으로 하는기판 처리 장치. [청구항 19] 제 17 항에 있어서,상기 엘리베이터의 반송샤프트들과 상기 버퍼 유닛의 외팔보 샤프트들은 서로 중첩되지 않게 교호적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 제조사용되는기판 처리 장치.