문맥 (context)
[청구항 2]
제1항에 있어서,상기 제1방향 변위부재는 상기 베이스부재의 내부에 마련되는 프레임부와, 상기 베이스부재의 외부에 마련되는 플레이트 형상의 제1방향 변위부와, 상기 프레임부와 상기 제1방향 변위부를 연결하는연결부포함하는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 3]
제1항에 있어서,상기 제2방향 변위부재는 상기 쐐기부재에 결합되도록 상기 베이스부재에 수용되는 지지부와, 상기 지지부에 의해 지지되는플레이트형상의제2방향변위부포함하는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 4]
제1항에 있어서,상기 쐐기부재는 상기 제1방향을 따라서 하향 경사지게 마련된경사면포함하는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 5]
제4항에 있어서,상기 경사면에 고정 설치된 레일부와, 상기 구동부재에 고정 설치되어 상기 레일부에 슬라이딩 결합되는 블럭부를 포함하는제1선형가이드부재더포함하는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 6]
제1항에 있어서,상기 결속부재는 상기 구동부재와 쐐기부재의 상대 변위가 없도록 상기 구동부재와 제1방향 변위부재를 결속시키는제1결속부재포함하는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 7]
제1항에 있어서,상기 결속부재는 상기 구동부재와 쐐기부재의 상대 변위가 없도록 상기 쐐기부재와 제1방향 변위부재를 결속시키는제2결속부재포함하는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 8]
제1항에 있어서,상기 결속부재는 상기 구동부재와 쐐기부재의 상대변위가 상기 제1방향으로 구속되도록 상기 베이스부재와 제1방향 변위부재를 결속시키는제3결속부재포함하는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 9]
제2항에 있어서,상기 구동부재와 프레임부의 사이에 설치되어 상기 구동부재와 제1방향 변위부재의 상대이동을 가이드하는제2선형가이드부재더포함하는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 10]
제2항에 있어서,상기 베이스부재의 양측과 프레임부의 사이에 각각 설치되어 상기 베이스부재와 프레임부의 상대이동을 가이드하는 제3및제4선형가이드부재더포함하는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 11]
제2항에 있어서,상기 쐐기부재의 양측과 프레임부의 사이에 설치되어 상기 쐐기부재와 프레임부의 상대이동을 가이드하는 제5및제6선형가이드부재더포함하는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 12]
제3항에 있어서,상기 지지부와 상기 쐐기부재의 사이에 설치되어 상기 제2방향 변위부재와 쐐기부재의 상대이동을 가이드하는제7선형가이드부재더포함하는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 13]
제3항에 있어서,상기 지지부와 베이스부재의 사이에 설치되어 상기 제2방향 변위부재와 베이스부재의 상대이동을 가이드하는 제8및제9선형가이드부재더포함하는것을특징으로 하는액츄에이터.
[청구항 15]
제14항에 있어서,상기 액츄에이터들은 그 베이스부재가 상기 내부케이스의 측면 및 저면에 각각 고정 설치되고 그 제1방향 변위부재가 상기 외부케이스에 밀착되는 2개의 제1액츄에이터와, 상기 제1액츄에이터들과 이격되며 그 베이스부재가 상기 내부케이스의 저면에 고정 설치되는제2액츄에이터포함하는것을특징으로 하는스테이지 장치.
[청구항 16]
제15항에 있어서,상기 스테이지는 상기 제1 내지 제3액츄에이터의 제2방향 변위부재와 플렉서블 힌지를 통하여 결합되는 틸팅 스테이지와, 상기 틸팅 스테이지와 베어링 결합되며 상기 제2액츄에이터의 제1방향 변위부재와 연결되는회전스테이지포함하는것을특징으로 하는스테이지 장치.
[청구항 17]
제16항에 있어서,상기 회전 스테이지는 상기 제1 내지 제3액츄에이터의 제1방향 변위부재 및 제2방향 변위부재의 선택적인 구동에 따라서5자유도되는것을특징으로 하는스테이지 장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
스테이지 장치에서 제1액츄에이터와 제2액츄에이터는 각각 내부케이스 및 외부케이스와 어떠한 방식으로 결합 및 설치되는가?
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation스테이지 장치 내에서 제1액츄에이터와 제2액츄에이터가 내부케이스 및 외부케이스와 결합/설치되는 방식을 찾는 과업이다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 15에서 제1액츄에이터와 제2액츄에이터의 설치 위치 및 결합 방식을 확인할 수 있다.
- 상기 액츄에이터들은 그 베이스부재가 상기 내부케이스의 측면 및 저면에 각각 고정 설치되고 그 제1방향 변위부재가 상기 외부케이스에 밀착되는 2개의 제1액츄에이터와, 상기 제1액츄에이터들과 이격되며 그 베이스부재가 상기 내부케이스의 저면에 고정 설치되는제2액츄에이터
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3근거 선택
evidence_selection제1액츄에이터는 베이스부재가 내부케이스의 측면 및 저면에 고정 설치되고 제1방향 변위부재가 외부케이스에 밀착된다는 구절과, 제2액츄에이터는 베이스부재가 내부케이스의 저면에 고정 설치된다는 구절을 선택한다.
- 상기 액츄에이터들은 그 베이스부재가 상기 내부케이스의 측면 및 저면에 각각 고정 설치되고 그 제1방향 변위부재가 상기 외부케이스에 밀착되는 2개의 제1액츄에이터와, 상기 제1액츄에이터들과 이격되며 그 베이스부재가 상기 내부케이스의 저면에 고정 설치되는제2액츄에이터
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4논리 통합
logical_integration제1액츄에이터는 베이스부재가 내부케이스(측면/저면)에 고정되고 제1방향 변위부재가 외부케이스에 밀착되는 구조이며, 제2액츄에이터는 베이스부재가 내부케이스 저면에 고정되는 구조임을 통합한다.
- 상기 액츄에이터들은 그 베이스부재가 상기 내부케이스의 측면 및 저면에 각각 고정 설치되고 그 제1방향 변위부재가 상기 외부케이스에 밀착되는 2개의 제1액츄에이터와, 상기 제1액츄에이터들과 이격되며 그 베이스부재가 상기 내부케이스의 저면에 고정 설치되는제2액츄에이터
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5결론 도출
conclusion_formulation질문에 따라 제1액츄에이터와 제2액츄에이터의 결합 및 설치 방식을 정리하여 답변을 구성한다.
- 상기 액츄에이터들은 그 베이스부재가 상기 내부케이스의 측면 및 저면에 각각 고정 설치되고 그 제1방향 변위부재가 상기 외부케이스에 밀착되는 2개의 제1액츄에이터와, 상기 제1액츄에이터들과 이격되며 그 베이스부재가 상기 내부케이스의 저면에 고정 설치되는제2액츄에이터
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6답변 생성
answer_generation추출된 정보를 바탕으로 최종 답변을 작성한다.
- 상기 액츄에이터들은 그 베이스부재가 상기 내부케이스의 측면 및 저면에 각각 고정 설치되고 그 제1방향 변위부재가 상기 외부케이스에 밀착되는 2개의 제1액츄에이터와, 상기 제1액츄에이터들과 이격되며 그 베이스부재가 상기 내부케이스의 저면에 고정 설치되는제2액츄에이터
최종 답변 (final_answer)
제1액츄에이터는 그 베이스부재가 내부케이스의 측면 및 저면에 각각 고정 설치되고 제1방향 변위부재가 외부케이스에 밀착되는 방식으로 결합/설치되며, 제2액츄에이터는 제1액츄에이터들과 이격되어 그 베이스부재가 내부케이스의 저면에 고정 설치되는 방식으로 결합/설치된다.
핵심 해석 (core_interpretation)
스테이지 장치 내에서 액츄에이터들의 베이스부재와 변위부재를 내부 및 외부 케이스에 각각 고정 또는 밀착시켜 배치함으로써 장치의 구조적 안정성과 구동 정밀도를 확보하는 구성에 관한 것이다.